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TiAl_3和Ti/TiAl_3非合金化电极n型GaN欧姆接触的实现 被引量：1
1
作者 明帆 林红斌 +3 位作者 胡成余 秦志新 陈志忠 张国义 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期399-403,共5页
在不进行合金化的情况下,首次直接采用TiAl3合金材料作为金属接触电极。在蓝宝石衬底上生长的n型载流子浓度为2×1018cm-3的GaN上,成功地得到低接触电阻的欧姆接触,并由环形传输线模型方法测得比接触电阻率为3×10-5Ω·cm... 在不进行合金化的情况下,首次直接采用TiAl3合金材料作为金属接触电极。在蓝宝石衬底上生长的n型载流子浓度为2×1018cm-3的GaN上,成功地得到低接触电阻的欧姆接触,并由环形传输线模型方法测得比接触电阻率为3×10-5Ω·cm2。与通常n型欧姆接触采用的Ti/Al双层结构比较,TiAl3合金结构更容易形成非合金化的n型欧姆接触。在此实验基础上,进一步分析了N空位和界面层处的TiAl3在形成非合金化或低温退火欧姆接触中发挥的作用,由此设计的Ti/TiAl3/Ni/Au接触结构,在TiAl3合金结构基础上明显地降低了接触电阻率。 展开更多
关键词 欧姆接触 GaN tial3 合金 反应离子刻蚀 比接触电阻率
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AlTi中间合金中TiAl_3形态及对细化效果的影响 被引量：10
2
作者 刘相法 边秀房 +2 位作者 周生存 杨阳 马家骥 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 1997年第1期9-11,共3页
通过对比试验发现；不同TiAl3形态的AlTi中间合金具有不同的细化效果，借助SEM和XRD等手段对AlTi中间合金进行了分析对比，探讨了TiAl3形态对细化效果的影响。实验结果表明：利用快速凝固技术制备的该中间合金，其TiAl3化合物细小，具... 通过对比试验发现；不同TiAl3形态的AlTi中间合金具有不同的细化效果，借助SEM和XRD等手段对AlTi中间合金进行了分析对比，探讨了TiAl3形态对细化效果的影响。实验结果表明：利用快速凝固技术制备的该中间合金，其TiAl3化合物细小，具有最佳的细化效果。 展开更多
关键词 tial3 细化效果 铝钛合金 中间合金
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