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题名吸收光谱型气体红外传感器的设计与实现
被引量：10
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作者
杜鹏
谭秋林
薛晨阳
秦丽
鲍爱达
熊继军
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机构
中北大学
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2008年第6期1-2,共2页
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文摘
对一种吸收光谱型气体红外传感器的工作原理、设计原理和集成化设计进行了分析。其中气体浓度对光谱的吸收会影响光强的变化,所以将微型热释电红外敏感头、小型灯泡都集成在1个小型的气室中,气室中有2个通道,气体探测通道和参考通道。2个通道光强的强弱差就会体现出气体浓度的大小,这样就实现了测试气体浓度的功能。集成化采用MEMS工艺将红外双路敏感元件及滤光片制作成探测头,然后通过微封装和微小集成技术将探测头、红外光源、过滤网集成在气室内。
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关键词
吸收光谱型气体红外传感器
红外探测器
集成化
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Keywords
absorption spectrum gas infrared sensor
infrared acquisition aid
integration
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分类号
TN923
[电子电信—通信与信息系统]
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题名基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器
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作者
刘英明
王健
俞大海
顾海涛
高秀敏
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机构
杭州电子科技大学电子信息学院
聚光科技有限公司
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期146-147,共2页
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文摘
对红外吸收型气体传感器的工作原理进行了分析,设计了一种基于高精细腔技术的红外吸收光谱型气体传感器。并对设计的传感器进行了实验验证,结果显示在通入浓度为20 ppm的H_2S气体时能达到40的信噪比,测量结果准确;在低浓度时测量有一定的偏差。测量的浓度波动小于3 ppm.
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关键词
高精细腔
红外吸收光谱型气体传感器
集成化
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Keywords
high finesse cavity
absorption spectrum gas infrared sensor
integration
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分类号
TN923
[电子电信—通信与信息系统]
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