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介质与静压对激波管校准压阻式绝压传感器动态特性的影响 被引量:4
1
作者 李博 黄楠 +3 位作者 杨军 秦海峰 尹肖 张兆晶 《爆炸与冲击》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第5期103-111,共9页
激波管通常用于动态压力传感器的校准,压阻式绝压传感器在激波管校准过程当中,会出现谐振频率等动态性能指标随着激波管静态压力环境、气体介质变化而改变的情况,影响传感器动态特性的校准。基于压阻式传感器的工作原理,对传感器的敏感... 激波管通常用于动态压力传感器的校准,压阻式绝压传感器在激波管校准过程当中,会出现谐振频率等动态性能指标随着激波管静态压力环境、气体介质变化而改变的情况,影响传感器动态特性的校准。基于压阻式传感器的工作原理,对传感器的敏感膜片结构进行了机理分析,建立了膜片结构与校准环境中介质和静压关系的动态模型;通过ANSYS与SIMULINK软件开展了数值模拟验证工作,模拟结果与理论推导一致。通过激波管校准实验验证了气体介质与静压的影响关系,结果表明:传感器的谐振频率与静压间存在非线性关系,并且随着敏感膜片径厚比的增大而显著增大;系统阻尼比大小与气体介质有关,随着气体密度的降低而升高;传感器的灵敏度与气体介质和静压无太大直接关系。在使用激波管校准压阻式绝压传感器时,应当考虑介质与静压参数对校准结果的影响。 展开更多
关键词 激波管 阶跃压力 动态特性 压阻式传感器 绝压传感器 动态校准
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发动机MAP传感器动态特性相关问题的探讨 被引量:3
2
作者 陈利明 方会咏 杨君 《汽车科技》 2007年第4期24-28,共5页
在对发动机进气歧管中动态波分析的基础上,结合发动机进气歧管压力传感器的动态特性,针对发动机瞬态过程中的空燃比控制问题,提出了MAP动态补偿及基于时间采样的解决对策。
关键词 进气歧管 绝对压力传感器 动态特性 动态补偿 采样
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基于SON构造的电容式绝对压力传感器设计 被引量:3
3
作者 汪赟 郝秀春 +2 位作者 蒋纬涵 李宇翔 李伯全 《传感器与微系统》 CSCD 2019年第6期66-69,共4页
针对空洞层上硅工艺在制作高质量的单晶硅感压膜和真空密封腔上的优势,提出了将其应用于制作电容式绝对压力传感器。应用板壳理论建立了传感器压力检测的理论膜型,对传感器的感压膜进行理论计算和有限元仿真,并利用电容变化模型分析了... 针对空洞层上硅工艺在制作高质量的单晶硅感压膜和真空密封腔上的优势,提出了将其应用于制作电容式绝对压力传感器。应用板壳理论建立了传感器压力检测的理论膜型,对传感器的感压膜进行理论计算和有限元仿真,并利用电容变化模型分析了传感器的灵敏度。给出了基于Pcap01芯片的微电容检测系统的设计,对于半径为100μm,厚度为1. 7μm的圆形感压膜,初始电容值为0. 278 p F,传感器灵敏度为0. 86 f F/k Pa。 展开更多
关键词 空洞层上硅 电容式 绝对压力传感器 有限元仿真
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基于C8051F352单片机的弹道参数测量系统设计 被引量:1
4
作者 李亚楠 王金柱 +1 位作者 马继存 孙文理 《传感器与微系统》 CSCD 2015年第5期66-68,71,共4页
为提高弹道辨识精度和弹道解算速度,设计了一种基于C8051F352单片机的弹道参数测量系统。通过对弹丸飞行中动压和静压信息的采集、存储和处理,完成弹道参数(初速和射角)辨识。该系统以C8051F352单片机作为处理单元,结合差压传感器和绝... 为提高弹道辨识精度和弹道解算速度,设计了一种基于C8051F352单片机的弹道参数测量系统。通过对弹丸飞行中动压和静压信息的采集、存储和处理,完成弹道参数(初速和射角)辨识。该系统以C8051F352单片机作为处理单元,结合差压传感器和绝压传感器设计而成,采用基于动压—静压的弹道辨识方法,有效地提高了弹道参数测量的精度。实验测试表明:该系统测量精度高,解算速度快,满足弹道辨识的设计要求。 展开更多
关键词 C8051F352单片机 弹道辨识 差压传感器 绝压传感器 测量系统
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一种高温绝压传感器弹性膜片技术研究 被引量:1
5
作者 侯占民 王金文 +1 位作者 杨金梅 崔宏敏 《黑龙江大学自然科学学报》 CAS 北大核心 2009年第6期822-824,829,共4页
介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制... 介绍了该高温绝压传感器的原理和特点,设计了传感器关键元件弹性膜片结构,制定了一套弹性膜片的制作工艺,使弹性膜片的加工工艺、热处理工艺有机地结合起来,弹性膜片金相组织和力学性能达到理想状态,解决了该传感器精度的关键技术,研制出一体化传感器在(-50~220)℃工作温度范围精度达到0.6%F.S。 展开更多
关键词 高温 绝压传感器 弹性膜片
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基于改进滤波辨识方法的传感器动态特性辨识 被引量:1
6
作者 高正中 李文嫄 +1 位作者 李世光 吴代丰 《计算机仿真》 北大核心 2020年第12期316-320,共5页
由于噪声和瞬时扰动的存在,导致传感器实际动态特性与辨识所得动态特性之间存在误差。针对提高传感器动态测量精度问题,提出一种多项式预测滤波与改进的中值滤波相结合的混合滤波算法对传感器进行消噪;由于最小二乘算法对存在瞬时扰动... 由于噪声和瞬时扰动的存在,导致传感器实际动态特性与辨识所得动态特性之间存在误差。针对提高传感器动态测量精度问题,提出一种多项式预测滤波与改进的中值滤波相结合的混合滤波算法对传感器进行消噪;由于最小二乘算法对存在瞬时扰动的信号进行辨识仍不能得到满意的结果,进而提出一种改进粒子群算法与最小绝对误差相结合的辨识算法,并对传感器进行数学建模;将算法应用于压力传感器的特性辨识。通过实验表明,采用研究算法可以克服瞬时扰动和噪声对传感器辨识产生的不利影响。 展开更多
关键词 多项式预测滤波 中值滤波 粒子群算法 最小绝对误差 压力传感器
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一种应用于超小型无人机的定高系统设计方案
7
作者 袁少强 常辉 《飞机设计》 2001年第4X期15-18,共4页
作者使用PC104计算机和美国ICSENSOR公司的压阻硅式绝压传感器,设计出适合超小型无人机使用的新型定高系统。这种定高系统具有灵敏度高、质量轻、耗电少、一体化板式结构、可靠性高、重复性好的特点,是一种全新的尝试。
关键词 绝压传感器 静压 定高 精度
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一种用绝压传感器实现的全压压力测量装置 被引量:1
8
作者 孙和泰 郭知明 叶加星 《液压气动与密封》 2019年第2期67-68,71,共3页
该文介绍了一种用绝压传感器实现的全压压力测量装置的设计方案,主要是用一只绝压传感器实现绝压、正压、负压的测量,极大降低了压力检定装置的制造成本。
关键词 绝压传感器 正压 负压 装置
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绝压传感器中陶瓷/钛合金焊接技术研究 被引量:1
9
作者 崔光浩 邹向光 秦占胜 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第2期78-79,86,共3页
高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔。对实现真空封装过程中陶瓷/钛合金焊接技术进行了研究,焊接过程中由于存在焊接应力,容易发生陶瓷碎裂情况,通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数,实现了... 高温绝对压力传感器需要形成耐高温的真空密封腔。对实现真空封装过程中陶瓷/钛合金焊接技术进行了研究,焊接过程中由于存在焊接应力,容易发生陶瓷碎裂情况,通过设计焊接尺寸、选择金属化材料、设计降温过程、试验设计工艺参数,实现了较高要求的真空封装,并对焊接后的试验件进行了试验分析,结果表明:焊接强度和密封腔体的漏率满足实际产品应用要求。 展开更多
关键词 绝压传感器 陶瓷/钛合金 焊接 真空密封腔
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用于汽车电喷系统的厚膜绝对压力传感器 被引量:1
10
作者 韩茂良 《电子元件与材料》 CAS CSCD 1994年第5期48-51,共4页
本文对汽车电控燃油喷射系统的关键部件绝对压力传感器中的厚膜混合集成电路的设计制作做了一定的分析与研究,为配合汽车电喷技术开发作了有益的尝试。
关键词 汽车 电喷系统 厚膜 压力传感器
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真空腔泄漏对振动筒压力传感器长期稳定性的影响分析 被引量:1
11
作者 陈丽艳 康志宏 宋继红 《计测技术》 2018年第1期21-23,共3页
针对高精度绝压振动筒压力传感器的测量压力原理,提出传感器对真空度的要求。介绍了真空腔的设计方法和真空度的测试方法。从漏率的角度分析了真空腔泄漏对传感器长期稳定性和测量准确度的影响,最终给出传感器真空腔设计依据和传感器存... 针对高精度绝压振动筒压力传感器的测量压力原理,提出传感器对真空度的要求。介绍了真空腔的设计方法和真空度的测试方法。从漏率的角度分析了真空腔泄漏对传感器长期稳定性和测量准确度的影响,最终给出传感器真空腔设计依据和传感器存储使用要求。 展开更多
关键词 绝压传感器 真空腔 漏率 稳定性
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硅-蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析 被引量:1
12
作者 姚东媛 夏航 +1 位作者 王俊巍 谢胜秋 《传感器与微系统》 CSCD 2017年第8期65-68,共4页
介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了... 介绍了硅-蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷-钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷-钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷-可伐-钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10^(-10)Pa·m^3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求。 展开更多
关键词 硅-蓝宝石 绝压传感器 氧化铝陶瓷 真空密封结构
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绝压传感器温漂补偿及性能仿真 被引量:1
13
作者 蓝加平 陈首部 《中南民族大学学报(自然科学版)》 CAS 2005年第2期50-52,56,共4页
分析了扩散硅绝对压力传感器的静态特性,提出了线性校正和零点校正方案,并利用Matlab软件对其性能进行了仿真,结果表明:解决了该类绝对压力传感器温漂的补偿问题,用廉价的压力敏感元件实现了对真空压力分辨到1Pa的测量.
关键词 绝压传感器 温漂 线性校正 零点校正
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表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器 被引量:1
14
作者 张艳敏 王权 李昕欣 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第2期14-15,19,共3页
设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成... 设计了表面微机械加工的高长宽比矩形薄膜压力传感器芯片,采用由低压化学气相沉积法(LPCVD)制备的低应力氮化硅(LS SiN)薄膜作为压力传感器芯片的核心结构层,多晶硅薄膜淀积在LS SiN薄膜上,通过结构和位置的优化设计,干法腐蚀制作形成力敏电阻条。制作了压力量程从60 kPa到1 MPa的传感器芯片。试验测试了量程60 kPa压力传感器的长期稳定性,结果表明在室温环境下时,压力传感器显示了较稳定的长时输出,且用LPCVD低温二氧化硅密封的真空参考压力腔没有泄漏问题出现。该超小型传感器制造成本低,具有广泛应用的前景。 展开更多
关键词 绝对压力传感器 表面微机械加工 矩形膜 压阻 芯片 长期稳定性
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一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计 被引量:8
15
作者 刘娜 黄庆安 秦明 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1863-1867,1870,共6页
提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱硅,中间介质层为栅氧化层.在CMOS工艺加工完之后... 提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱硅,中间介质层为栅氧化层.在CMOS工艺加工完之后,利用选择性的体硅腐蚀、pn结自停止腐蚀以及阳极键合等MEMS后处理工艺来得到传感器结构.与传统的电容式压力传感器相比,这种结构具有更大的初始固有电容,这样可以抑制寄生电容的影响,从而简化检测电路的设计.文中,应用多层膜理论模型分析了传感器的结构,并利用ANSYS有限元分析对模型进行了验证,并利用电容变化模型分析了传感器的灵敏度.对于边长为800μm的敏感方膜,初始电容值为1104pF,传感器灵敏度为46fF/hPa.同时,本文给出了传感器的电容检测电路的设计. 展开更多
关键词 CMOS电容式绝对压力传感器 灵敏度 电容检测电路
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电容式绝对压力传感器的改进模型及温度特性分析 被引量:1
16
作者 刘娜 黄庆安 +1 位作者 秦明 周闵新 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期1369-1373,共5页
在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性能产生的影响.结果表明温度的改变会导致残余气体压力的改变,进而使传感器的测量产生一定的温度漂移,同时... 在传感器敏感膜模型的基础上对电容式绝对压力传感器提出了一种改进模型,考虑了由于温度的变化电容结构空腔中残余气体对传感器性能产生的影响.结果表明温度的改变会导致残余气体压力的改变,进而使传感器的测量产生一定的温度漂移,同时也降低了传感器的灵敏度;并由此计算了残余气体存在时,传感器测量值的温度漂移量以及灵敏度的温度系数.这对于工艺的改进以及后续电路的设计具有指导意义. 展开更多
关键词 电容式绝对压力传感器 改进模型 残余气体 温度漂移 灵敏度
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CMOS工艺兼容多晶硅压力敏感膜的设计与加工 被引量:1
17
作者 周闵新 秦明 黄庆安 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期470-473,共4页
在MEMS表面加工工艺中 ,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分。本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围 ,建立多晶硅膜的大变形模型 ,设计可用于压力传感器应用的多晶硅薄膜几何尺寸。采用有限元方法对多晶硅薄膜进行力... 在MEMS表面加工工艺中 ,多晶硅薄膜是微结构的重要组成部分。本文考虑加工工艺中残余应力的影响和多晶硅材料的强度范围 ,建立多晶硅膜的大变形模型 ,设计可用于压力传感器应用的多晶硅薄膜几何尺寸。采用有限元方法对多晶硅薄膜进行力学分析和设计验证 ,提出了CMOS工艺兼容的多晶硅压力敏感膜的加工方法 ,并且根据所设计的工艺进行了电容式压力传感器微结构的加工 。 展开更多
关键词 CMOS 多晶硅压力敏感膜 表面加工工艺 电容式绝对压力传感器
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进气压力传感器检测和波形分析
18
作者 魏胜君 柳炽伟 王升平 《汽车零部件》 2011年第10期35-37,共3页
进气歧管绝对压力传感器用于D型汽油喷射系统。它在汽油喷射系统中所起的作用和空气流量传感器相似。进气歧管绝对压力传感器根据发动机的负荷状态测出进气歧管内绝对压力的变化,并转换成电压信号,与转速信号一起输送到电控单元,作... 进气歧管绝对压力传感器用于D型汽油喷射系统。它在汽油喷射系统中所起的作用和空气流量传感器相似。进气歧管绝对压力传感器根据发动机的负荷状态测出进气歧管内绝对压力的变化,并转换成电压信号,与转速信号一起输送到电控单元,作为确定喷油器基本喷油量的依据。在当今发动机电子控制系统中,应用较为广泛的有半导体压敏电阻式、真空膜盒传动式两种。 展开更多
关键词 进气压力 传感器检测 波形分析 绝对压力传感器 汽油喷射系统 空气流量传感器 电子控制系统 进气歧管
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