空间光学遥感器光机热集成分析技术综述 被引量：25

1

作者 杨怿 陈时锦 张伟 《光学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期913-917,920,共6页

介绍了光机热集成分析技术的基本原理及其关键技术———数据传输技术的研究现状和最新进展。通过接口工具Zernike多项式进行数据传输的基本过程是:数据处理,即将有限元分析中得到的变形结果转换成基于弧矢坐标系或基于波前坐标系的数... 介绍了光机热集成分析技术的基本原理及其关键技术———数据传输技术的研究现状和最新进展。通过接口工具Zernike多项式进行数据传输的基本过程是:数据处理,即将有限元分析中得到的变形结果转换成基于弧矢坐标系或基于波前坐标系的数据形式;多项式拟合,即利用最小二乘法或Gram_Schmidt正交化方法进行拟合。提出了自动数据转换接口程序,它能够简化光机热集成分析的过程,可提高工作效率。 展开更多

关键词 光机热集成分析 zernike多项式 拟合 有限元分析 光机系统

原文传递

Zernike多项式拟合人眼波前像差的一种新算法 被引量：29

2

作者 曹正林 廖文和 沈建新 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期308-314,共7页

提出一种用于计算人眼波前像差函数中Zernike多项式拟合系数的精确算法。介绍了人眼波前像差的概念以及用Zernike多项式表示的人眼波像差函数,采用Householder变换对矛盾方程的广义增广矩阵进行正交三角化,导出求解拟合系数的算法。给... 提出一种用于计算人眼波前像差函数中Zernike多项式拟合系数的精确算法。介绍了人眼波前像差的概念以及用Zernike多项式表示的人眼波像差函数,采用Householder变换对矛盾方程的广义增广矩阵进行正交三角化,导出求解拟合系数的算法。给出了人眼大、小瞳孔的像差测量计算实例,并对比了直接构造法方程组的计算结果和精度。对比多只眼睛的计算结果表明,该算法与直接构造法方程组的计算精度相当,各项拟合系数的相对误差都在10%以内。该算法避免了构造法方程组引入的计算误差,易于编程,是一种比较理想的求解Zernike多项式拟合系数的算法。 展开更多

关键词 波前像差 zernikc多项式 Householdcr变换 拟合系数

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环形子孔径拼接干涉检测非球面的数学模型和仿真研究 被引量：21

3

作者 王孝坤 张学军 +1 位作者 王丽辉 郑立功 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期527-532,共6页

利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了... 利用环形子孔径拼接干涉技术可以不需要补偿器、CGH等辅助元件就能够高分辨、低成本、高效地实现对大口径、大相对孔径非球面的检测。介绍了该技术的基本原理,并基于最小二乘法和Zernike多项式拟合建立了合理的数学模型,同时对其进行了计算机模拟实验,拼接前后全孔径相位分布残差的PV值和RMS值分别为0.0079λ和0.0027λ,说明该拼接模型和算法是准确可行的,从而提供了除零位补偿外又一种定量测试非球面尤其是大口径非球面的途径。 展开更多

关键词 环形子孔径拼接 非球面检验 干涉术 zernike多项式拟合 计算机模拟

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光机热集成分析中数据转换接口的研究 被引量：20

4

作者 杨怿 张伟 陈时锦 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期201-205,222,共6页

光机热集成分析中的数据转换接口是实现光、机、热各分析软件间数据有效传递的重要手段。Zernike多项式的优点决定了它作为各分析软件间的数据接口工具是非常方便和成熟的。以一种数据处理算法和最小二乘法为Zernike多项式拟合的基础,... 光机热集成分析中的数据转换接口是实现光、机、热各分析软件间数据有效传递的重要手段。Zernike多项式的优点决定了它作为各分析软件间的数据接口工具是非常方便和成熟的。以一种数据处理算法和最小二乘法为Zernike多项式拟合的基础,编制了数据转换接口,实现了分析模块间数据的转换,并在某空间遥感器主镜系统的光机热集成分析中得到应用。 展开更多

关键词 光机热集成分析 zernike多项式 拟合 最小二乘法

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Zernike矩边缘检测与多项式拟合的CT图像三维测量算法 被引量：17

5

作者 王珏 伍立芬 +2 位作者 邹永宁 陶李 徐维 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期442-449,共8页

针对工业CT切片z方向分辨率不足问题,研究一种Zernike矩边缘检测与多项式拟合结合、自动预测顶端的高精度三维测量算法。首先通过Zernike矩对每张切片图像提取亚像素级轮廓,并用多项式拟合该轮廓;然后对拟合曲线进行等相角间隔采样,并... 针对工业CT切片z方向分辨率不足问题,研究一种Zernike矩边缘检测与多项式拟合结合、自动预测顶端的高精度三维测量算法。首先通过Zernike矩对每张切片图像提取亚像素级轮廓,并用多项式拟合该轮廓;然后对拟合曲线进行等相角间隔采样,并建立同相角的轮廓点匹配,采用层间插值算法得到中间层的轮廓点并外插预估工件顶端点;最后采用台体法计算工件体积。对体积相等的圆柱、圆锥和半球3个标准试块进行CT扫描、测量并分析了测量误差的来源。实验结果表明,对实际工件体积测量误差降低到1%以下,能够满足工程应用中的自动、快速、高精度体积测量要求。 展开更多

关键词 工业CT 体积测量 zernike矩 多项式拟合 层间插值

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激光能量密度分布的测量方法 被引量：16

6

作者 段锦 吴君 +1 位作者 端木繁一 景文博 《吉林大学学报（理学版）》 CAS CSCD 北大核心 2009年第2期311-316,共6页

提出一种用于激光能量密度分布测量与分析的方法,首先采用图像处理方法对激光光斑图像进行检测处理,再对激光光斑波面进行拟合,并采用伪彩色对激光能量分布进行三维显示.采用Zernike多项式对波前进行拟合和重构,讨论了拟合采样点的布设... 提出一种用于激光能量密度分布测量与分析的方法,首先采用图像处理方法对激光光斑图像进行检测处理,再对激光光斑波面进行拟合,并采用伪彩色对激光能量分布进行三维显示.采用Zernike多项式对波前进行拟合和重构,讨论了拟合采样点的布设方法,并用激光能量密度测试精度平均误差较小的同心放射状采样点布局方案.采用伪彩色算法对二维光斑图像进行三维模型显示,反映光斑不同区域能量分布的相对大小和位置.实验结果表明,该方法基本满足激光能量密度分布检测的要求. 展开更多

关键词 能量密度分布 zernike多项式 波面拟合 伪彩色变换 激光光束质量

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一种新概念平行光管 被引量：5

7

作者 曹根瑞 朱秋东 苏鹏 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期453-456,共4页

提出一种基于波前径向斜率测量原理的适用于测量大口径成像光学系统像差的自基准新方法.用该方法毋需任何人工或天然的无限远目标或标准大平面反射镜提供测量基准.理论分析和实验结果表明,此方法的技术可行性强,波像差测量灵敏度与干涉... 提出一种基于波前径向斜率测量原理的适用于测量大口径成像光学系统像差的自基准新方法.用该方法毋需任何人工或天然的无限远目标或标准大平面反射镜提供测量基准.理论分析和实验结果表明,此方法的技术可行性强,波像差测量灵敏度与干涉法相当,而对工作环境和光源无苛刻要求,可用于特大口径光学系统,如航天遥感相机、天文望远镜和大口径抛物面镜等大型光学系统的像质检测,也可用于主动光学系统的波前传感. 展开更多

关键词 波前径向斜率测量 泽尼克多项式拟合 像质检验

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一种修正子孔径拼接中系统误差的方法 被引量：5

8

作者 周游 王青 刘世杰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2014年第5期104-109,共6页

通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zern... 通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zernike多项式(离焦和像散项)对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合,并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明,该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响,有效提高拼接波面的精度。 展开更多

关键词 子孔径拼接 系统误差 三面互检 zernike多项式拟合

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大口径长条形反射镜组件自重变形的仿真与试验 被引量：4

9

作者 董得义 李志来 +3 位作者 薛栋林 张学军 樊延超 庞新源 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1424-1431,共8页

研究了空间光学遥感器的大口径长条形反射镜组件在自重载荷作用下的面形变化,实验验证和定量分析了Zernike多项式拟合法以及球面方程拟合法得到的仿真分析结果的精度。介绍了Zernike多项式拟合法以及球面方程拟合法的基本原理,分别用这... 研究了空间光学遥感器的大口径长条形反射镜组件在自重载荷作用下的面形变化,实验验证和定量分析了Zernike多项式拟合法以及球面方程拟合法得到的仿真分析结果的精度。介绍了Zernike多项式拟合法以及球面方程拟合法的基本原理,分别用这两种算法对大口径长条形反射镜组件在自重载荷作用下的面形变化进行了仿真分析。根据误差合成原理,提出了依据翻转前后两个状态的面形检测结果计算镜面面形变化的方法;针对离轴反射镜在面形检测过程中存在离轴量与镜面像散互相补偿的现象,求解了离轴量变化量与镜面像散的关系。试验结果显示:Zernike多项式拟合法的计算精度为74.2%,而球面方程拟合法的计算精度为12.6%;对仿真分析结果的误差评价表明,采用有限元法得到的仿真分析结果的理论精度值为10%左右,与球面方程拟合方法的计算精度12.6%基本吻合。研究表明,由于Zernike多项式拟合法自身的局限性,不适合对长条形反射镜面形变化进行拟合,而球面方程拟合法的计算精度能够满足工程要求。 展开更多

关键词 空间光学遥感器 大口径反射镜 长条形反射镜 自重变形 仿真分析 zernike多项式拟合 球面方程拟合

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Zernike圆域多项式镜面拟合仿真与精度研究 被引量：4

10

作者 郭良贤 卫俊杰 唐培 《光学与光电技术》 2018年第6期56-62,共7页

引入光机热集成分析利于综合考虑红外光学系统在多种物理场综合作用下的性能变化,Zernike圆域多项式作为光机热集成分析中的数据转换接口,是实现光、机、热各分析软件间数据有效传递的重要手段。采用不完全归纳法,针对常见的三种镜面面... 引入光机热集成分析利于综合考虑红外光学系统在多种物理场综合作用下的性能变化,Zernike圆域多项式作为光机热集成分析中的数据转换接口,是实现光、机、热各分析软件间数据有效传递的重要手段。采用不完全归纳法,针对常见的三种镜面面形(二次曲面、球面、自由曲面)研究了采样点数目和Zernike圆域多项式项数对拟合曲面的精度影响。仿真结果表明:不同曲面类型所需要的多项式项数不同,多项式项数对曲面拟合精度的影响权重要大于采样点数目,过多的多项式项数会导致拟合精度下降甚至出现病态矩阵。最后通过设计实例对Zernike圆域多项式拟合算法和精度进行了验证。 展开更多

关键词 红外光学系统 光机热集成分析 zernike圆域多项式 曲面拟合 拟合精度

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大口径激光发射窗口拼接方法研究 被引量：4

11

作者 刘旭堂 高云国 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第10期243-248,共6页

针对宽波段高能激光发射窗口口径大,单片ZnSe镜片无法满足使用要求等情况,提出了一种发射窗口的拼接方案。依据设备实际受力情况,对窗口的强度进行分析和计算,使窗口的设计更加合理可行。通过分析设备的工作环境确定窗口边界条件,并进... 针对宽波段高能激光发射窗口口径大,单片ZnSe镜片无法满足使用要求等情况,提出了一种发射窗口的拼接方案。依据设备实际受力情况,对窗口的强度进行分析和计算,使窗口的设计更加合理可行。通过分析设备的工作环境确定窗口边界条件,并进一步利用有限元软件详细分析了激光发射窗口在力-热耦合作用下的镜面变形,用Zernike多项式对窗口内外表面的变形进行拟合,求出窗口在力-热耦合作用下面形变化的Zernike表达式。利用Matlab软件,从光束发散角变化量、衍射极限倍率β值和环围能量比RBQ值三个角度,来分析激光发射窗口在复杂工作环境下工作时对激光束的影响。结果表明,拼接窗口可以大大降低窗口的质量和成本,而且对激光束的影响较小,符合设备使用要求。 展开更多

关键词 激光光学 激光发射窗口 热固耦合 zernike多项式 面型拟合 大口径 拼接窗口

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Zernike环多项式分析光电经纬仪主镜变形 被引量：4

12

作者 孟轩 乔彦峰 +2 位作者 何锋赟 孙宁 蔡盛 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2013年第7期91-97,共7页

研究了用Zernike环多项式分析光电经纬仪主反射镜变形的方法。首先推导了将有限元分析的变形结果转换成基于波前坐标系的数据形式的转换公式,然后用Zernike环多项式对某光电经纬仪主反射镜的变形进行拟合,计算了主反射镜变形引起的面形... 研究了用Zernike环多项式分析光电经纬仪主反射镜变形的方法。首先推导了将有限元分析的变形结果转换成基于波前坐标系的数据形式的转换公式,然后用Zernike环多项式对某光电经纬仪主反射镜的变形进行拟合,计算了主反射镜变形引起的面形误差的峰-谷值(30.7nm)和面形误差均方根值(6.3nm),与实际测量结果相比误差分别为9.2%和10.5%。根据Zernike环多项式系数与Seidel多项式系数的关系,得到了主反射镜变形对光学系统像差造成的影响。将Zernike环多项式系数导入光学系统分析软件Zemax中,可对主反射镜变形后的光学系统进行综合分析,为光学系统修正提供参考。 展开更多

关键词 光学设计 zernike环多项式 光电经纬仪 主反射镜 有限元分析 拟合

原文传递

基于Mathe matica5.0的环域Zernike多项式符号计算方法 被引量：4

13

作者 侯溪 伍凡 +1 位作者 吴时彬 陈强 《四川大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期305-310,共6页

在中心遮拦光学元件的波面拟合中,环域Zernike多项式具有优良的性能.该多项式在圆Zernike多项式的基础上,引入新的变量ε遮拦比,进行Gram Schimdt正交化得到.且部分项以递推公式形式表示,使得基函数表达式形式异常复杂,推导困难.基于Mat... 在中心遮拦光学元件的波面拟合中,环域Zernike多项式具有优良的性能.该多项式在圆Zernike多项式的基础上,引入新的变量ε遮拦比,进行Gram Schimdt正交化得到.且部分项以递推公式形式表示,使得基函数表达式形式异常复杂,推导困难.基于Mathematica5.0强大的符号计算功能,用符号计算方法实现了计算.给出了具体的计算步骤和程序流程,计算结果较准确可靠. 展开更多

关键词 环域Zemike多项式 符号计算 波面拟合 中心遮拦

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光机热集成方法的红外系统应用 被引量：3

14

作者 吴卫 白瑜 陈驰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2019年第6期404-409,共6页

红外光学系统在军事、航空航天、民用等领域应用越来越广,系统面临的外界环境复杂多变。只用光学分析软件来评估系统性能的传统方法不仅无法综合考虑不同材料间耦合影响,也不能较为准确地描述热物理梯度场,因此对结果的精确性分析略显不... 红外光学系统在军事、航空航天、民用等领域应用越来越广,系统面临的外界环境复杂多变。只用光学分析软件来评估系统性能的传统方法不仅无法综合考虑不同材料间耦合影响,也不能较为准确地描述热物理梯度场,因此对结果的精确性分析略显不足,而光机热集成分析是综合多物理场作用的有效方法,涵盖了光学、机械、热学三个方向对系统性能的影响因素。通过研究Zernike多项式拟合算法,编制了学科间的数据转换程序,实现了分析模块间的数据传输,并在热不敏红外系统的设计过程中采用光机热集成分析方法得到高低温工况下的光学系统传递函数,为指导系统设计改进、提高系统性能提供了有力的理论依据。 展开更多

关键词 红外系统 光机热集成分析 zernike多项式 波面拟合 数据接口

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干涉仪标准面非旋转对称误差的消除 被引量：3

15

作者 徐晨 陈磊 乌兰图雅 《计量学报》 CSCD 北大核心 2010年第3期219-222,共4页

提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数。测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称... 提出了一种测量干涉仪参考镜非旋转对称面形误差的方法。测量波面用36项Zemike多项式来表示，利用Zemike多项式形式的旋转不变性，求解出参考面非旋转对称误差的Zernike多项式系数。测得了Zygo干涉仪参考镜不同装夹应力下的非旋转对称面形误差分布。比对了该方法和N次相对旋转测量法对同一参考面的测量结果，符合较好。分析了测量误差。该方法仅需两次测量，可有效消除干涉仪标准面低频非旋转对称面形误差。 展开更多

关键词 计量学 非旋转对称误差 zernike多项式拟合 旋转不变性 绝对检验

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非圆孔径离散采样点正交多项式波前拟合 被引量：1

16

作者 孙文卿 陈磊 +2 位作者 李金鹏 乌兰图雅 何勇 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第3期1068-1072,共5页

Zernike多项式拟合是一种在光学领域中广泛应用的分析技术。由于现代光学工程中采集数据的离散性和非圆孔径系统的大量使用,Zernike多项式拟合不能完全满足分析需要。提出了一种基于Zernike多项式的非圆孔径离散采样点的正交多项式。通... Zernike多项式拟合是一种在光学领域中广泛应用的分析技术。由于现代光学工程中采集数据的离散性和非圆孔径系统的大量使用,Zernike多项式拟合不能完全满足分析需要。提出了一种基于Zernike多项式的非圆孔径离散采样点的正交多项式。通过矩阵的QR分解方法得到在离散采样点上的正交多项式基底。分别使用Zernike多项式和正交多项式对150 mm×90 mm的矩形光栅反射波前进行拟合,结果表明两种方法残差波前的PV和RMS值分别相差0.013波长和小于0.001波长。对比不同项数拟合的正交多项式和Zernike多项式系数表明,正交多项式系数之间彼此独立,并由正交多项式系数计算得到了对应的Seidel像差。正交多项式各项系数可以逐项求解,该方法可以显著提高求解速度。 展开更多

关键词 光学测量 zernike多项式 正交多项式 波前拟合 非圆区域

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TMT三镜面形评价过程 被引量：1

17

作者 赵宏超 张景旭 +1 位作者 张丽敏 张彬 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2014年第12期3983-3987,共5页

TMT望远镜是一台R-C式的30 m口径光学红外望远镜,其三镜为椭圆形平面镜,口径为3.594 m×2.568 m,质量达到1.8 t。三镜系统需要把来自于次镜的光折转到望远镜两侧奈氏平台的科学仪器上,具有跟踪和快速定向功能,因此三镜位置也是三轴... TMT望远镜是一台R-C式的30 m口径光学红外望远镜,其三镜为椭圆形平面镜,口径为3.594 m×2.568 m,质量达到1.8 t。三镜系统需要把来自于次镜的光折转到望远镜两侧奈氏平台的科学仪器上,具有跟踪和快速定向功能,因此三镜位置也是三轴正交运动的结果。三镜支撑系统必须能够在多工况、变载荷的条件下有效保证镜面的面形精度,所以依据TMT项目组要求面形结果需优于1/5波长(λ=632.5 nm)或者斜率均方根小于1μrad。以三镜支撑的一种方案为例详细阐述了TMT三镜面形评价的过程。这一方案中底支撑采用18点whiffletree结构形式,侧支撑采用8点A-frame结构形式。首先通过ANSYS建模仿真,然后使用MATLAB进行数据后期处理,依次去除结果中包含的刚体位移项、离焦和像散等,最后使用9个子孔径来拼接归一化的三镜,同时计算每一个子孔径的斜率均方根。这一数据处理方法有别于以往圆形主镜镜面评价的过程,但适合对TMT三镜椭圆镜面面形评价,且在光学系统中斜率均方根比均方根在镜面面形评价上更有意义。对于大口径反射镜镜面面型评价具有重要的指导意义。 展开更多

关键词 大口径反射镜支撑 斜率均方根 TMT zernike多项式拟合 平面拟合

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激光照射稳定性检测系统集成分析 被引量：1

18

作者 边吉 高天元 +1 位作者 韩旭 高懿冰 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2018年第5期350-355,共6页

根据光学设计要求,采用多波段共口径卡氏系统对激光照射稳定性检测系统进行光机结构设计。为保证检测系统在复杂的环境下仍具有较高的检测精度,利用有限元方法对系统结构进行了热力学仿真分析,将各光学元件表面上的节点位移变化代入光... 根据光学设计要求,采用多波段共口径卡氏系统对激光照射稳定性检测系统进行光机结构设计。为保证检测系统在复杂的环境下仍具有较高的检测精度,利用有限元方法对系统结构进行了热力学仿真分析,将各光学元件表面上的节点位移变化代入光机热耦合分析工具Sigfit中进行面形拟合计算。以改进后的Zernike多项式作为光机耦合分析接口,通过Zemax得出光学系统的调制传递函数(MTF)曲线,验证了光机结构设计的合理性。将高低温环境实验数据与集成分析结果对比,对仿真分析过程进行模型修正,进而形成一套完整、准确、适用范围广的光机结构设计方案。 展开更多

关键词 光学设计 光机结构设计 光机集成分析 有限元方法 热力学仿真分析 zernike多项式拟合

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多波段激光合束镜温度适应性分析 被引量：1

19

作者 孙毅 高云国 邵帅 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2015年第3期1-5,共5页

环境温度是激光合束镜设计过程中需要考虑的重要因素。研究了实际应用中环境温度对合束激光光束质量产生的影响。对高功率红外激光常用的材料Zn Se建立光-机-热集成仿真,利用瞬态导热方程和应力应变平衡方程对温度场,应力场进行仿真计... 环境温度是激光合束镜设计过程中需要考虑的重要因素。研究了实际应用中环境温度对合束激光光束质量产生的影响。对高功率红外激光常用的材料Zn Se建立光-机-热集成仿真,利用瞬态导热方程和应力应变平衡方程对温度场,应力场进行仿真计算。将离散的有限元数据提取后通过Zernike多项式拟合镜面畸变。并将透镜折射率的变化转变为光程差的变化,求得出射激光远场光强分布、β因子、环围能量比BQ作为激光光束质量的评价标准。在环境温度(-40℃^+50℃)条件下,长波段激光光束质量保持较好,其β因子最大值为1.761;短波段激光光束质量接近衍射极限,其β因子最大值为1.072。结果显示在环境热冲击下通过合束镜的长波激光以及短波激光保持了良好的光束质量,满足合束镜环境温度使用要求。 展开更多

关键词 激光光学 红外透镜 环境温度 zernike拟合 光束质量

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基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

20

作者 闫公敬 张宪忠 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第7期2206-2210,共5页

大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分,其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段,子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法,基于最大似然估计与正交化Zernike多项... 大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分,其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段,子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法,基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型,基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测,同时编写了相应的拼接程序,并利用Φ100 mm干涉仪对Φ120 mm的平面镜进行了拼接检测,给出了拼接检测与全口径检测的对比结果,对比结果表明:拼接所得全孔径相位分布与全口径检测结果的RMS值偏差分别为0.002λ,验证了算法的可靠性与准确性。 展开更多

关键词 干涉检测 子孔径拼接 最大似然估计 zernike多项式拟合 正交化

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