期刊导航
期刊开放获取
cqvip
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
应用光栅刻线与CCD测量运动位移的研究
1
作者
王选择
李海华
杨练根
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期84-88,共5页
将计量光栅作为标准刻线,应用到对微细物体高精度定位的工作台上,并提出了一种新的直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像;对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系;再对工作台移动前后的光栅图像进行对...
将计量光栅作为标准刻线,应用到对微细物体高精度定位的工作台上,并提出了一种新的直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像;对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系;再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于X-Y图的相位差比率算法获取像素位置差;从而计算出工作台的实际运行位移。实验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量。
展开更多
关键词
位移测量
光栅刻线
图像处理
x
-Y图
下载PDF
职称材料
题名
应用光栅刻线与CCD测量运动位移的研究
1
作者
王选择
李海华
杨练根
机构
湖北工业大学机械工程学院
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第9期84-88,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(50605018)
新世纪优秀人才支持计划资助
文摘
将计量光栅作为标准刻线,应用到对微细物体高精度定位的工作台上,并提出了一种新的直接获取运动位移的方法。调整光路使CCD获取清晰的光栅图像;对图像进行分析处理,计算出栅距与像素之间的映射关系;再对工作台移动前后的光栅图像进行对比,采用基于X-Y图的相位差比率算法获取像素位置差;从而计算出工作台的实际运行位移。实验结果表明,该方法能简单快速地实现微电子加工领域亚像素级的测量。
关键词
位移测量
光栅刻线
图像处理
x
-Y图
Keywords
displacement measurement
grating ruling
image processing
x
-
ygraph
分类号
TN305.7 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
应用光栅刻线与CCD测量运动位移的研究
王选择
李海华
杨练根
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
