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照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析
被引量：
6
1
作者
卢增雄
金春水
马冬梅
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期74-80,共7页
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的...
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响,确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出,当用PDI检测数值孔经(NA)为0.3的系统时,采用直径大小为800nm的小孔较为适宜,其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ,强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时,采用直径大小为500nm的小孔较为适宜,其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ,强度均匀性为0.664。
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关键词
光学设计
点衍射干涉仪
矢量衍射
照明物镜像差
波面偏差
强度均匀性
原文传递
压缩湍流剪切层-空腔流体气动光学效应的计算机仿真(英文)
被引量：
2
2
作者
殷柯欣
姜会林
佟首峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期780-784,共5页
对亚音速机载光电系统由于剪切层-腔流体而导致的气动光学效应进行了数值模拟.剪切层内的压缩效应用对流马赫数0.8表示,腔体的几何形状为L/H=6.7,平均腔内温度为230K.应用商用CFD软件对这个非稳定二维流体进行了仿真.结果表明Strehl比...
对亚音速机载光电系统由于剪切层-腔流体而导致的气动光学效应进行了数值模拟.剪切层内的压缩效应用对流马赫数0.8表示,腔体的几何形状为L/H=6.7,平均腔内温度为230K.应用商用CFD软件对这个非稳定二维流体进行了仿真.结果表明Strehl比随着波长的增加而增大,但是模糊角却变得相对复杂.证明了波长效应并给出了优化的波长模型λ*=2πσt.
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关键词
气动光学效应
剪切层腔流体
光学像差
密度波动
波前偏差
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职称材料
利用标记分水岭法实现夏克-哈特曼波前传感器质心探测
被引量：
5
3
作者
程利群
王晓曼
景文博
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期1494-1499,共6页
由于光斑质心探测精度直接影响夏克-哈特曼波前传感器的波前探测精度,本文提出基于标记分水岭法来确定阵列光斑质心探测窗口。首先,对采集到的夏克-哈特曼阵列光斑图像进行平滑并求出其梯度图像;然后,利用大津(OTSU)阈值法在求出的梯度...
由于光斑质心探测精度直接影响夏克-哈特曼波前传感器的波前探测精度,本文提出基于标记分水岭法来确定阵列光斑质心探测窗口。首先,对采集到的夏克-哈特曼阵列光斑图像进行平滑并求出其梯度图像;然后,利用大津(OTSU)阈值法在求出的梯度图像上进行目标标记,最后在标记过的梯度图像上进行分水岭分割,确定出每个光斑的探测窗口。由于该方法确定的质心探测窗口是对光斑实际大小进行匹配,故有效地抑制了噪声对质心探测的影响。实验结果表明:利用该方法确定光斑探测窗口所计算的质心精确度和稳定性均比传统的在子透镜窗口中计算光斑质心的方法要高。统计多幅图像计算得到的窗口质心标准差的平均值为0.010 9,比传统法计算出的平均值0.073 4提高了6倍,满足哈特曼波前传感器对光斑质心计算稳定性和精确度的要求。
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关键词
夏克-哈特曼波前传感器
质心探测
探测窗口
标记分水岭法
标准差
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职称材料
特高压空气间隙长波前冲击电压多级法试验及数据分析
被引量：
5
4
作者
霍锋
万启发
+2 位作者
胡伟
徐涛
谢梁
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2171-2177,共7页
为了在特高压长间隙放电特性试验研究中选择出较优的数据统计方法,采用多级试验法对特高压猫头真型塔边相I串对塔身间隙进行了5000μs长波前操作冲击放电特性试验,获得了不同电压等级试验电压。并采用直观法、加权平均法、最小二乘法3...
为了在特高压长间隙放电特性试验研究中选择出较优的数据统计方法,采用多级试验法对特高压猫头真型塔边相I串对塔身间隙进行了5000μs长波前操作冲击放电特性试验,获得了不同电压等级试验电压。并采用直观法、加权平均法、最小二乘法3种方法统计了试验数据,求取了50%放电电压和标准偏差的估计值,对比了3种方法统计结果的差异,提出了在特高压长间隙放电电压及变异系数研究中较适用的方法。研究表明,加权平均法和最小二乘法有较好的计算精确度,均可适用于长间隙冲击电压试验数据统计,其中,在该试验数据统计中,前者50%放电电压估计值U^50和标准偏差估计值σ^与后者相比仅相差0.18%和-2.36%;直观法统计误差较明显,不推荐使用。
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关键词
特高压
长波前操作冲击
多级法
标准偏差
最小二乘法
加权平均法
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职称材料
题名
照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析
被引量：
6
1
作者
卢增雄
金春水
马冬梅
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
中国科学院研究生院
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第8期74-80,共7页
基金
国家科技重大专项资助课题
文摘
点衍射干涉仪(PDI)中衍射参考球面波的质量受照明物镜像差和小孔的质量、状态的影响。基于矢量衍射理论,分析计算了可见光经过带像差的照明物镜聚焦后经过有限厚度具有实际电导率小孔板的衍射。分析了照明物镜像差对远场衍射波前质量的影响,确定了PDI检测极紫外光刻(EUVL)元件和系统时的最佳直径大小。分析计算得出,当用PDI检测数值孔经(NA)为0.3的系统时,采用直径大小为800nm的小孔较为适宜,其衍射波前均方根(RMS)偏差为6.51×10-5λ,强度均匀性为0.812。当用PDI检测NA为0.3的元件时,采用直径大小为500nm的小孔较为适宜,其衍射波前的RMS非对称偏差为8.40×10-5λ,强度均匀性为0.664。
关键词
光学设计
点衍射干涉仪
矢量衍射
照明物镜像差
波面偏差
强度均匀性
Keywords
optical
design
point
diffraction
interferometer
（PDI）
vector
diffraction~
aberration
of
illuminationobjective
lens
wave
-
front
deviation
intensity
uniformity
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
压缩湍流剪切层-空腔流体气动光学效应的计算机仿真(英文)
被引量：
2
2
作者
殷柯欣
姜会林
佟首峰
机构
长春理工大学光电工程学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期780-784,共5页
基金
the National High Technology Research and Development Programof China (2003AA712014)
文摘
对亚音速机载光电系统由于剪切层-腔流体而导致的气动光学效应进行了数值模拟.剪切层内的压缩效应用对流马赫数0.8表示,腔体的几何形状为L/H=6.7,平均腔内温度为230K.应用商用CFD软件对这个非稳定二维流体进行了仿真.结果表明Strehl比随着波长的增加而增大,但是模糊角却变得相对复杂.证明了波长效应并给出了优化的波长模型λ*=2πσt.
关键词
气动光学效应
剪切层腔流体
光学像差
密度波动
波前偏差
Keywords
Aero
optic
effects
Shear
layer
cavity
flow
Optical-aberration
Density
fluctuation
wave
-
front
deviation
分类号
TN929.12 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
利用标记分水岭法实现夏克-哈特曼波前传感器质心探测
被引量：
5
3
作者
程利群
王晓曼
景文博
机构
长春理工大学理学院
长春理工大学电子信息工程学院
长春理工大学光电工程学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第6期1494-1499,共6页
基金
吉林省科技发展计划重大项目(No.20106012)
文摘
由于光斑质心探测精度直接影响夏克-哈特曼波前传感器的波前探测精度,本文提出基于标记分水岭法来确定阵列光斑质心探测窗口。首先,对采集到的夏克-哈特曼阵列光斑图像进行平滑并求出其梯度图像;然后,利用大津(OTSU)阈值法在求出的梯度图像上进行目标标记,最后在标记过的梯度图像上进行分水岭分割,确定出每个光斑的探测窗口。由于该方法确定的质心探测窗口是对光斑实际大小进行匹配,故有效地抑制了噪声对质心探测的影响。实验结果表明:利用该方法确定光斑探测窗口所计算的质心精确度和稳定性均比传统的在子透镜窗口中计算光斑质心的方法要高。统计多幅图像计算得到的窗口质心标准差的平均值为0.010 9,比传统法计算出的平均值0.073 4提高了6倍,满足哈特曼波前传感器对光斑质心计算稳定性和精确度的要求。
关键词
夏克-哈特曼波前传感器
质心探测
探测窗口
标记分水岭法
标准差
Keywords
Shack-Hartmann
wave
-
front
sensor
centroid
detection
detection
window
marked
water-shed
method
standard
deviation
分类号
TP212.14 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP391 [自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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职称材料
题名
特高压空气间隙长波前冲击电压多级法试验及数据分析
被引量：
5
4
作者
霍锋
万启发
胡伟
徐涛
谢梁
机构
武汉大学电气工程学院
国网电力科学研究院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第9期2171-2177,共7页
基金
国家电网公司1000kV级交流特高压输变电工程关键技术重大科研项目(SGKJ[2007]70)~~
文摘
为了在特高压长间隙放电特性试验研究中选择出较优的数据统计方法,采用多级试验法对特高压猫头真型塔边相I串对塔身间隙进行了5000μs长波前操作冲击放电特性试验,获得了不同电压等级试验电压。并采用直观法、加权平均法、最小二乘法3种方法统计了试验数据,求取了50%放电电压和标准偏差的估计值,对比了3种方法统计结果的差异,提出了在特高压长间隙放电电压及变异系数研究中较适用的方法。研究表明,加权平均法和最小二乘法有较好的计算精确度,均可适用于长间隙冲击电压试验数据统计,其中,在该试验数据统计中,前者50%放电电压估计值U^50和标准偏差估计值σ^与后者相比仅相差0.18%和-2.36%;直观法统计误差较明显,不推荐使用。
关键词
特高压
长波前操作冲击
多级法
标准偏差
最小二乘法
加权平均法
Keywords
ultra
high
voltage（UHV）
long
wave
-
front
switching
impulse
multistage
method
standard
deviation
least
square
method
weighted
mean
method
分类号
TM855 [电气工程—高电压与绝缘技术]
TM853
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
照明物镜像差对远场衍射波前质量影响的严格矢量分析
卢增雄
金春水
马冬梅
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
6
原文传递
2
压缩湍流剪切层-空腔流体气动光学效应的计算机仿真(英文)
殷柯欣
姜会林
佟首峰
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
下载PDF
职称材料
3
利用标记分水岭法实现夏克-哈特曼波前传感器质心探测
程利群
王晓曼
景文博
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
5
下载PDF
职称材料
4
特高压空气间隙长波前冲击电压多级法试验及数据分析
霍锋
万启发
胡伟
徐涛
谢梁
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
5
下载PDF
职称材料
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