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单晶硅片超精密磨削技术与设备
被引量:
10
1
作者
朱祥龙
康仁科
+1 位作者
董志刚
郭东明
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第18期2156-2164,共9页
结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术...
结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对单晶硅片磨削技术的发展趋势进行了展望。
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关键词
单晶硅片
超精密磨削
磨削设备
低损伤磨削
平整化
背面减薄
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职称材料
基于PMAC的超精密磨床开放式数控系统的研究
被引量:
2
2
作者
董秋艳
郭兵
+1 位作者
韩成顺
赵清亮
《机床与液压》
北大核心
2014年第7期75-78,共4页
根据超精密磨床的结构特点和功能需求,分析了基于PMAC的开放式数控系统的硬件结构,软件组成及软件开发的关键技术;利用Visual C++6.0,采用模块化设计思想开发了超精密磨床的数控系统软件,并对软件模块的功能和实现方法进行了较为深入的...
根据超精密磨床的结构特点和功能需求,分析了基于PMAC的开放式数控系统的硬件结构,软件组成及软件开发的关键技术;利用Visual C++6.0,采用模块化设计思想开发了超精密磨床的数控系统软件,并对软件模块的功能和实现方法进行了较为深入的探讨,试验结果表明:该数控系统的功能齐全,可以满足超精密磨床的要求。
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关键词
开放式数控系统
PMAC
超精密磨床
VC++6
0
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职称材料
无心外圆精磨机床进给成形辊子的解析计算
被引量:
1
3
作者
梁睦
《煤矿机械》
北大核心
2007年第11期40-42,共3页
针对超精加工机床辊子装置的计算都具有近似性,很难估算计算误差,讨论了无心超精加工机床加工外凸滚子成形时,机床辊子的解析解,拟订了超精加工机床进给辊子成形的算法,弥补了设计无心超精加工机床进给装置一般方法不能进行准确计算的缺...
针对超精加工机床辊子装置的计算都具有近似性,很难估算计算误差,讨论了无心超精加工机床加工外凸滚子成形时,机床辊子的解析解,拟订了超精加工机床进给辊子成形的算法,弥补了设计无心超精加工机床进给装置一般方法不能进行准确计算的缺陷,采用此方法可以使机床多波度辊子各段具有更为理想的廓形,大大提高了制造外凸度滚子的精度。
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关键词
进给辊子
无心超精磨加工
廓形精度
解析计算
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职称材料
超精密大尺寸光学玻璃平面磨床的研制
被引量:
2
4
作者
忻晓蔚
姚俊
+2 位作者
姚振强
顾伟彬
孙姚飞
《装备机械》
2012年第1期51-54,共4页
光学玻璃广泛应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及国防工业等领域。上海机床厂有限公司开发了超精密大尺寸光学玻璃平面磨床,对该磨床的结构及相关技术进行了介绍。
关键词
光学玻璃
超精密大尺寸光学玻璃平面磨床
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职称材料
混杂纤维人造花岗岩超精密摆线轮成形磨床床身的动静态特性研究
被引量:
1
5
作者
乔雪涛
王朋
+3 位作者
许华威
闫存富
吴隆
曹衍龙
《机床与液压》
北大核心
2020年第12期65-71,共7页
利用正交试验法,设计并制作了不同配合比的混杂纤维人造花岗岩试件,并对试件进行了抗压强度测试。利用SolidWorks建立了超精密摆线轮成形磨床三维模型,在ANSYS Workbench平台对相似结构的混杂纤维人造花岗岩、未添加纤维人造花岗岩以及...
利用正交试验法,设计并制作了不同配合比的混杂纤维人造花岗岩试件,并对试件进行了抗压强度测试。利用SolidWorks建立了超精密摆线轮成形磨床三维模型,在ANSYS Workbench平台对相似结构的混杂纤维人造花岗岩、未添加纤维人造花岗岩以及铸铁(HT250)摆线轮成形磨床床身分别进行有限元分析。结果表明:(1)添加混杂纤维可以提高人造花岗岩材料强度;(2)混杂纤维人造花岗岩床身的等效变形最小,等效应力低,床身前5阶固有频率最高。
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关键词
人造花岗岩
正交试验
混杂纤维
超精密摆线轮成形磨床床身
有限元分析
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职称材料
题名
单晶硅片超精密磨削技术与设备
被引量:
10
1
作者
朱祥龙
康仁科
董志刚
郭东明
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第18期2156-2164,共9页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2008AA042505)
国家科技重大专项02专项(2009ZX02011)
NSFC-广东省联合基金资助项目(U0734008)
文摘
结合单晶硅片的发展,回顾了单晶硅片超精密磨削技术与设备的发展历程,对比分析了广泛应用的转台式磨削、硅片旋转磨削和双面磨削等硅片磨削技术的原理及代表性设备的特点,讨论了用于单晶硅片平整化加工和背面减薄加工的低损伤磨削技术的最新进展,并对单晶硅片磨削技术的发展趋势进行了展望。
关键词
单晶硅片
超精密磨削
磨削设备
低损伤磨削
平整化
背面减薄
Keywords
silicon
wafer
ultra
-
precision
grinding
grinder
low-damage
grinding
planarization
back
thinning
分类号
TN305.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于PMAC的超精密磨床开放式数控系统的研究
被引量:
2
2
作者
董秋艳
郭兵
韩成顺
赵清亮
机构
哈尔滨工业大学精密工程研究所
出处
《机床与液压》
北大核心
2014年第7期75-78,共4页
文摘
根据超精密磨床的结构特点和功能需求,分析了基于PMAC的开放式数控系统的硬件结构,软件组成及软件开发的关键技术;利用Visual C++6.0,采用模块化设计思想开发了超精密磨床的数控系统软件,并对软件模块的功能和实现方法进行了较为深入的探讨,试验结果表明:该数控系统的功能齐全,可以满足超精密磨床的要求。
关键词
开放式数控系统
PMAC
超精密磨床
VC++6
0
Keywords
Open
CNC
System
PMAC
ultra
-
precision
grinder
VC
+
+6.
0
分类号
TH164 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
无心外圆精磨机床进给成形辊子的解析计算
被引量:
1
3
作者
梁睦
机构
中原工学院机电学院
出处
《煤矿机械》
北大核心
2007年第11期40-42,共3页
文摘
针对超精加工机床辊子装置的计算都具有近似性,很难估算计算误差,讨论了无心超精加工机床加工外凸滚子成形时,机床辊子的解析解,拟订了超精加工机床进给辊子成形的算法,弥补了设计无心超精加工机床进给装置一般方法不能进行准确计算的缺陷,采用此方法可以使机床多波度辊子各段具有更为理想的廓形,大大提高了制造外凸度滚子的精度。
关键词
进给辊子
无心超精磨加工
廓形精度
解析计算
Keywords
convex
roller
centreless
ultra
-
precision
grinder
corrugated
from
precision
analytic
calculation
分类号
TG502 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
超精密大尺寸光学玻璃平面磨床的研制
被引量:
2
4
作者
忻晓蔚
姚俊
姚振强
顾伟彬
孙姚飞
机构
上海机床厂有限公司
上海电气集团股份有限公司中央研究院
上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室
出处
《装备机械》
2012年第1期51-54,共4页
文摘
光学玻璃广泛应用于激光技术、光电通讯、航空航天以及国防工业等领域。上海机床厂有限公司开发了超精密大尺寸光学玻璃平面磨床,对该磨床的结构及相关技术进行了介绍。
关键词
光学玻璃
超精密大尺寸光学玻璃平面磨床
Keywords
optical
glass
large
ultra
.
precision
optical
glass
surface
grinder
分类号
TH740.6 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
混杂纤维人造花岗岩超精密摆线轮成形磨床床身的动静态特性研究
被引量:
1
5
作者
乔雪涛
王朋
许华威
闫存富
吴隆
曹衍龙
机构
中原工学院机电学院
浙江大学机械工程学院
出处
《机床与液压》
北大核心
2020年第12期65-71,共7页
基金
河南省科技计划项目(172102210586,182102210512)
郑州市科技攻关项目(153PKJGG132)。
文摘
利用正交试验法,设计并制作了不同配合比的混杂纤维人造花岗岩试件,并对试件进行了抗压强度测试。利用SolidWorks建立了超精密摆线轮成形磨床三维模型,在ANSYS Workbench平台对相似结构的混杂纤维人造花岗岩、未添加纤维人造花岗岩以及铸铁(HT250)摆线轮成形磨床床身分别进行有限元分析。结果表明:(1)添加混杂纤维可以提高人造花岗岩材料强度;(2)混杂纤维人造花岗岩床身的等效变形最小,等效应力低,床身前5阶固有频率最高。
关键词
人造花岗岩
正交试验
混杂纤维
超精密摆线轮成形磨床床身
有限元分析
Keywords
Artificial
granite
Orthogonal
test
Hybrid
fiber
ultra
precision
cycloid
wheel
forming
grinder
bed
Finite
element
analysis
分类号
TG584 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
单晶硅片超精密磨削技术与设备
朱祥龙
康仁科
董志刚
郭东明
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
10
下载PDF
职称材料
2
基于PMAC的超精密磨床开放式数控系统的研究
董秋艳
郭兵
韩成顺
赵清亮
《机床与液压》
北大核心
2014
2
下载PDF
职称材料
3
无心外圆精磨机床进给成形辊子的解析计算
梁睦
《煤矿机械》
北大核心
2007
1
下载PDF
职称材料
4
超精密大尺寸光学玻璃平面磨床的研制
忻晓蔚
姚俊
姚振强
顾伟彬
孙姚飞
《装备机械》
2012
2
下载PDF
职称材料
5
混杂纤维人造花岗岩超精密摆线轮成形磨床床身的动静态特性研究
乔雪涛
王朋
许华威
闫存富
吴隆
曹衍龙
《机床与液压》
北大核心
2020
1
下载PDF
职称材料
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