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基于巯基-烯材料的亚波长光栅制备方法研究
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作者 张满 邓启凌 +4 位作者 李志炜 庞辉 史立芳 曹阿秀 胡松 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第1期65-70,共6页
针对亚波长光栅结构和特性要求,本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板,以巯基-烯材料作为压印胶,利用紫外光固化软印刷技术制备以聚甲基丙烯酸甲酯(PM... 针对亚波长光栅结构和特性要求,本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板,以巯基-烯材料作为压印胶,利用紫外光固化软印刷技术制备以聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)为波导层的巯基-烯材料亚波长光栅。本文对巯基-烯亚波长光栅三层结构进行了模拟仿真,并利用该方法制备了周期为300 nm的巯基-烯亚波长光栅,仿真和实验结果表明该光栅可以在特定角度反射波长为448 nm～482 nm的蓝光,实验现象与仿真结果一致,表明提出的方法可以有效的制备聚合物材料亚波长光栅。同时该方法操作简单、成本低、易于大批量复制,在微纳米结构制备方面具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 亚波长光栅 巯基-烯材料 PDMS 紫外光固化软印刷技术 PMMA
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