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微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率(英文)
被引量：
14
1
作者
李博
韩柏
+3 位作者
吕宪义
李红东
汪剑波
金曾孙
《新型炭材料》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期245-249,共5页
采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1μm/h^2μm/h。在...
采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1μm/h^2μm/h。在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜,其生长速率达到7μm/h^8μm/h,经过两面抛光之后膜厚为260μm的金刚石膜的在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到60%左右,而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同。这些结果为大尺寸金刚石厚膜在红外窗口上的实际应用奠定了基础。
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关键词
微波PCVD
透明自支撑金刚石膜
红外透过率
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职称材料
题名
微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率(英文)
被引量：
14
1
作者
李博
韩柏
吕宪义
李红东
汪剑波
金曾孙
机构
吉林大学超硬材料国家重点实验室
哈尔滨理工大学电气与电子工程学院
出处
《新型炭材料》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期245-249,共5页
基金
the National 863 Program of China(2002AA325090)~~
文摘
采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300μm的大尺寸透明自支撑金刚石膜。在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1μm/h^2μm/h。在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜,其生长速率达到7μm/h^8μm/h,经过两面抛光之后膜厚为260μm的金刚石膜的在500cm-1~4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到60%左右,而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同。这些结果为大尺寸金刚石厚膜在红外窗口上的实际应用奠定了基础。
关键词
微波PCVD
透明自支撑金刚石膜
红外透过率
Keywords
Microwave
PCVD
transparent
free
-
standing
diamond
film
IR
transmittance
分类号
O613.71 [理学—无机化学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率(英文)
李博
韩柏
吕宪义
李红东
汪剑波
金曾孙
《新型炭材料》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
14
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职称材料
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