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α-C:H膜表面形貌及光学性能的测试分析 被引量：4
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作者 刘兴华 吴卫东 +3 位作者 何智兵 袁前飞 王红斌 蔡从中 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期1853-1857,共5页
以H2和反式-2-丁烯（T2B）为工作气体，利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C：H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C：H薄膜的表面形貌，分析了实验参数对其形貌的影响。研究表明：固定压强（15Pa），当T2B／H2流量比... 以H2和反式-2-丁烯（T2B）为工作气体，利用低压等离子体增强化学气相沉积法制备了α-C：H薄膜。采用原子力显微镜、扫描电镜测试了α-C：H薄膜的表面形貌，分析了实验参数对其形貌的影响。研究表明：固定压强（15Pa），当T2B／H2流量比为4时，薄膜均方根粗糙度可达0．97nm。保持T2B／H2流量比固定，增加工作气压，薄膜均方根粗糙度减小，表面更平整、致密。利用傅里叶变换红外光谱仪对薄膜价键结构进行分析，结果表明：α-C：H薄膜中主要存在sp^3C—H键，氢含量较高；T2B／H2流量比越低，薄膜中含有更多的C=C键。应用UV—VIS光谱仪，获得了波长在200～1100nm范围内薄膜的光吸收特性，α-C：H薄膜透过率可达98％，计算得到的折射率在1．16～1．40。随工作气压的增加，α-C：H薄膜中sp^3杂化键增多，透过率、折射率增大。 展开更多
关键词 α-C:H薄膜 表面粗糙度 折射率 透过率 杂化键
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