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圆光栅细分误差的动态测量
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作者 方银东 戴兴庆 《上海机械学院学报》 1989年第3期55-58,80,共5页
本文讨论了圆光栅细分误差及其测量,提出了不采用高精度标准件的圆光栅细分误差测量法——时间平均法,并通过实际测试结果证明了时间平均法的可行性。
关键词 光栅刻划 平均误差 动态测量 光栅
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