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磁控溅射沉积工艺条件对薄膜厚度均匀性的影响 被引量:22
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作者 温培刚 颜悦 +1 位作者 张官理 望咏林 《航空材料学报》 EI CAS CSCD 2007年第3期66-68,共3页
薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度。结果表明:靶基间... 薄膜厚度均匀性是衡量薄膜质量和镀膜装置性能的一项重要指标。在自行设计的磁控溅射沉积设备上,对薄膜沉积工艺中靶基间距、溅射功率、工作气压对膜厚均匀性的影响进行了研究,由连续光谱椭圆偏光仪SE800测量薄膜厚度。结果表明:靶基间距较大的情况下,薄膜均匀性明显改善;溅射功率和工作气压对薄膜均匀性也有较大的影响。 展开更多
关键词 磁控溅射 膜厚均匀性 膜厚测量
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磁控溅射膜厚均匀性与靶-基距关系的研究 被引量:20
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作者 徐均琪 易红伟 +1 位作者 蔡长龙 杭凌侠 《真空》 CAS 北大核心 2004年第2期25-28,共4页
从理论上分析了平面磁控溅射靶沉积薄膜的厚度均匀性。根据磁控溅射阴极靶刻蚀的实际测量数据 ,建立了靶的刻蚀速率方程 ,以此为依据 ,对膜厚均匀性的有关公式进行了讨论。采用计算机计算了基片处于不同靶 -基距时 ,膜厚均匀性的分布。... 从理论上分析了平面磁控溅射靶沉积薄膜的厚度均匀性。根据磁控溅射阴极靶刻蚀的实际测量数据 ,建立了靶的刻蚀速率方程 ,以此为依据 ,对膜厚均匀性的有关公式进行了讨论。采用计算机计算了基片处于不同靶 -基距时 ,膜厚均匀性的分布。研究结果表明 ,随着靶基距的增加 ,膜厚均匀性逐渐变好。在同样的靶基距下 ,沿靶长度方向的均匀性明显优于宽度方向。最后 ,通过实验证实了上述结论。 展开更多
关键词 磁控溅射薄膜 厚度均匀性 靶-基距 等离子体 氩气
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化学气相沉积制备ZnS块材料均匀性的研究 被引量:5
3
作者 憨勇 刘正堂 郑修麟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 1998年第4期15-18,22,共5页
以硫化氢气体与锌为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和硫化氢、锌蒸汽、载气氩气流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制... 以硫化氢气体与锌为原料,通过化学气相沉积制备了ZnS块材料。分析了ZnS的沉积过程机理,研究了沉积参数如沉积温度、沉积区压力和硫化氢、锌蒸汽、载气氩气流量对ZnS厚度均匀性的影响规律,提出了改善ZnS厚度均匀性、抑制沉积表面球状物生长的途径。 展开更多
关键词 化学气相沉积 厚度 均匀性 硫化锌 红外线材料
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基于遮挡矩阵的膜厚修正挡板的设计 被引量:12
4
作者 张立超 高劲松 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第11期2757-2763,共7页
为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂,实际工作中通常采用多次试验,反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题,本文提出了遮挡... 为了在光学元件镀膜过程中精确控制膜厚均匀性,通常需要有针对性地设计并制作膜厚修正挡板。然而,由于基底在真空室内运动方式复杂,实际工作中通常采用多次试验,反复进行局部修正的方法来确定挡板形状。为解决这一问题,本文提出了遮挡矩阵的概念。基于这一概念,提出了膜厚修正挡板的设计方法。通过对挡板进行合理的划分,对膜厚空间分布与挡板形状建立起精确的定量关系,从而可在不需进行事后修正的情况下,准确计算出修正挡板的形状。针对平面行星夹具,设计并制作了膜厚修正挡板,在φ300mm的口径上实现了膜厚均匀性的PV值优于0.3%、rms值优于0.1%。这些结果验证了这一方法的有效性,表明该方法满足光学元件镀膜过程中高效、可靠地调整膜厚均匀性的要求。 展开更多
关键词 热蒸发 膜厚控制 膜厚均匀性 行星夹具 修正挡板 遮挡矩阵
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制片工艺对动力锂离子电池性能的影响 被引量:11
5
作者 刘斌斌 杜晓钟 +2 位作者 闫时建 王荣军 王金鹏 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2018年第6期788-791,894,共5页
为了系统研究锂离子电池正极片制作工艺对电池性能的影响,采用Li Fe PO4作为正极活性材料组装成扣式实验电池,分别考察了正极片的涂敷厚度、辊压压下率、辊压道次数和辊压温度对电池主要电化学性能的影响,发现这些工艺因素显著影响电池... 为了系统研究锂离子电池正极片制作工艺对电池性能的影响,采用Li Fe PO4作为正极活性材料组装成扣式实验电池,分别考察了正极片的涂敷厚度、辊压压下率、辊压道次数和辊压温度对电池主要电化学性能的影响,发现这些工艺因素显著影响电池性能,而且都可以归结为通过影响电池内阻而影响电池性能的。当涂敷厚度为100 mm、辊压压下率为50%、辊压道次数为3、辊压温度为160℃时电池有比较好的综合性能。 展开更多
关键词 锂离子电池 制片工艺 面密度 压实密度 厚度一致性
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加载路径对内高压成形件壁厚分布影响分析 被引量:7
6
作者 刘钢 苑世剑 +1 位作者 王小松 苗启斌 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第2期162-165,共4页
研究了两端非对称管件内高压成形改善壁厚均匀性的方法,采用数值模拟和试验研究对管件内高压成形进行了非对称加载路径和预成形的优化,获得了工件变形过程及厚度分布变化,并分析了加载路径对壁厚均匀性的影响.研究表明:采用优化的加载... 研究了两端非对称管件内高压成形改善壁厚均匀性的方法,采用数值模拟和试验研究对管件内高压成形进行了非对称加载路径和预成形的优化,获得了工件变形过程及厚度分布变化,并分析了加载路径对壁厚均匀性的影响.研究表明:采用优化的加载路径和预成形,补料和内压的良好匹配改善了两端非对称管件轴向补料的效果,形成有益的起皱,进而改善整形过程的应力应变状态,提高了壁厚均匀性和成形极限. 展开更多
关键词 内高压成形 加载路径 壁厚均匀性 轻量化零件
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Thickness Uniformity Adjustment of Inkjet Printed Light-emitting Polymer Films by Solvent Mixture 被引量:8
7
作者 Rubo Xing Tengling Ye Yan Ding Zicheng Ding Dongge Ma Yanchun Han 《Chinese Journal of Chemistry》 SCIE CAS CSCD 2013年第11期1449-1454,共6页
In this paper, thickness uniformity of poly(9,9-di-n-octylfluorene) films patterned by inkjet printing was im- proved by the use of solvent mixtures (a solvent with higher volatility, higher surface energy and lowe... In this paper, thickness uniformity of poly(9,9-di-n-octylfluorene) films patterned by inkjet printing was im- proved by the use of solvent mixtures (a solvent with higher volatility, higher surface energy and lower viscosity, with another solvent with lower volatility, lower surface energy and higher viscosity). The average thickness of inkjet printed poly(9,9-di-n-octylfluorene) films was increased from ca. 30 nm to ca. 100 nm when solvent mixtures were used instead of pure chlorobenzene. More flat PFO films were formed instead of the original films with con- cave-lens like cross-section formed by coffee ring effect. This improvement was explained by combination of in- tense Marangoni flow at early drying process and weak complementary flow at the later drying process formed in the solvent mixture. Patterned poly(9,9-di-n-octylfluorene) films were used for fabrication of electroluminescence devices with improved electronic property. Array of pixels with about 80% effective light-emitting area was ob- tained. 展开更多
关键词 inkjet printing solvent mixtures thickness uniformity organic light-emitting diodes marangoni flow coffee ring effect
原文传递
离子束辅助沉积大口径光学薄膜 被引量:9
8
作者 艾万君 熊胜明 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2015年第B12期183-188,共6页
利用国内最大箱式高真空镀膜设备ZZS3600,开展了双离子束辅助反应蒸发技术及光学薄膜厚度均匀性研究。借助MarkⅡ离子源辅助反应蒸发技术,对Ta_2O_5、SiO_2常见的高、低折射率光学薄膜进行了制备与特性分析。结果表明:在蒸发源与沉积基... 利用国内最大箱式高真空镀膜设备ZZS3600,开展了双离子束辅助反应蒸发技术及光学薄膜厚度均匀性研究。借助MarkⅡ离子源辅助反应蒸发技术,对Ta_2O_5、SiO_2常见的高、低折射率光学薄膜进行了制备与特性分析。结果表明:在蒸发源与沉积基底距离较大的镀膜环境下,具有低能、高束流密度离子源有利于薄膜结构的致密化,薄膜性能的改善。根据大口径光学元件尺寸,结合真空室空间几何配置,开展了行星及单轴转动方式下镀膜膜厚均匀性的研究。行星转动方式下,分析了直径140 cm行星盘工件膜厚均匀性,无修正挡板运行时膜厚不均匀性优于0.4%。单轴转动方式下,分析了200 cm光学元件膜厚均匀性,并通过设计修正挡板将膜厚不均匀性控制在0.6%以内。采用双离子束辅助反应蒸发技术有利于实现高性能大口径光学薄膜的制备。 展开更多
关键词 离子辅助沉积 高真空镀膜设备 大口径光学薄膜 光学特性 膜厚均匀性
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流场分布对纳米结构模板电沉积成型质量的影响 被引量:8
9
作者 吕辉 蒋炳炎 +2 位作者 翁灿 周明勇 黎醒 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期1211-1217,共7页
提出采用新型阴极多自由度运动电沉积技术制作纳米结构模塑成型镍模板,研究不同流场分布状态下电沉积成型模板的厚度分布、表面质量和纳米结构成型精度。研究结果表明:阴极定轴转动可使其表面流体流动增强,但对电解液的整体搅拌作用较弱... 提出采用新型阴极多自由度运动电沉积技术制作纳米结构模塑成型镍模板,研究不同流场分布状态下电沉积成型模板的厚度分布、表面质量和纳米结构成型精度。研究结果表明:阴极定轴转动可使其表面流体流动增强,但对电解液的整体搅拌作用较弱,需辅助高压空气搅拌等措施以增强传质效果;阴极水平往复运动对电解液整体搅拌作用较强,但阴极表面电铸液流动性较差,上部区域存在流动死角;当阴极定轴旋转转速为150 r/min,水平往复移动速度为250 mm/s时,镀层厚度偏差可分别降低至17.26%和20.93%;运动阴极电沉积制得的镍模板表面气孔缺陷明显减少,纳米结构的复制精度显著提高,可应用于纳米结构模塑成型工艺。 展开更多
关键词 纳米结构 电沉积 流体分布 厚度均匀性 表面质量
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动力锂离子电池极片的辊压工艺研究 被引量:8
10
作者 刘斌斌 杜晓钟 +1 位作者 王荣军 闫时建 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2018年第4期592-598,共7页
极片的厚度一致性对动力锂离子电池组的容量、循环寿命和安全性等有重要的影响。针对极片在实际辊压中存在厚度一致性差和辊压宽度窄的问题,采用有限元软件建立了二辊辊压机和四辊辊压机的轧辊有限元模型,借助实验的方法验证了所建有限... 极片的厚度一致性对动力锂离子电池组的容量、循环寿命和安全性等有重要的影响。针对极片在实际辊压中存在厚度一致性差和辊压宽度窄的问题,采用有限元软件建立了二辊辊压机和四辊辊压机的轧辊有限元模型,借助实验的方法验证了所建有限元模型的准确性。得到了相同辊压工艺条件下与二辊辊压机■500×500等效的四辊辊压机辊系模型;分析了四辊辊压机工作辊辊径、支撑辊辊径、辊身长度及弯辊力的变化对极片厚度一致性的影响规律。研究结果表明:四辊辊压机代替二辊辊压机辊压动力锂离子电池极片具有可行性;随着四辊辊压机工作辊辊径和支承辊辊径的增加,极片沿宽度方向的厚度一致性有所提高;随着四辊辊压机辊身长度的增加,极片沿宽度方向的厚度一致性变差;随着对工作辊施加弯辊力的增加,极片沿宽度方向的厚度一致性提高,同时极片辊压宽度也有所增加,可以改善目前实际生产中极片辊压宽度过窄的问题。 展开更多
关键词 动力锂离子电池 锂离子电池极片 极片辊压 一致性
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辅助阴极对电铸微模芯厚度均匀性的影响 被引量:7
11
作者 吕辉 徐腾飞 +2 位作者 刘佳 黎醒 蒋炳炎 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2014年第17期732-736,共5页
用Ansys有限元软件对微透镜阵列模芯电铸过程中的电场线分布进行模拟分析,研究了辅助阴极的尺寸对电流密度分布的影响,预测了电铸模芯厚度均匀性的变化趋势。分析发现,辅助阴极能提高电铸模芯厚度的均匀性,当框形辅助阴极与母板阴极的... 用Ansys有限元软件对微透镜阵列模芯电铸过程中的电场线分布进行模拟分析,研究了辅助阴极的尺寸对电流密度分布的影响,预测了电铸模芯厚度均匀性的变化趋势。分析发现,辅助阴极能提高电铸模芯厚度的均匀性,当框形辅助阴极与母板阴极的边长之比为1.5时,模芯表面的电流密度相对偏差由无辅助阴极时的82.8%降低至10.1%。通过电铸实验对模拟结果进行验证。结果表明,所得铸层厚度偏差可降低到18.89%,与模拟分析结果较为一致。电铸成型所得1 mm厚的微透镜阵列模芯厚度均匀,微观形貌与母板一致,可应用于微注塑成型工艺。 展开更多
关键词 微透镜阵列 微模芯 电铸 辅助阴极 数值仿真 厚度均匀性 电流密度分布
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ZnS头罩增透保护膜系制备 被引量:5
12
作者 宋建全 刘正堂 +2 位作者 于忠奇 耿东生 郑修麟 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2001年第3期203-206,共4页
利用计算机对不同运动轨迹下 Zn S头罩外表面膜厚分布进行了模拟 ,优化出头罩的最佳运动轨迹 ,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射 (RRFS)法进行头罩镀膜 ,能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性 .实验结果表明 ,头罩外表面薄膜厚度不均... 利用计算机对不同运动轨迹下 Zn S头罩外表面膜厚分布进行了模拟 ,优化出头罩的最佳运动轨迹 ,在该轨轨迹下采用射频磁控反应溅射 (RRFS)法进行头罩镀膜 ,能够得到满足使用要求的薄膜厚度均匀性 .实验结果表明 ,头罩外表面薄膜厚度不均匀性小于 10 % ,双面镀膜后 ,8~ 11.5 μm波段平均透过率从 6 9.6 %提高到 87.2 %以上 ,透过率的不均匀性小于 1.2 % ,满足了红外应用中对 Zn S头罩的要求 . 展开更多
关键词 头罩 射频磁控溅射 厚度均匀性 红外光学性能 模拟 增透保护膜系 硫化锌 薄膜
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面向壁厚均匀的液压成形三通管的坯料设计方法与参数优化
13
作者 张渝 周豪 +2 位作者 王祥鉴 蓝丽招 刘奇峰 《精密成形工程》 北大核心 2024年第5期225-234,共10页
目的研究连续变厚度管液压成形过程中三通管的壁厚均匀性问题。方法首先,利用有限元软件分析得到了等厚管液压成形三通管过程中的成形规律,根据其成形规律,反向设计了用于液压成形三通管的连续变厚度管坯;其次,采用正交试验方法,研究了... 目的研究连续变厚度管液压成形过程中三通管的壁厚均匀性问题。方法首先,利用有限元软件分析得到了等厚管液压成形三通管过程中的成形规律,根据其成形规律,反向设计了用于液压成形三通管的连续变厚度管坯;其次,采用正交试验方法,研究了连续变厚度管厚区壁厚、过渡区长度对液压成形三通管成形质量的影响;最后,采用多岛遗传算法,对连续变厚度管的结构参数进行了优化验证,提高了液压成形三通管的成形质量。结果在等厚管液压成形三通管成形过程中,支管顶部壁厚值持续减小、轴向过渡圆角及直管底部中间位置处壁厚值持续增大;环向过渡圆角处等效应力最大,其他位置连续变化;轴向压应力使得三通管壁厚增大,拉应力使得壁厚减小;正交试验结果表明,当连续变厚度管厚区厚度、环向过渡区长度达到某一值时将出现较好的壁厚均匀性;在4种过渡区曲线线型中,直线型的壁厚均匀性最好;通过多目标优化得到最佳连续变厚度管结构参数,并通过有限元仿真进行验证,相对误差均在2%以内,使用优化后的连续变厚度管液压成形三通管相对于等厚管,壁厚均匀值减小了0.423 mm。结论可以采用厚度补偿或减薄的方式来提高成形三通管的壁厚均匀性;连续变厚度管坯相比于等厚管,显著提高了液压成形三通管的壁厚均匀性。 展开更多
关键词 连续变厚度管 液压成形 壁厚均匀性 结构设计 多岛遗传算法
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基片的运动方式对磁控溅射矩形靶镀膜均匀性的影响 被引量:6
14
作者 张向秀 张鹏飞 +2 位作者 赵瑾珠 郭攀 杜晓松 《真空》 CAS 2016年第4期1-5,共5页
本文从理论上分析了磁控溅射镀膜中基片的运动方式对沉积薄膜厚度均匀性的影响。在考虑了溅射环内不同位置刻蚀权重的情况下,对静止、直线往复运动(以下简称平动)、平动结合转动、平动结合转动并在折返处停留自旋四种运动方式,根据余弦... 本文从理论上分析了磁控溅射镀膜中基片的运动方式对沉积薄膜厚度均匀性的影响。在考虑了溅射环内不同位置刻蚀权重的情况下,对静止、直线往复运动(以下简称平动)、平动结合转动、平动结合转动并在折返处停留自旋四种运动方式,根据余弦定律对矩形靶在圆形基片上溅射的膜厚分布进行物理建模和仿真研究,并计算出相应的镀膜均匀度。研究结果表明,相比静止模式,平动时的膜厚均匀性有显著改善,平动结合转动的膜厚均匀性优于平动模式;但在前三种模式下,基片上的膜厚分布均为中心厚,边缘薄。而当采用第四种模式时,膜厚分布不再呈单调下降的趋势,延长停留时间会使膜厚分布发生翻转,变为中间薄、边缘厚,中间存在一个最佳的停留时间使得膜厚均匀性最好。 展开更多
关键词 磁控溅射 膜厚均匀性 膜厚分布 基片运动方式
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亚硫酸盐体系置换镀金的性能表征及工艺优化 被引量:6
15
作者 李冰 李宁 +2 位作者 谢金平 范小玲 宗高亮 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2016年第9期444-448,共5页
针对亚硫酸盐体系镀金液的稳定性和镀层均匀性问题,制定了测试评估方法及工艺改进方案。提出了高温稳定性测试、Ni^(2+)耐受能力测试和还原剂稳定性测试3种方法来评价镀金液稳定性。镀层均匀性则通过测厚仪多点测厚,计算总体相对标准偏... 针对亚硫酸盐体系镀金液的稳定性和镀层均匀性问题,制定了测试评估方法及工艺改进方案。提出了高温稳定性测试、Ni^(2+)耐受能力测试和还原剂稳定性测试3种方法来评价镀金液稳定性。镀层均匀性则通过测厚仪多点测厚,计算总体相对标准偏差(RSD)进行表征。通过单因素试验对配位剂组成和工艺条件进行了优化,得到置换镀金的最佳镀液组成和工艺条件为:Na_3Au(SO_3)_25 mmol/L,Na_2SO_3 0.3 mol/L,三乙醇胺0.1 mol/L,Na_2S_2O_3 5 mmol/L,Na_2HPO_4 0.2 mol/L,pH 6.5,温度60°C,搅拌速率1 m/min。优化后的镀液稳定,施镀10 min所得镀层的平均厚度约为0.05μm,RSD小于10%,表面粗糙度为20.8 nm左右,满足化学镀镍/置换镀金(ENIG)工艺的要求。 展开更多
关键词 化学镀镍 置换镀金 亚硫酸盐 配位剂 厚度均匀性 镀液稳定性 测定
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喷涂角度对螺栓表面涂层厚度均匀性的影响
16
作者 张云鹏 万冰华 +3 位作者 赵彦伟 马睿 张涛 卢文壮 《科学技术与工程》 北大核心 2024年第6期2362-2366,共5页
针对工程中采用铝涂料涂覆螺栓时螺栓表面铝涂层易出现的厚度不均匀问题,研究喷涂角度对螺栓表面涂层均匀性的影响规律。对喷涂系统的喷嘴和螺栓进行建模,通过计算流体动力学仿真软件Fluent建立了雾化流场的气液两相流物理模型,使用离... 针对工程中采用铝涂料涂覆螺栓时螺栓表面铝涂层易出现的厚度不均匀问题,研究喷涂角度对螺栓表面涂层均匀性的影响规律。对喷涂系统的喷嘴和螺栓进行建模,通过计算流体动力学仿真软件Fluent建立了雾化流场的气液两相流物理模型,使用离散相模型(discrete phase model, DPM)分析了流场中气相和液相的相互作用,获得了在不同角度下的喷涂流场,预测了螺栓表面液膜沉积厚度。搭建了喷涂试验系统并与模拟结果进行了验证,模拟和试验研究均表明在喷涂角度为30°时螺栓表面涂层均匀性最佳。 展开更多
关键词 喷涂流场 铝涂层 流体仿真 厚度均匀性
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基于高频率公转速度变化策略的极紫外多层膜均匀性研究
17
作者 徐国华 韩伟明 +1 位作者 王佳兴 宋晓伟 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2024年第3期1-9,共9页
应用自研高真空磁控溅射镀膜系统,在高反射率和高均匀性极紫外Mo/Si多层膜方面开展实验研究。采用高速匀速自转和调节公转转速相结合的行星运行式镀膜方法,在高频率公转速度变化策略下,实现了多层膜周期厚度的较高均匀性。实验结果表明... 应用自研高真空磁控溅射镀膜系统,在高反射率和高均匀性极紫外Mo/Si多层膜方面开展实验研究。采用高速匀速自转和调节公转转速相结合的行星运行式镀膜方法,在高频率公转速度变化策略下,实现了多层膜周期厚度的较高均匀性。实验结果表明,通过公转速度高频变化,连续调整基底掠过靶材表面的速度,提高了多层膜周期厚度的均匀性,在150 mm直径范围内,曲面基底上6.92 nm周期厚度的Mo/Si多层膜周期厚度的相对偏差优于±0.3%。同步辐射测试结果表明,在入射角5°时,Mo/Si多层膜在中心波长13.5 nm处反射率达62.2%。 展开更多
关键词 磁控溅射 MO/SI多层膜 极紫外 膜厚均匀性 制备技术
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基于电化学圆周3D打印的切割片制备基础研究
18
作者 袁和平 庄钰洋 +1 位作者 严锦炀 刘康泓 《电镀与涂饰》 CAS 北大核心 2024年第4期65-73,共9页
[目的]制备超薄金刚石切割片的常规侧面沉积工艺存在两侧不一致而引起切割受力不对称、导致加工缺陷等问题。为此,提出了一种基于电化学圆周3D打印的新技术,探索圆环超薄片沿圆周生长的可能性,从基础上先研究以圆周径向逐圈生长的方式... [目的]制备超薄金刚石切割片的常规侧面沉积工艺存在两侧不一致而引起切割受力不对称、导致加工缺陷等问题。为此,提出了一种基于电化学圆周3D打印的新技术,探索圆环超薄片沿圆周生长的可能性,从基础上先研究以圆周径向逐圈生长的方式制备环形镍薄片的方法。[方法]在自主设计制造的电化学圆周3D打印实验平台上,探索在旋转状态下环形镍薄片的成形机制。先建立等比二维仿真模型,采用COMSOL Multiphysics有限元仿真软件进行仿真,研究不同电沉积参数对沉积层轮廓及电解质电流密度分布的影响。然后通过单因素实验,研究了加工电流和阴极旋转速率对镍薄片沉积形貌及其均匀性的影响。[结果]在45钢基体直径50mm、极间距1.5mm的情况下,当加工电流为0.10~0.15A,阴极旋转速率为1.0~1.5 r/s时,可以获得均匀性较好的镍金属薄片。[结论]本研究为以电化学圆周3D打印方式制备精密切割片打下了基础。 展开更多
关键词 电化学增材制造 超薄切割片 电沉积 三维打印 微观形貌 厚度均匀性
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高介电常数超薄PTFE/TiO_(2)复合薄膜的厚度均匀性研究 被引量:2
19
作者 金霞 冯春明 +1 位作者 贾倩倩 张立欣 《塑料科技》 CAS 北大核心 2023年第4期59-63,共5页
采用涂覆工艺制备聚四氟乙烯/二氧化钛(PTFE/TiO_(2))复合薄膜,针对TiO_(2)粉体密度大容易沉降问题,探究浆料总量、浆料黏度、涂覆速率的压力差等因素对成膜厚度均匀性的影响。结果表明:在涂覆速度为0.20 m/s条件下,浆料黏度范围为969~1... 采用涂覆工艺制备聚四氟乙烯/二氧化钛(PTFE/TiO_(2))复合薄膜,针对TiO_(2)粉体密度大容易沉降问题,探究浆料总量、浆料黏度、涂覆速率的压力差等因素对成膜厚度均匀性的影响。结果表明:在涂覆速度为0.20 m/s条件下,浆料黏度范围为969~1139 mPa·s(测试转速20 r/min)时,制备了目标厚度(55±10)μm的PTFE/TiO_(2)复合薄膜。通过扫描电镜观察,PTFE/TiO_(2)复合薄膜的表面均匀平整,TiO_(2)分散性良好,成膜质量良好。复合薄膜的相对介电常数、薄膜拉伸强度、断裂伸长率的离散系数均≤5%,证明制备的薄膜的介电性能和力学性能一致性良好。 展开更多
关键词 涂覆工艺 聚四氟乙烯 黏度 厚度均匀性 相对介电常数 力学性能
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挤出吹塑塑料油箱壁厚均匀性的研究与应用 被引量:6
20
作者 黄虹 王海民 +1 位作者 邱方军 李能文 《塑料科技》 CAS 北大核心 2010年第2期62-65,共4页
针对挤出吹塑高密度聚乙烯塑料油箱壁厚均匀性问题展开了研究,发现由于塑料油箱形状较复杂,均匀的型坯在吹塑过程中,各部位的变形不均匀,导致制件壁厚不均匀。根据制件各部位变形情况,设计异形型坯和口模,改善了挤出吹塑形状复杂的塑料... 针对挤出吹塑高密度聚乙烯塑料油箱壁厚均匀性问题展开了研究,发现由于塑料油箱形状较复杂,均匀的型坯在吹塑过程中,各部位的变形不均匀,导致制件壁厚不均匀。根据制件各部位变形情况,设计异形型坯和口模,改善了挤出吹塑形状复杂的塑料油箱制件的壁厚均匀性。 展开更多
关键词 高密度聚乙烯 挤出吹塑 塑料油箱 壁厚均匀性 异形口模
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