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SiAlN_x薄膜的应力释放模式及力学性能研究
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作者 周红 余森江 +1 位作者 陈君 陈苗根 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第5期483-489,共7页
利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲... 利用低辐射镀膜玻璃专用的镀膜生产线,在6 mm白玻衬底上制备出SiAlNx薄膜,研究了薄膜在退火之后的内应力释放模式及其力学性能。结果表明:退火后的SiAlNx薄膜存在较大的残余压应力,伴随着压应力的释放,薄膜中出现电话线形屈曲结构;屈曲结构从薄膜边缘产生,并逐渐往样品中心区域扩展;在电话线屈曲的传播过程中,屈曲的各结构参量(包括波长、振幅、宽度等)均发生了明显演化。基于连续弹性理论,对电话线屈曲的结构特征和生长演化进行了分析,并估算了薄膜的内应力和膜基结合能。 展开更多
关键词 SiAlNx薄膜 低辐射镀膜玻璃 电话线屈曲 力学性能 内应力
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楔形铁薄膜的制备及内应力释放模式研究
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作者 周红 余森江 +1 位作者 张永炬 蔡萍根 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2012年第S2期377-380,共4页
利用硅油的流动特性在玻璃基底表面成功制备出膜厚呈连续变化的楔形铁薄膜系统,研究薄膜的内应力释放模式。实验表明:在薄膜的沉积过程中,硅油对铁原子及原子团簇的快速淬火作用使得薄膜中包含了丰富的空洞和缺陷,并产生较大的残余压应... 利用硅油的流动特性在玻璃基底表面成功制备出膜厚呈连续变化的楔形铁薄膜系统,研究薄膜的内应力释放模式。实验表明:在薄膜的沉积过程中,硅油对铁原子及原子团簇的快速淬火作用使得薄膜中包含了丰富的空洞和缺陷,并产生较大的残余压应力;沉积完成之后,残余压应力的释放促使薄膜与基底脱离而形成电话线结构的褶皱形貌。褶皱的波长λ和振幅A均随着薄膜厚度的增加而增加。原子力显微镜的剖面图显示,褶皱的宽度l和最大隆起高度δ分别在10和1μm的数量级。基于薄板弯曲理论,对电话线褶皱的规则外形、网络模式和分叉形貌等进行了理论分析。 展开更多
关键词 楔形薄膜 电话线褶皱 应力释放 力学性能
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