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微机电器件的稳健设计 被引量:8
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作者 杨涛 何叶 +1 位作者 魏东梅 李磊民 《工程设计学报》 CSCD 2004年第3期124-127,共4页
微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性.稳健设计可以在不提高制造成本的前... 微机电系统(MEMS)是一个新兴的跨学科研究领域,成本和可靠性是MEMS商品化的关键.与传统的机械加工和IC加工相比,MEMS加工的尺寸偏差比较大,而且很难控制,因此需要在设计过程中充分考虑加工的不确定性.稳健设计可以在不提高制造成本的前提下提高设计方案的稳健性.稳健优化设计方法主要包括Taguchi方法和基于容差模型的方法,后者特别适合于处理带约束的优化设计问题.以微加速度计和微阀为例给出了稳健设计在MEMS设计中的应用,验证了稳健设计可以显著提高MEMS器件的信噪比. 展开更多
关键词 微机电系统 微加工 稳健设计 taguchi设计 优化
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田口实验设计法优选黄芪多糖的提取工艺 被引量:9
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作者 赵强强 韩丽 +3 位作者 熊永爱 王淼 杨明 谢兴亮 《中国实验方剂学杂志》 CAS 北大核心 2010年第12期1-3,6,共4页
目的:采用田口实验设计法研究黄芪多糖的最佳提取工艺。方法:以黄芪多糖提取量的信噪比(S/N)作为指标,采用L9(33)正交表安排试验,考察加水量、提取时间、提取次数对黄芪多糖提取工艺的影响。结果:最佳提取条件为加6倍量水,提取时间为1.5... 目的:采用田口实验设计法研究黄芪多糖的最佳提取工艺。方法:以黄芪多糖提取量的信噪比(S/N)作为指标,采用L9(33)正交表安排试验,考察加水量、提取时间、提取次数对黄芪多糖提取工艺的影响。结果:最佳提取条件为加6倍量水,提取时间为1.5 h,提取3次。结论:优选得到的工艺稳定可行。 展开更多
关键词 田口实验设计 黄芪 黄芪多糖 提取工艺
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基于稳健设计的注塑成型工艺参数多目标优化 被引量:8
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作者 娄天祥 何修旭 董娇 《塑料科技》 CAS 北大核心 2017年第8期63-66,共4页
以某医用仪器盒下盖的翘曲变形和体积收缩为研究对象,结合稳健设计、均值分析,分别获得翘曲变形及体积收缩最小的最优工艺参数组合及影响趋势,运用综合加权评分法确定兼顾两目标最优的工艺参数组合为:熔体温度260℃,模具温度90℃,注射时... 以某医用仪器盒下盖的翘曲变形和体积收缩为研究对象,结合稳健设计、均值分析,分别获得翘曲变形及体积收缩最小的最优工艺参数组合及影响趋势,运用综合加权评分法确定兼顾两目标最优的工艺参数组合为:熔体温度260℃,模具温度90℃,注射时间1 s,保压时间15 s,保压压力为注射压力的98%。结果使得优化后的翘曲变形减小了28.4%,体积收缩率降低了27.9%,对实际生产起到指导作用。 展开更多
关键词 稳健设计 翘曲变形 多目标优化 综合加权评分法
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基于田口方法的双金属带锯条锯切参数优化 被引量:7
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作者 贾寓真 吴懿萍 +1 位作者 刘刚 刘国跃 《现代制造工程》 CSCD 北大核心 2019年第8期78-81,55,共5页
利用田口方法研究双金属带锯条锯切轴承钢棒料时的线速度、进给速度和进给压力3个锯切参数对带锯条锯切面积和锯切第一刀时锯切效率的影响,其中正交表选取L9(34)进行试验。研究结果表明:线速度对带锯条锯切面积的影响最显著,进给速度对... 利用田口方法研究双金属带锯条锯切轴承钢棒料时的线速度、进给速度和进给压力3个锯切参数对带锯条锯切面积和锯切第一刀时锯切效率的影响,其中正交表选取L9(34)进行试验。研究结果表明:线速度对带锯条锯切面积的影响最显著,进给速度对第一刀锯切效率的影响最显著;锯切面积和锯切效率没有显著的相关性,但锯切面积与带锯条第一刀的崩齿率呈现较显著的反函数关系,因此控制第一刀的崩齿率能有效提高带锯条锯切面积。田口方法研究的锯切工况下最佳锯切参数:线速度为40 m/min;进给速度为3挡;进给压力为5挡。 展开更多
关键词 双金属带锯条 锯切参数 田口方法 崩齿
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Optimization of process parameters of the activated tungsten inert gas welding for aspect ratio of UNS S32205 duplex stainless steel welds 被引量:5
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作者 G.MAGUDEESWARAN Sreehari R.NAIR +1 位作者 L.SUNDAR N.HARIKANNAN 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS 2014年第3期251-260,共10页
The activated TIG(ATIG) welding process mainly focuses on increasing the depth of penetration and the reduction in the width of weld bead has not been paid much attention.The shape of a weld in terms of its width-to-d... The activated TIG(ATIG) welding process mainly focuses on increasing the depth of penetration and the reduction in the width of weld bead has not been paid much attention.The shape of a weld in terms of its width-to-depth ratio known as aspect ratio has a marked influence on its solidification cracking tendency.The major influencing ATIG welding parameters,such as electrode gap,travel speed,current and voltage,that aid in controlling the aspect ratio of DSS joints,must be optimized to obtain desirable aspect ratio for DSS joints.Hence in this study,the above parameters of ATIG welding for aspect ratio of ASTM/UNS S32205 DSS welds are optimized by using Taguchi orthogonal array(OA)experimental design and other statistical tools such as Analysis of Variance(ANOVA) and Pooled ANOVA techniques.The optimum process parameters are found to be 1 mm electrode gap,130 mm/min travel speed,140 A current and 12 V voltage.The aspect ratio and the ferrite content for the DSS joints fabricated using the optimized ATIG parameters are found to be well within the acceptable range and there is no macroscopically evident solidification cracking. 展开更多
关键词 DUPLEX STAINLESS steel ATIG WELDING ASPECT ratio taguchi design FERRITE number Solidification cracking
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复方肝宁颗粒的制备及其对CCl_4诱导小鼠急性肝损伤的保护作用 被引量:5
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作者 刘钰华 叶少武 +5 位作者 陈伟坚 熊万娜 罗善友 黎柱德 梁健钦 陆声宇 《中国实验方剂学杂志》 CAS CSCD 北大核心 2016年第14期18-22,共5页
目的:将复方肝宁经验方改制成复方肝宁颗粒,优化其提取工艺并评价该制剂对四氯化碳(CCl_4)诱导的小鼠急性肝损伤的保护作用。方法:通过Taguchi设计优化处方中五味子的乙醇提取工艺,正交试验优化其余药材的水提工艺,采用湿法制粒工艺得... 目的:将复方肝宁经验方改制成复方肝宁颗粒,优化其提取工艺并评价该制剂对四氯化碳(CCl_4)诱导的小鼠急性肝损伤的保护作用。方法:通过Taguchi设计优化处方中五味子的乙醇提取工艺,正交试验优化其余药材的水提工艺,采用湿法制粒工艺得到复方肝宁颗粒;将60只昆明种小鼠,随机分成6组(正常组,CCl_4模型组,联苯双酯阳性组和复方肝宁颗粒高、中、低剂量组),用0.1%CCl_4复制小鼠急性肝损伤模型,测定小鼠血清中丙氨酸氨基转移酶(ALT)和天冬氨酸氨基转移酶(AST)活性,肝组织中超氧化物歧化酶(SOD)和丙二醛(MDA)的含量。结果:最佳醇提工艺为加12.5倍量75%乙醇回流提取2次,每次0.5 h;最佳水提工艺为加12倍量水提取3次,每次1.5 h;五味子醇甲及丹参素钠转移率均>95%。与正常组比较,模型组小鼠血清中AST和ALT的活性明显升高,肝组织中SOD活性降低,MDA含量升高;与模型组比较,复方肝宁颗粒高、中、低剂量组均能显著降低CCl_4急性肝损伤小鼠血清中AST和ALT的活性,降低肝匀浆中MDA的含量,增强SOD的活性。结论:优选的提取工艺稳定可行。复方肝宁颗粒通过下调ALT,AST和MDA水平,上调SOD水平,对CCl_4造成的小鼠急性肝损伤具有显著的保护作用。 展开更多
关键词 五味子 taguchi设计 复方肝宁颗粒 保肝作用 五味子醇甲 丹参素钠
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基于响应曲面法的双色手机外壳工艺优化 被引量:2
7
作者 罗华云 冯永平 邹金红 《塑料》 CAS CSCD 北大核心 2022年第4期6-11,共6页
根据双色注射成型特点,以某款双色手机外壳为例,以第一射平均体积收缩率、第二射平均体积收缩率及总翘曲变形量为评价质量的指标,结合Taguchi实验设计和CAE模拟分析获取样本数据,并引入熵值权重法确定各评价质量指标的权重,并且结合TOP... 根据双色注射成型特点,以某款双色手机外壳为例,以第一射平均体积收缩率、第二射平均体积收缩率及总翘曲变形量为评价质量的指标,结合Taguchi实验设计和CAE模拟分析获取样本数据,并引入熵值权重法确定各评价质量指标的权重,并且结合TOPSIS法得到综合评价指标,利用极差分析与方差分析方法得到显著性影响因素为第一射熔体温度、第二射熔体温度、第一射保压压力和第二射保压压力,采用中心复合设计(CCD)对显著性影响的4个因素进行了实验规划,建立了显著性影响因素与综合评价指标的二阶响应曲面模型,根据响应曲面二阶回归方程得到综合评价指标的最佳工艺参数组合进行试生产,得到了高质量的双色手机外壳。 展开更多
关键词 双色手机外壳 taguchi设计 熵值权重法 TOPSIS法 响应曲面法
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基于Minitab应用的蛋糕配方筛选 被引量:3
8
作者 李贞 《粮食与食品工业》 2015年第4期63-66,共4页
探索运用Minitab软件进行蛋糕配方的筛选。利用Minitab软件的田口设计模块以及方差分析模块,结合蛋糕加工工艺以及感官评价,进行正交试验设计、结果分析以及配方筛选。结果表明:Minitab软件能够直观、快速、准确地进行正交设计与数据分... 探索运用Minitab软件进行蛋糕配方的筛选。利用Minitab软件的田口设计模块以及方差分析模块,结合蛋糕加工工艺以及感官评价,进行正交试验设计、结果分析以及配方筛选。结果表明:Minitab软件能够直观、快速、准确地进行正交设计与数据分析;筛选的蛋糕最佳配方为:低筋小麦粉100%、水60%、黄油45%、鸡蛋200%、蔗糖30%、乳化剂1.5%、泡打粉3%、食盐1%、奶粉3.5%、香草精几滴。 展开更多
关键词 蛋糕 配方 田口设计 方差分析
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外啮合齿轮泵壳体几何参数对其流量的影响研究 被引量:3
9
作者 李金鑫 张年松 何勇 《机床与液压》 北大核心 2014年第9期105-108,共4页
齿轮泵的流量是其在设计、制造过程中的一项重要性能指标。结合稳健参数设计试验分析了泵体各几何参数对齿轮泵流量的影响,通过软件建模计算出齿轮泵的理论排量,然后基于大量试验计算推导出泄漏流量计算公式的修正系数。在试验的基础上... 齿轮泵的流量是其在设计、制造过程中的一项重要性能指标。结合稳健参数设计试验分析了泵体各几何参数对齿轮泵流量的影响,通过软件建模计算出齿轮泵的理论排量,然后基于大量试验计算推导出泄漏流量计算公式的修正系数。在试验的基础上,给出了一种研究和分析齿轮泵流量影响因素的方法。 展开更多
关键词 齿轮泵 流量 稳健参数设计 泄漏量修正系数
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基于Taguchi试验设计稻草发酵产纤维素酶的优化 被引量:1
10
作者 辛婷 谢逸萍 +2 位作者 张兴 马代夫 王慧 《酿酒科技》 2009年第5期130-132,135,共4页
采用Taguchi设计法综合考察接种量、硫酸铵、磷酸二氢钾、七水硫酸镁等因素对实验室筛选出的1株木霉菌种进行产纤维素酶的影响。结果表明,接种量对产酶的影响最大,其次是硫酸铵、七水硫酸镁,而磷酸二氢钾对产酶酶活的影响最小;Taguchi... 采用Taguchi设计法综合考察接种量、硫酸铵、磷酸二氢钾、七水硫酸镁等因素对实验室筛选出的1株木霉菌种进行产纤维素酶的影响。结果表明,接种量对产酶的影响最大,其次是硫酸铵、七水硫酸镁,而磷酸二氢钾对产酶酶活的影响最小;Taguchi设计优化后得到产纤维素酶的最优条件为:接种量为8%,硫酸铵、磷酸二氢钾、七水硫酸镁添加量分别为0.6%、0.25%和0.03%。在最优条件下预期纤维素酶活能达到6.276μmol/g·min,而验证性试验证明在优化条件下,纤维素酶活达到了5.222μmol/g·min,比优化前的纤维素酶活平均值3.128μmol/g·min增加了2.094μmol/g·min,表明Taguchi方法对于产纤维素酶优化具有较好的应用价值。 展开更多
关键词 燃料乙醇 taguchi试验设计 纤维素酶 优化 方法
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实验设计在优化水稻愈伤培养基中的应用 被引量:2
11
作者 陈雪能 黄群策 +2 位作者 张树寅 赵帅鹏 周莎莎 《种子》 CSCD 北大核心 2011年第8期26-28,33,共4页
以同源四倍体双胚苗水稻DER 10-04-01成熟种子为试验材料进行无性系诱导,统计愈伤组织的诱导率、平均愈伤指数和愈伤组织的生长率。运用田口设计方法分析培养基中2,4-D,NAA和NOA不同的浓度配比对愈伤组织诱导率、生长率和平均愈伤指数... 以同源四倍体双胚苗水稻DER 10-04-01成熟种子为试验材料进行无性系诱导,统计愈伤组织的诱导率、平均愈伤指数和愈伤组织的生长率。运用田口设计方法分析培养基中2,4-D,NAA和NOA不同的浓度配比对愈伤组织诱导率、生长率和平均愈伤指数的影响,由此获得最适于试验材料愈伤组织诱导和培养的优化组合。试验结果表明,2,4-D,NAA和NOA均对愈伤组织的诱导率、平均愈伤指数和生长率有一定的影响,其最优培养组合(MS+2,4-D 2 mg/L+NAA2 mg/L+NOA 3 mg/L)在无性系诱导和培养中有一定的参考价值。 展开更多
关键词 田口设计 生长率 愈伤组织 培养基优化
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儿童碳酸钙维生素D_3咀嚼片的研制 被引量:2
12
作者 吴学萍 何淑旺 +4 位作者 刘长涛 王凤英 王英新 李树英 王文笙 《海峡药学》 2017年第1期9-13,共5页
目的研制一种适合于儿童服用的碳酸钙维生素D_3咀嚼片。方法采用DOE及单因素设计,对各辅料用量进行了筛选,确定了最佳处方;对总混工艺进行了筛选,确定了最佳工艺。结果最佳处方为麦芽糊精5.33%、山梨醇13.33%、日落黄0.04%、甘露醇30.1... 目的研制一种适合于儿童服用的碳酸钙维生素D_3咀嚼片。方法采用DOE及单因素设计,对各辅料用量进行了筛选,确定了最佳处方;对总混工艺进行了筛选,确定了最佳工艺。结果最佳处方为麦芽糊精5.33%、山梨醇13.33%、日落黄0.04%、甘露醇30.17%,硬脂酸镁1.0%、橙味香精0.1%;最佳工艺是采用碳酸钙湿法制粒,外加维生素D_3,用提升式混合机进行混合。结论产品口味香甜,硬度适宜,维生素D_3含量均匀,质量稳定,易于产业化,适合用作儿童补钙产品。 展开更多
关键词 碳酸钙 维生素D3 咀嚼片 田口设计
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田口设计优化耶氏酵母生产γ-癸内酯 被引量:2
13
作者 赵玉萍 徐岩 朱春 《食品工业科技》 CAS CSCD 北大核心 2012年第22期326-330,共5页
通过田口设计对产γ-癸内酯的培养基成分进行优化。根据单因素实验结果,利用Minitab软件设计正交实验,采用田口设计方法分析正交实验中各因素水平的均值情况和信噪比情况。实验结果表明,复合氮源即酵母膏和(NH4)2HPO4对γ-癸内酯产量影... 通过田口设计对产γ-癸内酯的培养基成分进行优化。根据单因素实验结果,利用Minitab软件设计正交实验,采用田口设计方法分析正交实验中各因素水平的均值情况和信噪比情况。实验结果表明,复合氮源即酵母膏和(NH4)2HPO4对γ-癸内酯产量影响极显著,MgSO.47H2O对γ-癸内酯产量影响显著。软件预测培养基的最优组合为麸皮20g/L、酵母膏7.5g/L、(NH4)2HPO416.5g/L、KH2PO46g/L、MgSO4.7H2O0.5g/L,预测产量为2.49g/L,信噪比为9.04dB,经验证γ-癸内酯产量为2.65g/L,信噪比为9.68dB,优化方案达到了预期效果,具有较好的稳定性。 展开更多
关键词 Γ-癸内酯 耶氏酵母 田口设计 优化
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基于MPI的典型零件注塑模具结构优化 被引量:2
14
作者 杨虹 周凤佳 于沪平 《机械设计与制造》 北大核心 2008年第10期57-58,共2页
针对某U型薄壁注塑件实际生产中出现的翘曲现象,结合MPI软件分析了产生翘曲的原因;在分析的基础上,改进后的模具生产出的注塑件质量有了很大的改进。并且经过实际与模拟的验证,进一步采用优化实验设计,以减小注塑件翘曲为目标值,对注塑... 针对某U型薄壁注塑件实际生产中出现的翘曲现象,结合MPI软件分析了产生翘曲的原因;在分析的基础上,改进后的模具生产出的注塑件质量有了很大的改进。并且经过实际与模拟的验证,进一步采用优化实验设计,以减小注塑件翘曲为目标值,对注塑模的冷却系统和浇注系统进行了分析和优化。优化之后的模具结构,最大程度上减小了两侧壁之间产生的翘曲不平现象,改善了注塑制品的质量,提高了其功能性和使用性。 展开更多
关键词 翘曲 注塑 优化 MPI
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正交实验法研究溶胶-凝胶法制备氧化钨薄膜的电致变色性质 被引量:2
15
作者 曹静 孙冬兰 +4 位作者 刘靖 张洪峰 田雨可 安佳钰 刘玉春 《功能材料》 CAS CSCD 北大核心 2021年第11期11137-11143,共7页
研究采用经济高效的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备三氧化钨(WO_(3))电致变色材料,设计正交实验,探究不同H_(2)O_(2)用量、反应温度及热处理温度对制备WO_(3)电致变色薄膜的影响因素大小。结果得出对WO_(3)薄膜性能影响大的因素是热处理温度... 研究采用经济高效的溶胶-凝胶(Sol-gel)法制备三氧化钨(WO_(3))电致变色材料,设计正交实验,探究不同H_(2)O_(2)用量、反应温度及热处理温度对制备WO_(3)电致变色薄膜的影响因素大小。结果得出对WO_(3)薄膜性能影响大的因素是热处理温度及过氧化氢用量。继续探究在不同热处理温度下氧化钨电致变色薄膜循环耐久性。采用紫外-可见分光光度计、电化学工作站联用测试WO_(3)薄膜的电致变色性能。结果表明所制备的薄膜变色范围最高可达到60%以上,并且在200℃热处理的薄膜在循环1000圈后,变色范围还能达到45%以上。研究对于采用溶胶-凝胶法制备电致变色性能优异的WO_(3)薄膜有参考意义。 展开更多
关键词 氧化钨 正交实验法 溶胶-凝胶法 电致变色 循环耐久性
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Study the effect of formulation variables in the development of timed-release press-coated tablets by Taguchi design
16
作者 Chikkanna Narendra Mayasandra SrinavasaIyengar Srinath 《Natural Science》 2010年第4期379-387,共9页
In this investigation, the effect of formulation variables on the release properties of timed- release press-coated tablets was studied using the Taguchi method of experimental design. Formulations were prepared based... In this investigation, the effect of formulation variables on the release properties of timed- release press-coated tablets was studied using the Taguchi method of experimental design. Formulations were prepared based on Taguchi orthogonal array design with different types of hydrophilic polymers (X1), varying hydrophilic polymer/ethyl cellulose ratio (X2), and addition of magnesium stearate (X3) as independent variables. The design was quantitatively evalu-ated by best fit mathematical model. The results from the statistical analysis revealed that factor X1, X3 and interaction factors between X1X2 and X1X3 were found to be significant on the re-sponse lag time (Y1), where as only factor X1 was found to be significant on the response percent drug release at 8 hrs (Y2). A numerical optimization technique by desirability function was used to optimize the response variables, each having a different target. Based on the re-sults of optimization study, HPC was identified as the most suitable hydrophilic polymer and incorporation of hydrophobic agent magnesium stearate, could significantly improve the lag time of the timed-release press-coated tablet. 展开更多
关键词 Press-Coated TABLET taguchi design HYDROPHILIC Polymers Timed-Release Hydrophobic Agents
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LLC谐振变换器的稳健性设计 被引量:1
17
作者 唐娟 饶沛南 +1 位作者 谢伟 陈思 《控制与信息技术》 2019年第2期64-71,86,共9页
设置合理的死区时间是保证LLC谐振变换器实现零电压开通(ZVS)的重要环节。实际工程应用中,由于加工工艺分散性等原因,谐振槽元器件参数值会存在一定的波动,导致同一批次产品的理论死区时间范围不尽相同且难以确定,从而无法保证批量产品... 设置合理的死区时间是保证LLC谐振变换器实现零电压开通(ZVS)的重要环节。实际工程应用中,由于加工工艺分散性等原因,谐振槽元器件参数值会存在一定的波动,导致同一批次产品的理论死区时间范围不尽相同且难以确定,从而无法保证批量产品实现软开关性能的一致性。文章首先对ZVS型LLC谐振变换器的死区时间设置范围进行理论推导和分析;然后采用以正交设计、信噪比分析方法为基础的田口设计方法对LLC谐振参数的中心值和容差进行了基于死区时间上下限范围的稳健性优化设计;最后,通过蒙特卡洛方法产生大量虚拟样本对设计结果进行了仿真验证。结果表明,优化后的谐振参数设计方案大大降低了结电容放电时间和谐振电流反向时间的波动分散性,加大了死区时间选择的窗口裕度,提高了该型LLC谐振变换器在全负载范围内实现软开关性能的一致性能力。 展开更多
关键词 稳健性设计 LLC谐振变换器 田口设计 死区时间
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基于Taguchi设计优化纤维-纸蜂窝复合板成型工艺
18
作者 杨小俊 兰青山 《包装工程》 CAS CSCD 北大核心 2011年第13期17-20,共4页
抗压强度是自然纤维-纸蜂窝夹芯结构复合板的关键性能指标。为提高复合板的强度,提出了采用Taguchi设计方法与试验相结合,制备自然纤维-纸蜂窝夹芯结构复合板。介绍了复合板成型工艺的全过程,并对结果进行了分析研究,得出了最佳的工艺因... 抗压强度是自然纤维-纸蜂窝夹芯结构复合板的关键性能指标。为提高复合板的强度,提出了采用Taguchi设计方法与试验相结合,制备自然纤维-纸蜂窝夹芯结构复合板。介绍了复合板成型工艺的全过程,并对结果进行了分析研究,得出了最佳的工艺因素,减少了实验时间和各种资源的浪费,提高了生产率。 展开更多
关键词 纸蜂窝夹芯复合板 taguchi设计 工艺
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复合电沉积的Taguchi设计
19
作者 张景尧 刘松琴 郑秋容 《无锡轻工大学学报(食品与生物技术)》 CSCD 1998年第2期64-66,共3页
将Taguchi试验方法用于Ni-Mo复合电沉积过程,从而筛选出最佳工艺条件,在此最佳工艺条件下所得镀层的析氢过电位η100仅为167.3mV.
关键词 taguchi 复合镀 复合电沉积 电极
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PECVD 制程中N+ A-SI Layer沉积最佳工艺参数的探究 被引量:1
20
作者 李明阳 段大伟 +5 位作者 步超远 赵晓翔 王玉亮 聂坤坤 陈士娟 李道杰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第10期927-931,共5页
本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+A-SI:H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折射率,透过率,及SI-H/N-H键含量,综合评价不同参数配比条件下N+A-SI:H单层膜的膜质表现,针对比较重要的参数... 本文采取4因子4水平田口设计,用等离子体增强化学气相沉积法制备了沉积在白玻璃上的单层N+A-SI:H薄膜,测试了薄膜的应力,膜厚,折射率,透过率,及SI-H/N-H键含量,综合评价不同参数配比条件下N+A-SI:H单层膜的膜质表现,针对比较重要的参数:沉积速率,Thickness Uniformity,SI-H键含量进行了田口分析,两阶段策略优化选出PECVD制程中的N+A-SI layer的最佳参数配比为:Pressure-385.7 Pa,Spacing-20.32 mm,RF Power-13000W,Gas Ratio-3.12。 展开更多
关键词 N+A-SI:H 沉积参数 田口设计
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