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纳米晶体钛基掺钽TiO_2薄膜的摩擦磨损性能 被引量:1
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作者 于春杭 邵红红 +1 位作者 许晓静 翟瑞 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第4期433-438,共6页
采用室温直流反应磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备掺钽TiO_2薄膜,研究了掺Ta量对纳米晶体钛基TiO_2薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明:在室温模拟人体体液条件下,掺钽TiO_2薄膜与不锈钢淬火钢球(Φ4mm)对摩的磨损率为10^(-6)-10^(-5)m... 采用室温直流反应磁控溅射技术在纳米晶体钛表面制备掺钽TiO_2薄膜,研究了掺Ta量对纳米晶体钛基TiO_2薄膜摩擦磨损性能的影响。结果表明:在室温模拟人体体液条件下,掺钽TiO_2薄膜与不锈钢淬火钢球(Φ4mm)对摩的磨损率为10^(-6)-10^(-5)mm^3·m^(-1) N^(-1)级;随着Ta含量的增加,薄膜的摩擦系数和磨损率呈先减小后增加的趋势,掺Ta量(质量分数)为22%Ta的TiO_2薄膜具有最低的摩擦系数(0.20)和磨损率(1.5×10^(-6)mm^3·m^(-1)·N^(-1)。具有良好的抗磨性能与其硬度与弹性模量比高、抗腐蚀性强和摩擦系数低一致。 展开更多
关键词 材料表面与界面 掺钽tio_2薄膜 磁控溅射 纳米晶体钛 摩擦磨损
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