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低应变SiGe/Si异质结构的应变弛豫与界面扩散
1
作者
马通达
屠海令
+2 位作者
王敬
陈长春
黄文韬
《矿业研究与开发》
CAS
2003年第S1期194-195,共2页
利用透射电子显微镜(TEM)和同步辐射X射线白光形貌术研究了低应变SiGe/Si异质结构应变弛豫和界面扩散。观察到SiGe外延层未发生应变弛豫,Si缓冲区和Si衬底中有颗粒状析出物。
关键词
透射电子显微镜
同步辐射
x
射线白光形貌术
应变弛豫和界面扩散
下载PDF
职称材料
DKDP晶体的柱面形貌与缺陷分析
2
作者
郝秀红
常新安
+2 位作者
臧和贵
陈学安
田玉莲
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期894-897,共4页
采用原子力显微镜观测全方位生长的DKDP晶体的{100}面形貌,发现有螺旋位错,由此推断DKDP晶体{100}面以螺旋位错机制生长;利用同步辐射X射线白光形貌术观测了DKDP晶体缺陷,探讨了不同生长条件及生长阶段对晶体完整性的影响。
关键词
DKDP晶体
螺旋位错
同步辐射白光形貌术
下载PDF
职称材料
题名
低应变SiGe/Si异质结构的应变弛豫与界面扩散
1
作者
马通达
屠海令
王敬
陈长春
黄文韬
机构
北京有色金属研究总院
清华大学微电子所
出处
《矿业研究与开发》
CAS
2003年第S1期194-195,共2页
文摘
利用透射电子显微镜(TEM)和同步辐射X射线白光形貌术研究了低应变SiGe/Si异质结构应变弛豫和界面扩散。观察到SiGe外延层未发生应变弛豫,Si缓冲区和Si衬底中有颗粒状析出物。
关键词
透射电子显微镜
同步辐射
x
射线白光形貌术
应变弛豫和界面扩散
Keywords
Transmission
electron
microscopy
synchrotron radiation
x
-
ray
white
-
beam
topography
Strain
rela
x
ation
and
diffusion
in
the
interface
分类号
O73 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
DKDP晶体的柱面形貌与缺陷分析
2
作者
郝秀红
常新安
臧和贵
陈学安
田玉莲
机构
北京工业大学材料科学与工程学院
中国科学院高能物理研究所
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期894-897,共4页
基金
北京市自然科学基金(No.2032005)
北京市委组织部优秀人才专项培养基金资助
文摘
采用原子力显微镜观测全方位生长的DKDP晶体的{100}面形貌,发现有螺旋位错,由此推断DKDP晶体{100}面以螺旋位错机制生长;利用同步辐射X射线白光形貌术观测了DKDP晶体缺陷,探讨了不同生长条件及生长阶段对晶体完整性的影响。
关键词
DKDP晶体
螺旋位错
同步辐射白光形貌术
Keywords
DKDP
crystal
screw
dislocation
synchrotron radiation
x
-
ray
white
-
beam
topography
分类号
O774 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
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1
低应变SiGe/Si异质结构的应变弛豫与界面扩散
马通达
屠海令
王敬
陈长春
黄文韬
《矿业研究与开发》
CAS
2003
0
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职称材料
2
DKDP晶体的柱面形貌与缺陷分析
郝秀红
常新安
臧和贵
陈学安
田玉莲
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
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