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子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究
被引量：
25
1
作者
王孝坤
郑立功
张学军
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期2022-2026,共5页
在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸...
在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。
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关键词
测量
子孔径拼接干涉(
ssi
)
凸非球面
零位补偿测试
原文传递
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
被引量：
13
2
作者
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第1期130-136,共7页
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三...
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障。结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ=632.8 nm)。
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关键词
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
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职称材料
子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿
被引量：
11
3
作者
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
2013年第1期88-95,共8页
针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差,提出了一种基于模式搜索迭代算法的调整误差补偿方法。该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调整误差,实现多个子...
针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差,提出了一种基于模式搜索迭代算法的调整误差补偿方法。该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调整误差,实现多个子孔径的精确拼接。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了子孔径拼接测量的调整误差补偿模型。对口径为230 mm×141 mm的离轴碳化硅非球面反射镜进行了调整误差补偿和相位数据拼接,得到了精确的全口径面形分布。作为验证,对待测非球面进行了零位补偿检测,结果显示两种测试方法的面形PV值和RMS值的相对偏差仅为0.57%和2.74%。
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关键词
子孔径拼接干涉术
非球面
调整误差
模式搜索算法
非共路误差
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职称材料
子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究
被引量：
11
4
作者
王孝坤
郑立功
+1 位作者
张学军
张忠玉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期92-97,共6页
将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化...
将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面的算法软件,并设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置;利用综合优化的拼接模型对一口径为376×188 mm2的离轴非球面进行了拼接干涉测量,通过子孔径拼接算法得到了精确的全口径面形分布;且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV值和RMS值的偏差仅为0.047λ和0.006λ.从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试大口径非球面以及离轴非球面的手段.
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关键词
光学测试
子孔径拼接干涉
离轴非球面
最小二乘拟合
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职称材料
大口径离轴凸非球面的加工和检测（英文）
被引量：
4
5
作者
郑立功
王孝坤
+4 位作者
薛栋林
李锐钢
张峰
张忠玉
张学军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1-6,共6页
将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大...
将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工,并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例,对一口径为292mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8nm).
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关键词
光学加工
光学检测
凸非球面
计算机控制光学表面成形
磁流变抛光
子孔径拼接
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职称材料
题名
子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究
被引量：
25
1
作者
王孝坤
郑立功
张学军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第7期2022-2026,共5页
基金
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助课题
文摘
在总结各种检测凸非球面方法优缺点的基础上,提出了利用子孔径拼接干涉检测凸非球面的新方法。利用标准球面波前作为参考波面,用干涉法逐次测量非球面各区域的相位分布,去除参考波面偏差以及调整误差后,通过子孔径拼接算法就可以重构凸非球面全口径的面形分布。研究和分析了该方法的基本原理和基础理论,开发了综合优化和误差均化的子孔径拼接算法。设计和研制了子孔径拼接干涉检测装置,并结合实例对口径为140 mm的碳化硅凸非球面进行了子孔径拼接测量,得到了精确的全口径面形分布,其面形分布的峰值(PV)和均方根(RMS)值偏差分别为0.274λ和0.024λ(λ=632.8 nm),且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV和RMS值的偏差仅为0.064λ和0.002λ,从而提供了又一种定量测试凸非球面的手段。
关键词
测量
子孔径拼接干涉(
ssi
)
凸非球面
零位补偿测试
Keywords
measurement
subaperture
stitching
interferometry
（
ssi
）
convex
asphere
null
compensation
testing
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [化学工程—硅酸盐工业]
原文传递
题名
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
被引量：
13
2
作者
王孝坤
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016年第1期130-136,共7页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(No.O8663NJ090)
国家重大基础研究计划(973计划)资助项目(No.2011CB0132005)
国家自然科学基金重点资助项目(No.61036015)~~
文摘
针对大口径离轴凸非球面面形检测的困难,本文将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接干涉技术相结合,提出了凸非球面系统拼接检测方法。对该方法的基本原理和具体实现过程进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型。当离轴三反光学系统的主镜和三镜加工完成以后,对整个系统进行装调和测试,并依次测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值可以求解得到大口径非球面全口径的面形信息,从而为非球面后续加工和系统的装调提供了依据和保障。结合工程实例,对一口径为287 mm×115 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,经过两个周期的加工和测试,其面形分布的RMS值接近1/30λ(λ=632.8 nm)。
关键词
光学检测
大口径非球面
三镜消像散系统
波像差检验
子孔径拼接干涉技术
Keywords
optical
testing
large
aspheric
surface
three
mirror
astigmatism
（
TMA
）
wave
aberration
testing
subaperture
stitching
interferometry
（
ssi
）
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿
被引量：
11
3
作者
王孝坤
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学系统先进制造技术中国科学院重点实验室
出处
《中国光学》
EI
CAS
2013年第1期88-95,共8页
基金
国家863高技术研究发展计划资助项目(No.08663NJ090)
国家自然科学基金重点项目(No.61036015)
文摘
针对在子孔径拼接测量非球面的过程中干涉仪与待测非球面相对位置存在的对准误差,提出了一种基于模式搜索迭代算法的调整误差补偿方法。该方法可以很好地从测量的子孔径相位数据中消除由拼接测量位置没有对准带来的调整误差,实现多个子孔径的精确拼接。对该方法的基本原理和实现步骤进行了分析和研究,建立了子孔径拼接测量的调整误差补偿模型。对口径为230 mm×141 mm的离轴碳化硅非球面反射镜进行了调整误差补偿和相位数据拼接,得到了精确的全口径面形分布。作为验证,对待测非球面进行了零位补偿检测,结果显示两种测试方法的面形PV值和RMS值的相对偏差仅为0.57%和2.74%。
关键词
子孔径拼接干涉术
非球面
调整误差
模式搜索算法
非共路误差
Keywords
subaperture
stitching
interferometry
（
ssi
）
aspheric
surface
misalignment
error
mode
search
algorithm
non-common
path
error
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究
被引量：
11
4
作者
王孝坤
郑立功
张学军
张忠玉
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期92-97,共6页
基金
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新三期基金资助
文摘
将子孔径拼接技术与干涉技术相结合提出了一种新的检测离轴非球面的方法,该方法无需其他辅助光学元件就可以实现对大口径、离轴非球面的测量.对其基本原理进行了分析和研究;并基于齐次坐标变换、最小二乘拟合建立了综合优化和误差均化的拼接数学模型;开发了子孔径拼接检测非球面的算法软件,并设计和搭建了子孔径拼接干涉检测装置;利用综合优化的拼接模型对一口径为376×188 mm2的离轴非球面进行了拼接干涉测量,通过子孔径拼接算法得到了精确的全口径面形分布;且对该非球面进行零位补偿测量,其全口径面形与拼接全口径面形是一致的,面形分布的PV值和RMS值的偏差仅为0.047λ和0.006λ.从而提供了除零位补偿检测外另一种定量测试大口径非球面以及离轴非球面的手段.
关键词
光学测试
子孔径拼接干涉
离轴非球面
最小二乘拟合
Keywords
Optical
testing
subaperture
stitching
interferometry
（
ssi
）
Off-axis
asphere
Least-squares
fitting
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
大口径离轴凸非球面的加工和检测（英文）
被引量：
4
5
作者
郑立功
王孝坤
薛栋林
李锐钢
张峰
张忠玉
张学军
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1-6,共6页
基金
The National High-tech Research and Development Program of China(No.O8663NJ090)
the National Program on Key Basic Research Projects of China(No.2011CB0132005)
the National Natural Science Foundation of China(No.61036015)
文摘
将光学系统波像差检验技术与子孔径拼接测试技术相融合提出了凸非球面系统拼接检测方法,对该方法的原理和实现步骤进行了分析和研究,并建立了合理的子孔径拼接数学模型.依次利用计算机控制光学表面成形技术和磁流变抛光技术对一包含大口径凸非球面的离轴三反光学系统的各反射镜进行加工,并对整个系统进行装调和测试.测定光学系统各视场的波像差分布,通过综合优化子孔径拼接算法和全口径面形数据插值求解得到大口径凸非球面全口径的面形信息.结合工程实例,对一口径为292mm×183 mm的离轴非球面次镜进行了系统拼接测试和加工,其最终面形分布的均方根值为0.017λ(λ=632.8nm).
关键词
光学加工
光学检测
凸非球面
计算机控制光学表面成形
磁流变抛光
子孔径拼接
Keywords
Optical
fabrication
Optical
testing
Convex
asphere
Computer
Controlled
Optical
Surfacing（CCOS）
Magneto
Rheological
Finishing
（MRF）
subaperture
stitching
interferometry
（
ssi
）
分类号
TQ171.65 [化学工程—玻璃工业]
O436.1 [化学工程—硅酸盐工业]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
子孔径拼接干涉检测凸非球面的研究
王孝坤
郑立功
张学军
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
25
原文传递
2
大口径离轴凸非球面系统拼接检验技术
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
2016
13
下载PDF
职称材料
3
子孔径拼接检测非球面时调整误差的补偿
王孝坤
《中国光学》
EI
CAS
2013
11
下载PDF
职称材料
4
子孔径拼接干涉检测离轴非球面研究
王孝坤
郑立功
张学军
张忠玉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
11
下载PDF
职称材料
5
大口径离轴凸非球面的加工和检测（英文）
郑立功
王孝坤
薛栋林
李锐钢
张峰
张忠玉
张学军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
4
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职称材料
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