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YSZ薄膜的制备及应用 被引量：1
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作者 潘礼庆 王岭 +1 位作者 孙加林 洪彦若 《功能材料与器件学报》 CAS CSCD 2000年第4期372-376,共5页
研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性 ,实验表明 ,刚制备的YSZ薄膜经 75 0℃常规退火处理后 ,薄膜表面致密、均匀、无裂纹 ,具备良好的导电性能。YSZ NASICON组合再加上Ba(NO3) 2 辅助电极构成的NOX气体... 研究了在NASICON基板上使用溅射法制备的YSZ薄膜的结构、晶相和导电性 ,实验表明 ,刚制备的YSZ薄膜经 75 0℃常规退火处理后 ,薄膜表面致密、均匀、无裂纹 ,具备良好的导电性能。YSZ NASICON组合再加上Ba(NO3) 2 辅助电极构成的NOX气体传感器在 45 0℃下响应迅速 (响应时间约为 3min)、稳定 ,能检测到 1 0ppm量级的NO2 气体。 展开更多
关键词 YSZ薄膜 电导率 气体传感器 溅射镀膜 制备
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