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热蒸发石墨烯基SnO_x-Sn传感器气敏性研究 被引量：3
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作者 王玮 高在青 +2 位作者 蒋烨 杨宗耀 谢海芬 《传感器与微系统》 CSCD 2018年第3期11-13,共3页
通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡(Sn)及其氧化物,得到石墨烯基SnO_x-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO_2)气体的气敏性及SnO_x-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响。通过... 通过化学气相沉积法制备石墨烯并采用热蒸发法在石墨烯上沉积锡(Sn)及其氧化物,得到石墨烯基SnO_x-Sn气敏传感器,研究其在室温下对低体积分数甲醛和二氧化氮(NO_2)气体的气敏性及SnO_x-Sn膜厚和基底加热温度对传感器气敏性的影响。通过场发射扫描电镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)等表征手段研究了石墨烯基SnO_x-Sn气敏传感器的形态结构。 展开更多
关键词 石墨烯 snox-sn 热蒸发 甲醛 二氧化氮 气体传感器
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