期刊文献+
共找到163篇文章
< 1 2 9 >
每页显示 20 50 100
多年生禾本科牧草种子脱落机制及适宜采收期的研究 被引量:45
1
作者 王立群 杨静 石凤翎 《中国草地》 CSCD 1996年第3期7-16,共10页
对Elymussibiricus,E.nutans,Agropyroncristatum,A.mongolicum以及新近驯化的Bromusciliatus等多年生禾本科牧草在田间和试验室测定了不同成熟阶段的种子水分... 对Elymussibiricus,E.nutans,Agropyroncristatum,A.mongolicum以及新近驯化的Bromusciliatus等多年生禾本科牧草在田间和试验室测定了不同成熟阶段的种子水分、干物质积累、千粒重和种子生活力,并对与种子脱落相关的果穗形态构造进行了解剖学研究。结果表明,种子水分的减少和离区的发育对在成熟的中、后期种子脱落起主导作用。以种子含水率作为确定适宜采种期的时间指标,可以兼顾种子产量和品质两方面的因素。供试牧草最佳采收期的种子含水率分别是Bromusciliatus45~35%,E.sibilicus和E.nutans40~35%,A,cristatum和A,mongolicum30~20%。 展开更多
关键词 种子 含水量 脱落 保持力 离区 离层 牧草
原文传递
羊草种子的落粒性及其相关特征的研究 被引量:15
2
作者 刘祝江 陈延 +3 位作者 蒙静 武东波 周庆源 刘公社 《草地学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第1期152-158,共7页
羊草(Leymus chinensis)是多年生根茎型乡土草,存在落粒性特征,为揭示羊草的落粒情况及其相关因素,通过对羊草穗结构的显微观察发现,在其种子成熟过程中,小穗轴和种柄之间形成离层,它是导致种子自然脱落的重要原因。羊草小穗最基部的种... 羊草(Leymus chinensis)是多年生根茎型乡土草,存在落粒性特征,为揭示羊草的落粒情况及其相关因素,通过对羊草穗结构的显微观察发现,在其种子成熟过程中,小穗轴和种柄之间形成离层,它是导致种子自然脱落的重要原因。羊草小穗最基部的种子虽然在种柄基部有发育完全的离区,但不易脱落。通过采集不同品系和不同时期的羊草小穗并对其上的种子数量等数据的研究发现,羊草落粒性在不同品系间存在明显差异,其落粒率的范围在22.8%~79.9%之间,结实率范围在23.1%~98.4%之间,羊草颖果宽度与落粒率成正相关。研究还发现,S4-3和S5-3等羊草材料的种子成熟后自然落粒并很快萌发,说明这些品系的种子不存在休眠现象。 展开更多
关键词 羊草 落粒性 离层 落粒相关性状 结实率 种子休眠
下载PDF
水热法制备氧化锌纳米棒及微观形貌控制 被引量:11
3
作者 刘梦博 李文彬 +2 位作者 段理 于晓晨 魏星 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2018年第10期73-78,共6页
利用旋涂法在玻璃基底上制备ZnO种子层,之后用水热反应在不同条件下生长ZnO纳米棒阵列。通过SEM、XRD等表征测试手段,研究在水热反应时不同条件对ZnO纳米棒阵列的微观形貌的影响并对水热法制备ZnO纳米棒的各项生长条件进行了系统性的影... 利用旋涂法在玻璃基底上制备ZnO种子层,之后用水热反应在不同条件下生长ZnO纳米棒阵列。通过SEM、XRD等表征测试手段,研究在水热反应时不同条件对ZnO纳米棒阵列的微观形貌的影响并对水热法制备ZnO纳米棒的各项生长条件进行了系统性的影响分析。测试结果表明:种子层溶液浓度、水热反应时间和反应溶液浓度均会对ZnO纳米棒阵列的微观结构产生不同程度的影响。利用0. 1 mol/L的溶液进行种子层旋涂,在0. 05 mol/L硝酸锌溶液中进行水热反应9 h,可以生长出具有一定高度、取向性好的ZnO纳米棒阵列。 展开更多
关键词 氧化锌 纳米棒阵列 种子层 水热反应 微观形貌 SEM
下载PDF
用亚微米级晶种涂层法合成NaA沸石膜及其结构表征 被引量:7
4
作者 张雄福 刘海鸥 +1 位作者 王金渠 King Lun Yeung 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2004年第7期586-590,共5页
在大孔α Al2 O3 陶瓷管载体上 ,采用亚微米级晶种涂层法在澄清溶液体系中二次生长成膜 ,制备了NaA沸石膜 .采用TEM ,SEM和XRD等手段对晶种、陶瓷载体及沸石膜的结构、晶体形貌和成膜情况进行了表征 .结果表明 ,合成晶种的晶粒呈立方体 ... 在大孔α Al2 O3 陶瓷管载体上 ,采用亚微米级晶种涂层法在澄清溶液体系中二次生长成膜 ,制备了NaA沸石膜 .采用TEM ,SEM和XRD等手段对晶种、陶瓷载体及沸石膜的结构、晶体形貌和成膜情况进行了表征 .结果表明 ,合成晶种的晶粒呈立方体 ,颗粒小 (约 1 5 0nm)而均匀 ,无杂晶 ,可作为晶种在载体上进行预涂 .载体的孔径大而不均匀 ,表面粗糙不平整 ,直接成膜则表面仅有较少的沸石晶粒沉积 ,不能连续成膜 .经亚微米级晶种涂层后 ,载体表面形成了一层均匀、光滑的晶种层(厚度为 2~ 3μm) ;水热晶化成膜后 ,膜表面晶粒相互交织生长完好 ,无晶间隙 ,所得膜致密 ,连续 ,规整 ,清晰 ,无裂缺 . 展开更多
关键词 NAA沸石 沸石膜 二次合成 晶种 涂层
下载PDF
NiFe/FeMn双层膜交换偏置的形成及热稳定性研究 被引量:7
5
作者 滕蛟 蔡建旺 +2 位作者 熊小涛 赖武彦 朱逢吾 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期272-275,共4页
研究了在铁磁 (NiFe) 反铁磁 (FeMn)双层膜之间 ,交换偏置的形成过程和热稳定性 ,特别是NiFe FeMn的交换偏置作用与FeMn层晶粒尺寸的关系 .和以前作者不同的是 ,本文方法采用非磁性Ni Fe Cr合金作缓冲层材料 ,改变Cr的含量就可以获得... 研究了在铁磁 (NiFe) 反铁磁 (FeMn)双层膜之间 ,交换偏置的形成过程和热稳定性 ,特别是NiFe FeMn的交换偏置作用与FeMn层晶粒尺寸的关系 .和以前作者不同的是 ,本文方法采用非磁性Ni Fe Cr合金作缓冲层材料 ,改变Cr的含量就可以获得不同晶粒尺寸的反铁磁FeMn层 .实验表明 ,晶粒尺寸较小的FeMn产生较强的铁磁 反铁磁交换偏置场 ;但是 ,对于较大晶粒的FeMn层 ,出现交换偏置作用所要的临界厚度较小 .这符合Mauri提出的理论模型 .交换偏置场的热稳定性实验表明 ,具有较大晶粒尺寸的FeMn层给出较高的偏置场的截止温度 .这和Noshioka的实验与理论一致 ,即较大的反铁磁层晶粒具有较大的激活能和较长的弛豫时间 . 展开更多
关键词 反铁磁 交换偏置 热稳定性 晶粒尺寸 铁化镍 锰化铁 临界厚度 截止温度 激活能 弛豫时间
原文传递
滨海盐碱地基盘法造林试验 被引量:7
6
作者 李国华 岳增璧 +3 位作者 朱金兆 景峰 张学培 魏天兴 《中国水土保持科学》 CSCD 2008年第6期8-13,共6页
为研究推广基盘法造林技术在我国沿海盐碱地区的应用,以唐山市南堡盐场重盐碱地为研究对象,通过基盘育苗、修筑台田、挖排水沟、铺隔离层、客土穴移植树苗等综合措施,探讨滨海盐碱地基盘法造林技术。结果表明:种基盘具有一定阻隔盐碱的... 为研究推广基盘法造林技术在我国沿海盐碱地区的应用,以唐山市南堡盐场重盐碱地为研究对象,通过基盘育苗、修筑台田、挖排水沟、铺隔离层、客土穴移植树苗等综合措施,探讨滨海盐碱地基盘法造林技术。结果表明:种基盘具有一定阻隔盐碱的作用,其出苗率降序排列依次为Ⅲ、Ⅳ、Ⅱ、Ⅰ,即以客土、草炭、蛭石和珍珠岩体积比为5∶1∶2∶2的种基盘出苗率最高,且蛭石和珍珠岩组合占优势的基盘配方出苗率高于草炭占优势的基盘配方;台田以南北两条"十"字式(炉渣)的排盐阻盐效果最好,炉渣隔离层比建筑垃圾隔离层的排盐阻盐效果要好;客土穴起到了较好的改土阻盐效果,大部分移植树苗成活。研究结果可为滨海盐碱地造林提供改土阻盐技术支持。 展开更多
关键词 滨海盐碱地 基盘 台田整地 排水沟 隔离层 电导率
下载PDF
羊草和苏丹草种子结构的比较研究 被引量:6
7
作者 刘军 黄娟 《内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)》 CAS 2003年第4期394-396,共3页
采用石蜡切片法,对羊草和苏丹草种子的果皮、种皮、种子内含物、胚的形态结构进行了比较研究.结果表明,羊草和苏丹草种子的果皮和种皮结构有明显差别;营养成分差别不大;胚的形态主要表现为盾片的形态结构差异.
关键词 羊草 苏丹草 种子结构 种皮 果皮 角质层 薄壁细胞 石蜡切片法 禾本科
下载PDF
(Ni_(0.81)Fe_(0.19))_(1-x)Cr_x作为种子层对NiFe/FeMn交换偏置的影响 被引量:6
8
作者 滕蛟 蔡建旺 +2 位作者 熊小涛 赖武彦 朱逢吾 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第12期2849-2853,共5页
采用一种新的种子层材料 :(Ni0 81 Fe0 1 9) 1 -xCrx,通过改变种子层中Cr原子的含量 ,使得在其上生长的NiFe FeMn双层膜的织构和晶粒尺寸产生极大的差异 ,系统研究了NiFe FeMn双层膜中FeMn晶粒尺寸和织构对交换偏置的影响 .实验结果表... 采用一种新的种子层材料 :(Ni0 81 Fe0 1 9) 1 -xCrx,通过改变种子层中Cr原子的含量 ,使得在其上生长的NiFe FeMn双层膜的织构和晶粒尺寸产生极大的差异 ,系统研究了NiFe FeMn双层膜中FeMn晶粒尺寸和织构对交换偏置的影响 .实验结果表明 ,在FeMn的γ相 (111)织构较好的前提下 ,交换偏置场的大小与织构的差异没有关系 ;FeMn的晶粒尺寸对交换偏置场有很大影响 ,较小的反铁磁层晶粒对交换偏置场有利 ,过大的反铁磁层晶粒不利于交换偏置场 .将 (Ni0 81 Fe0 1 9) 0 5Cr0 5与传统的种子层材料Ta进行了对比 ,发现前者具有很多优点 。 展开更多
关键词 (Ni0.81Fe0.19)1-xCrx NiFe/FeMn 交换偏置 晶粒尺寸 织构 种子层 铁磁材料 反铁磁材料
原文传递
层积前后肉苁蓉种子成分的红外光谱分析 被引量:5
9
作者 徐荣 孙素琴 +1 位作者 陈君 陈士林 《种子》 CSCD 北大核心 2009年第3期1-4,共4页
采用傅里叶变换红外光谱法(FTIR),分析研究肉苁蓉种子不同部位及其在层积处理后的光谱特征和成分差异。结果显示,肉苁蓉种子成分组成丰富,同时存在蛋白质、脂类和碳水化合物的特征吸收峰,并且推测含有果胶质和芳香类化合物。肉苁蓉种皮... 采用傅里叶变换红外光谱法(FTIR),分析研究肉苁蓉种子不同部位及其在层积处理后的光谱特征和成分差异。结果显示,肉苁蓉种子成分组成丰富,同时存在蛋白质、脂类和碳水化合物的特征吸收峰,并且推测含有果胶质和芳香类化合物。肉苁蓉种皮和种仁的成分差异很大,2 926、1 746、1 161、721 cm-1处一系列强峰说明种仁中的油脂类成分含量非常高,而种皮中1 054 cm-1处碳水化合物和果胶质类的特征吸收峰最强。经层积处理后肉苁蓉种皮的萌发抑制物质所在的吸收峰区域变化显著,而种仁中的脂类减少,可溶性的蛋白质和糖类成分增加。 展开更多
关键词 红外光谱 肉苁蓉 种子成分 种子活力 低温层积
下载PDF
化学镀技术在超大规模集成电路互连线制造过程的应用 被引量:4
10
作者 王增林 刘志鹃 +2 位作者 姜洪艳 王秀文 新宫原 正三 《电化学》 CAS CSCD 北大核心 2006年第2期125-133,共9页
总结自大马士革铜工艺建立以来,电化学工作者利用化学镀技术围绕该工艺而开展的一系列相关研究,介绍了应用化学镀沉积镍三元合金防扩散层和化学镀铜种子层的研究以及离子束沉积法(Ion ized C lus-ter Beam,ICB)形成Pd催化层后的化学镀... 总结自大马士革铜工艺建立以来,电化学工作者利用化学镀技术围绕该工艺而开展的一系列相关研究,介绍了应用化学镀沉积镍三元合金防扩散层和化学镀铜种子层的研究以及离子束沉积法(Ion ized C lus-ter Beam,ICB)形成Pd催化层后的化学镀铜技术和超级化学镀铜方法.简要叙述化学镀铜技术在超大规模集成电路中的应用,总结化学镀铜技术的研究进展,并指出了今后的发展方向. 展开更多
关键词 化学镀铜 超级化学镀 大马士革铜互连线 种子层 防扩散层
下载PDF
An INDEHISCENT-Controlled Auxin Response Specifies the Separation Layer in Early Arabidopsis Fruit 被引量:4
11
作者 Kasper van Gelderen Martin van Rongen +2 位作者 An'an Liu Anne Otten Remko Offringa 《Molecular Plant》 SCIE CAS CSCD 2016年第6期857-869,共13页
Seed dispersal is an important moment in the life cycle of a plant species. In Arabidopsis thaliana, it is dependent on transcription factor INDEHISCENT (IND)-mediated specification of a separation layer in the dehi... Seed dispersal is an important moment in the life cycle of a plant species. In Arabidopsis thaliana, it is dependent on transcription factor INDEHISCENT (IND)-mediated specification of a separation layer in the dehiscence zone found in the margin between the valves (carpel walls) and the central replum of the developing fruit. It was proposed that IND specifies the separation layer by inducing a local auxin minimum at late stages of fruit development. Here we show that morphological differences between the ind mutant and wild-type fruit already arise at early stages of fruit development, coinciding with strong IND expression in the valve margin. We show that IND-reduced PIN-FORMED3 (PIN3) auxin efflux carrier abundance leads to an increased auxin response in the valve margin during early fruit develop- ment, and that the concomitant cell divisions that form the dehiscence zone are lacking in ind mutant fruit. Moreover, IND promoter-driven ectopic expression of the AGC kinases PINOID (PID) and WAG2 induced indehiscence by expelling auxin from the valve margin at stages 14-16 of fruit development through increased PIN3 abundance. Our results show that IND, besides its role at late stages of Arabi- dopsis fruit development, functions at early stages to facilitate the auxin-triggered cell divisions that form the dehiscence zone. 展开更多
关键词 seed dispersal polar auxin transport PINOID INDEHISCENT separation layer ARABIDOPSIS
原文传递
Seed and Wasp Production in the Mutualism of Figs and Fig Wasps 被引量:1
12
作者 YaoJin-yan ZhaoNan-xian +3 位作者 ChenYi-zhu JiaXiao-cheng DengYuan YuHui 《Forestry Studies in China》 CAS 2005年第1期25-28,共4页
Figs (Moracea: Ficus) and fig wasps (Hymenoptera: Chlocloids: Agaonideae) depend on each other to complete their reproduction. Monoecious fig species and their pollinating wasps are in conflict over the use of fig ov... Figs (Moracea: Ficus) and fig wasps (Hymenoptera: Chlocloids: Agaonideae) depend on each other to complete their reproduction. Monoecious fig species and their pollinating wasps are in conflict over the use of fig ovaries which can either produce one seed or one wasp. From observation on Ficus virens Ait., we showed that female flowers with outer layer of ovaries (near to the wall of syconium) had no significant difference from that with inner and interval layer of ovaries (near to the syconium cavity), in which most seeds and wasps were produced. This meant that fig tree provided the same potential resource for seed and wasps production. Observation indicated that there was usually only one foundress in syconium at female flower phase and no com- petition pollinators. Measurement of the style length of female flowers and the ovipositor of pollinators indicated that most ovaries could be reached by pollinator’s ovipositor. However, at the male flower phase, production of seeds was significantly more than that of wasps including non-pollinating wasps but there was no significant difference between seed and pollinating wasp production when without non-pollinating wasps produced. This result indicated that non-pollinating wasps competed ovaries not with seeds but with pollinating wasps for ovipositing. Bagged experiment showed that the sampling fig species was not self-sterile which was important for figs and wasps to survive bad season. Seed production in self-pollinated figs was not significantly different from total wasps in- cluding non-pollinating ones. This might be related with the weaker competition among wasps since bagged figs were not easy to reach by wasps from outside. 展开更多
关键词 FICUS Ficus wasp mutualism conflicts seed and wasp production seed and Wasp Production in the Mutualism of Figs and Fig Wasps Yao Jin-yan1 2 Zhao Nan-xian1 Chen Yi-zhu1* Jia Xiao-cheng1 2 Deng Yuan1 2 Yu Hui1 2 1South China Botanical Garden Chinese Academy of Sciences Guangzhou 510650 P. R. China 2Graduate School of the Chinese Academy of Sciences Beijing 100039 P. R. China ABSTRACT Figs (Moracea: Ficus) and fig wasps (Hymenoptera: Chlocloids: Agaonideae) depend on each other to complete their reproduction. Monoecious fig species and their pollinating wasps are in conflict over the use of fig ovaries which can either produce one seed or one wasp. From observation on Ficus virens Ait. we showed that female flowers with outer layer of ovaries (near to the wall of syconium) had no significant difference from that with inner and interval layer of ovaries (near to the syconium cavity) in which most seeds and wasps were produced. This meant that fig tree provided the same potential resource for seed and wasps production. Observation indicated that there was usually only one foundress in syconium at female flower phase and no com- petition pollinators. Measurement of the style length of female flowers and the ovipositor of pollinators indicated that most ovaries could be reached by pollinator’s ovipositor. However at the male flower phase production of seeds was significantly more than that of wasps including non-pollinating wasps but there was no significant difference between seed and pollinating wasp production when without non-pollinating wasps produced. This result indicated that non-pollinating wasps competed ovaries not with seeds but with pollinating wasps for ovipositing. Bagged experiment showed that the sampling fig species was not self-sterile which was important for figs and wasps to survive bad season. seed production in self-pollinated figs was not significantly different from total wasps in- cluding non-pollinating
下载PDF
种子层及掺杂浓度对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Al薄膜光电性能的影响 被引量:5
13
作者 彭寿 汤永康 +5 位作者 王芸 金良茂 甘治平 王东 王萍萍 操芳芳 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期543-549,共7页
本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝(AZO)薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓度区间为0.25at%~5.00at%。通过X射线衍射仪、场发射扫... 本文采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出n型掺杂具有优良光电性能的氧化锌掺铝(AZO)薄膜,并以磁控溅射AZO薄膜为种子层引导液相法所制备AZO薄膜生长。Al掺杂浓度区间为0.25at%~5.00at%。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、轮廓仪、方块电阻测试仪、霍尔效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计分别研究了薄膜物相、微观结构、膜厚及光电性能,进一步分析了Al掺杂浓度、种子层对薄膜光电性能的影响。结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85%以上。Al掺杂浓度、种子层的引入对AZO薄膜的光电性能有重要影响。无种子层时,掺杂浓度为0.50at%的AZO薄膜在5%H2、95%N2还原气氛下于550℃保温60 min得到最优电学性能,方块电阻约为166Ω/□,电阻率约为1.99×10-3Ω·cm;预镀AZO种子层所制备薄膜方块电阻下降到约42Ω/□,电阻率下降到约7.56×10-4Ω·cm。 展开更多
关键词 Al掺杂浓度 种子层 铝掺杂氧化锌薄膜 光电性能
下载PDF
多层复合ZnS/Cu/Ag/ZnS透明导电薄膜的磁控溅射制备及性能研究
14
作者 陶凯 李豫博 +3 位作者 王煜昊 郭凯洋 李青萍 丁海 《河南工学院学报》 CAS 2024年第4期13-19,共7页
采用磁控溅射法制备ZnS/Cu/Ag/ZnS多层复合透明导电薄膜,并对其微观结构和光电性能进行研究。选用纯度>99.99%的ZnS、Cu和Ag靶材,分别利用射频和直流溅射电源,在玻璃衬底上逐层溅射沉积了不同膜层参数的ZnS/Cu/Ag/ZnS结构薄膜。利用... 采用磁控溅射法制备ZnS/Cu/Ag/ZnS多层复合透明导电薄膜,并对其微观结构和光电性能进行研究。选用纯度>99.99%的ZnS、Cu和Ag靶材,分别利用射频和直流溅射电源,在玻璃衬底上逐层溅射沉积了不同膜层参数的ZnS/Cu/Ag/ZnS结构薄膜。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪、紫外可见分光光度计和四探针测试仪等对复合薄膜的形貌、物相、透光性和导电性进行测试。优化后的复合薄膜显示出均匀的界面组织,优良的透光性和导电性,400—800 nm可见光波段的平均透射率为87.47%,表面电阻为6.74Ω/sq,品质因子达38.91×10^(-3)Ω^(-1)。该复合透明导电薄膜具有优良的综合光电性能,为无铟透明导电膜的产业应用和拓展提供了更多选项。 展开更多
关键词 透明导电薄膜 多层结构 磁控溅射 介质层 种子层
下载PDF
RF MEMS开关工艺技术研究 被引量:4
15
作者 汪继芳 刘善喜 《电子与封装》 2010年第3期27-31,共5页
RFMEMS开关是用MEMS技术形成的新型电路元件,与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大等优点,将对现有雷达和通信中RF结构产生重大影响。文章介绍了RFMEMS开关的基本工艺流程设计,工艺制作技术的研究。实验解决了种子层技... RFMEMS开关是用MEMS技术形成的新型电路元件,与传统的半导体开关器件相比具有插入损耗低、隔离度大等优点,将对现有雷达和通信中RF结构产生重大影响。文章介绍了RFMEMS开关的基本工艺流程设计,工艺制作技术的研究。实验解决了种子层技术、聚酰亚胺牺牲层技术、微电镀技术的工艺难题,制作出了RFMEMS开关样品,基本掌握了RFMEMS器件的制作工艺技术。RFMEMS开关样品测试的技术指标为:膜桥高度2μm~3μm、驱动电压<30V、频率范围0~40GHz、插入损耗≤1dB、隔离度≥20dB,样品参数性能达到了设计要求。 展开更多
关键词 种子层 聚酰亚胺 牺牲层 微电镀
下载PDF
化学溶液法制备涂层导体过渡层La_2Zr_2O_7厚膜的研究 被引量:4
16
作者 王榕 索红莉 +5 位作者 程艳玲 刘敏 赵跃 叶帅 高忙忙 周美玲 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期396-400,共5页
为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solutiondeposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5at%W基底上用快速一步法退火工艺制备... 为制备高质量的双轴织构La2Zr2O7(LZO)涂层导体过渡层,本文采用化学溶液法(Chemical solutiondeposition,简称CSD法),以乙酰丙酮镧和乙酰丙酮锆为溶质,丙酸为溶剂配制成前驱盐溶液,在立方织构的Ni-5at%W基底上用快速一步法退火工艺制备了LZO种子层及双层LZO厚膜。SEM观察种子层呈岛状均匀排列,符合种子层形貌特点。XRD结果显示0.06 mol/L浓度种子层上制备的LZO厚膜具有很强的双轴立方织构,其中(222)面Phi扫描和(400)面摇摆曲线半高宽值分别为6.37°和5.82°。SEM观察发现120 nm厚的LZO薄膜表面平整,无裂纹,为后续沉积YBCO提供了很好的模板。 展开更多
关键词 涂层导体 CSD方法 LZO过渡层 种子层
下载PDF
铜柱凸块生产关键工艺技术研究 被引量:4
17
作者 薛兴涛 孟津 何智清 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第12期925-929,共5页
讨论了铜柱凸块生产工艺中籽晶层厚度和电镀电流密度等关键制程因素对铜柱凸块共面性、晶圆应力、凸块剖面结构和电镀效率等方面的影响。研究结果表明增加电镀籽晶层厚度可以提高凸块共面性;在相同电镀电流密度下,籽晶层越厚,晶圆应力越... 讨论了铜柱凸块生产工艺中籽晶层厚度和电镀电流密度等关键制程因素对铜柱凸块共面性、晶圆应力、凸块剖面结构和电镀效率等方面的影响。研究结果表明增加电镀籽晶层厚度可以提高凸块共面性;在相同电镀电流密度下,籽晶层越厚,晶圆应力越大;相同的籽晶层厚度下,随着电镀电流密度增加,晶圆应力增加,但增加速率逐渐变慢;低电流密度下铜柱凸块顶部形成盘碟形状的剖面结构,而高电流密度容易使铜柱顶部形成圆拱剖面结构;采用阶梯电镀速率电镀方法与均一慢电镀速率电镀出的铜柱凸块共面性一致,而采用阶梯电镀法既能够提高电镀效率又可以得到较好的铜柱顶部盘碟形剖面结构。 展开更多
关键词 铜柱凸块 电镀 籽晶层 共面性 凸块剖面 应力
下载PDF
籽晶层热处理温度对ZnO纳米棒阵列性能的影响 被引量:4
18
作者 何林 刘敏霞 +2 位作者 张耿 吴木营 罗诗裕 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期998-1001,共4页
以不同热处理温度下制备的ZnO籽晶层为基底,采用水热法生长ZnO纳米棒阵列,对制备得到的ZnO纳米棒阵列的相结构和微观形貌以及发光特性进行了表征,分析了籽晶层热处理温度对ZnO纳米棒阵列性能的影响机理,发现在籽晶层热处理温度为450℃时... 以不同热处理温度下制备的ZnO籽晶层为基底,采用水热法生长ZnO纳米棒阵列,对制备得到的ZnO纳米棒阵列的相结构和微观形貌以及发光特性进行了表征,分析了籽晶层热处理温度对ZnO纳米棒阵列性能的影响机理,发现在籽晶层热处理温度为450℃时,生长得到的ZnO纳米棒阵列空间取向最优,发光性能最好。 展开更多
关键词 籽晶层 热处理温度 ZNO纳米棒阵列 水热法
下载PDF
种子层诱导溶胶-凝胶法Li,Mg掺杂ZnO薄膜的结构及光电性能研究 被引量:4
19
作者 张利静 方华靖 +3 位作者 严清峰 沈光球 王晓青 沈德忠 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期1272-1277,共6页
本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜。利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响。结果表明预铺种子层、... 本文以ZnO为种子层采用溶胶-凝胶法制备了Li、Mg掺杂的氧化锌薄膜。利用XRD、SEM、PL等手段对薄膜的结构、表面形貌和发光性能进行了表征,研究了不同掺杂情况、种子层、旋涂次数对Li、Mg掺杂的ZnO薄膜性能的影响。结果表明预铺种子层、旋涂8次、在580℃下退火的条件下制得的薄膜性能最好,通过Li、Mg共掺杂使得ZnO薄膜的光致发光性能增强近5倍,近带边发射峰发生蓝移,禁带宽度变大。 展开更多
关键词 氧化锌薄膜 溶胶-凝胶法 种子层 旋涂 光致发光
下载PDF
基于两步刻蚀工艺的锥形TSV制备方法
20
作者 田苗 刘民 +3 位作者 林子涵 付学成 程秀兰 吴林晟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第4期316-322,共7页
以硅通孔(TSV)为核心的2.5D/3D封装技术可以实现芯片之间的高速、低功耗和高带宽的信号传输。常见的垂直TSV的制造工艺复杂,容易造成填充缺陷。锥形TSV的侧壁倾斜,开口较大,有利于膜层沉积和铜电镀填充,可降低工艺难度和提高填充质量。... 以硅通孔(TSV)为核心的2.5D/3D封装技术可以实现芯片之间的高速、低功耗和高带宽的信号传输。常见的垂直TSV的制造工艺复杂,容易造成填充缺陷。锥形TSV的侧壁倾斜,开口较大,有利于膜层沉积和铜电镀填充,可降低工艺难度和提高填充质量。在相对易于实现的刻蚀条件下制备了锥形TSV,并通过增加第二步刻蚀来改善锥形TSV形貌。成功制备了直径为10~40μm、孔口为喇叭形的锥形TSV。通过溅射膜层和铜电镀填充,成功实现了直径为15μm、深度为60μm的锥形TSV的连续膜层沉积和完全填充,验证了两步刻蚀工艺的可行性和锥形TSV在提高膜层质量和填充效果方面的优势。为未来高密度封装领域提供了一种新的TSV制备工艺,在降低成本的同时提高了2.5D/3D封装技术的性能。 展开更多
关键词 硅通孔(TSV) 锥形 种子层 电镀填充 薄膜沉积
下载PDF
上一页 1 2 9 下一页 到第
使用帮助 返回顶部