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偏振干涉成像光谱仪的视场展宽设计与分析
被引量：
6
1
作者
穆廷魁
张淳民
+2 位作者
任文艺
张霖
祝宝辉
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期181-187,共7页
为了在较大视场范围内获得干涉直条纹以提高干涉数据的提取精度,设计了一种基于组合Savart板的宽场偏振干涉成像光谱仪.组合Savart板由正负晶体制作的两个Savart板组合而成.文中推出了组合Savart板的光程差和横向剪切量与入射角的理论...
为了在较大视场范围内获得干涉直条纹以提高干涉数据的提取精度,设计了一种基于组合Savart板的宽场偏振干涉成像光谱仪.组合Savart板由正负晶体制作的两个Savart板组合而成.文中推出了组合Savart板的光程差和横向剪切量与入射角的理论表达式,并给出了具体设计实例.计算机模拟分析结果表明,在光谱分辨率和晶体总厚度相同的前提下,组合式Savart板获得干涉直条纹的视场是传统Savart偏光镜视场的10倍.
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关键词
偏振成像光谱仪
savart
板
光程差
视场
原文传递
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法
被引量：
6
2
作者
严伟
李艳丽
+1 位作者
陈铭勇
王建
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期20-24,共5页
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点,讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理,利用双光栅光闸叠栅条纹的光强调制机理,并结合像横向剪切器和光弹调制的光学特性,建立了单个光栅周期内焦...
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点,讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理,利用双光栅光闸叠栅条纹的光强调制机理,并结合像横向剪切器和光弹调制的光学特性,建立了单个光栅周期内焦面位移量和输出光能量线性关系。其具有非接触、强实时性和高稳健性的特点,经理论分析和模拟测试,达到纳米量级的检测精度,可以满足投影光刻高精度、实时、非接触焦面测量的要求。
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关键词
光学测量
焦面检测
叠栅条纹
光弹调制
横向剪切分束器
原文传递
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
被引量：
6
3
作者
冯金花
胡松
+1 位作者
李艳丽
何渝
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期194-199,共6页
随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位...
随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位移的变化会引起调制光强发生正余弦变化。根据光强的正余弦变化,求出焦面位移量。经实验与数据分析,该方法具有纳米级的检焦精度,且具有实时性强、非接触等特点,能满足100 nm投影光刻中焦面检测的需要。
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关键词
测量
纳米检焦
相位解析
光弹调制
横向剪切板
原文传递
题名
偏振干涉成像光谱仪的视场展宽设计与分析
被引量：
6
1
作者
穆廷魁
张淳民
任文艺
张霖
祝宝辉
机构
西安交通大学理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期181-187,共7页
基金
国家自然科学基金(批准号:40875013),国家自然科学基金重点项目(批准号:40537031)资助的课题
国防基础科学研究项目(批准号:A1420080187)
国家高技术研究发展计划(863)(批准号:2006AA12Z152)~~
文摘
为了在较大视场范围内获得干涉直条纹以提高干涉数据的提取精度,设计了一种基于组合Savart板的宽场偏振干涉成像光谱仪.组合Savart板由正负晶体制作的两个Savart板组合而成.文中推出了组合Savart板的光程差和横向剪切量与入射角的理论表达式,并给出了具体设计实例.计算机模拟分析结果表明,在光谱分辨率和晶体总厚度相同的前提下,组合式Savart板获得干涉直条纹的视场是传统Savart偏光镜视场的10倍.
关键词
偏振成像光谱仪
savart
板
光程差
视场
Keywords
polarization
imaging
spectrometer,
savart
plate
,
optical
path
difference,
field
of
view
分类号
O436.3 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法
被引量：
6
2
作者
严伟
李艳丽
陈铭勇
王建
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第8期20-24,共5页
文摘
针对投影光刻机短波长、大数值孔径、短焦深的特点,讨论了一种基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法。该方法采用三角测量的基本原理,利用双光栅光闸叠栅条纹的光强调制机理,并结合像横向剪切器和光弹调制的光学特性,建立了单个光栅周期内焦面位移量和输出光能量线性关系。其具有非接触、强实时性和高稳健性的特点,经理论分析和模拟测试,达到纳米量级的检测精度,可以满足投影光刻高精度、实时、非接触焦面测量的要求。
关键词
光学测量
焦面检测
叠栅条纹
光弹调制
横向剪切分束器
Keywords
optical
measurement
focusing
test
Moiré
fringe
photoelastic
modulation
savart
plate
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
被引量：
6
3
作者
冯金花
胡松
李艳丽
何渝
机构
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第2期194-199,共6页
基金
国家自然科学基金(61376110)
文摘
随着光刻机分辨力节点的提高,纳米级的高精度检焦技术变得愈发重要。针对投影光刻的特点,介绍了一种基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法。此方法基于三角法测量原理,通过光弹调制器和横向剪切板的光学调制、平行平板的相位调整,硅片位移的变化会引起调制光强发生正余弦变化。根据光强的正余弦变化,求出焦面位移量。经实验与数据分析,该方法具有纳米级的检焦精度,且具有实时性强、非接触等特点,能满足100 nm投影光刻中焦面检测的需要。
关键词
测量
纳米检焦
相位解析
光弹调制
横向剪切板
Keywords
measurement
nano
focusing
phase
analysis
photoelastic
modulation
savart
plate
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
偏振干涉成像光谱仪的视场展宽设计与分析
穆廷魁
张淳民
任文艺
张霖
祝宝辉
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
6
原文传递
2
基于光闸叠栅条纹的纳米检焦方法
严伟
李艳丽
陈铭勇
王建
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
6
原文传递
3
基于叠栅条纹相位解析的纳米检焦方法
冯金花
胡松
李艳丽
何渝
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
6
原文传递
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