-
题名多晶硅制备工艺及发展趋势
被引量：13
- 1
-
-
作者
王晓英
王宇光
谷新春
刘颖
-
机构
吉林工商学院食品工程分院
中国化学赛鼎宁波工程有限公司
-
出处
《化工进展》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第6期1336-1340,共5页
-
文摘
简述了国内外多晶硅生产工艺的发展和现状,对比分析了各种多晶硅制备方法在产能、能耗及环境友好特性等方面的特点及其发展趋势。提出目前多晶硅制备技术主要有3个发展方向:①不断改进西门子工艺,包括尾气分离,四氯化硅氢化制备三氯氢硅,改进还原炉结构,加大炉体直径以提高产量、降低成本,三氯氢硅及氢气的纯化;②不断完善流态化技术方法,包括降低反应器内壁面上的硅沉积、减少无定形硅粉的形成、硅烷制备技术的改善;③不断完善冶金法工艺体系,包括提高产品纯度、减少杂质含量的波动性。
-
关键词
多晶硅
流化床法
冶金法
西门子法
-
Keywords
polysilicon
fluidized bed method
metallurgy method
simens method
-
分类号
TB332
[一般工业技术—材料科学与工程]
-
-
题名可燃及有毒有害气体检测系统在多晶硅生产中的应用
被引量：3
- 2
-
-
作者
康普辉
姜福泉
-
机构
昆明冶研新材料股份有限公司
-
出处
《化工自动化及仪表》
CAS
2013年第6期725-727,共3页
-
文摘
为保证工业化生产多晶硅工艺的安全、连续与可靠性,设计可燃H2、有毒有害气体HCl和Cl2检测系统,及时检测出管道的泄漏点,并与暖通空调系统联动排出厂房内的可燃和毒害气体。
-
关键词
气体检测系统
多晶硅生产
改良西门子法
直接数字控制
-
Keywords
gas detection system, polysilicon production, modified simens method, direct digital control
-
分类号
TH83
[机械工程—仪器科学与技术]
-
