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题名压阻式传感器热灵敏度漂移的变压源补偿
被引量：6
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作者
吴亚林
赵扬
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机构
信息产业部电子第四十九研究所
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出处
《传感器技术》
CSCD
2000年第3期38-40,共3页
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文摘
介绍了一种压阻式传感器灵敏度温度补偿的基本原理 ,并以加速度传感器为例 ,详细阐述了一种实用的变压源补偿电路。文章分析了整个温控电压源电路的温度特性 。
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关键词
压阻式传感器
变压源补偿
热灵敏度漂移
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Keywords
:piezo-resistance transducer
pt-film resisor
pt-film resistor
active circuit compiensation
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名MEMS热膜式微流量传感器
被引量：3
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作者
侍艳华
何秀丽
高晓光
贾建
李建平
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机构
中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2013年第7期434-441,共8页
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基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2009AA04Z328)
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文摘
针对气体红外吸收的气动探测应用,设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时,微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系,灵敏度约为299 mV/(mL/min)。微流量传感器气体流量理论检测下限约为1.7μL/min,在气体流量为6μL/min时,响应时间(90%)和恢复时间(90%)分别为16和34 ms。研究了微流量传感器温度补偿方法,消除了环境温度对灵敏度的影响。
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关键词
微电子机械系统(MEMS)
微流量传感器
热膜式
温度补偿
pt薄膜电阻
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Keywords
micro-electromechanical system （MEMS）
micro flow sensor
hot-film
temperaturecompensation
pt film resistor
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TH703
[自动化与计算机技术—控制科学与工程]
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