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球形磁铁在弯管内表面磁力研磨中的应用 被引量:37
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作者 韩冰 邓超 陈燕 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第6期565-570,共6页
空间弯管内表面微裂纹用传统的研磨方法难以去除.利用六自由度机械手结合磁力研磨加工装置实现空间弯管内表面研磨加工.为了提高磁力研磨弯管内表面的加工效率,根据研磨工艺数学模型分析得到提高研磨压力是提高研磨效率的有效手段.因此... 空间弯管内表面微裂纹用传统的研磨方法难以去除.利用六自由度机械手结合磁力研磨加工装置实现空间弯管内表面研磨加工.为了提高磁力研磨弯管内表面的加工效率,根据研磨工艺数学模型分析得到提高研磨压力是提高研磨效率的有效手段.因此,提出在研磨介质中添加球形磁铁作为辅助抛光工具提高研磨介质对弯管内表面的压力.通过Ansoft Maxwell软件分析得到添加球形磁铁后加工区域的磁感应强度增大,即研磨压力变大.并对TB8合金弯管进行研磨试验,试验结果表明添加球形磁铁后研磨加工效率提高约40%;表面粗糙度降至0.09μm左右,并通过电子显微镜观察到内表面上的微裂纹已去除.实验验证了球形磁铁辅助研磨弯管内表面的可行性,为提高磁力研磨加工效率提供了一种新方法. 展开更多
关键词 磁力研磨 球形磁铁 辅助抛光 弯管 研磨效率
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CMP抛光半导体晶片中抛光液的研究 被引量:19
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作者 胡伟 魏昕 +1 位作者 谢小柱 向北平 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第6期78-80,共3页
本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性... 本文分析了化学机械抛光(CMP)半导体晶片过程中抛光液的重要作用,总结了抛光液的组成及其化学性能(氧化剂、磨料及pH值等)和物理性能(流速、粘性及温度)对抛光效果的影响规律,研究发现:酸性抛光液常用于抛光金属材料,pH最优值为4,碱性抛光液常用于抛光非金属材料,pH最优值为10~11.5;氧化剂能有效提高金属材料的抛光效率和表面平整度;磨料的种类、浓度及尺寸会影响抛光效果;分散剂有助于保持抛光液的稳定性;抛光初始阶段宜采用较低流速,然后逐渐提高;抛光液的粘性会影响晶片与抛光垫之间的接触模式、抛光液的均布、流动及加工表面的化学反应;抛光液温度的升高有助于提高抛光效率.最后本文指出了抛光液循环使用的重要意义及常用方法. 展开更多
关键词 化学机械抛光 抛光液 抛光效率 表面平整度
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SiC单晶片CMP超精密加工技术现状与趋势 被引量:16
3
作者 肖强 李言 李淑娟 《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期9-13,共5页
综述了半导体材料SiC抛光技术的发展,介绍了SiC单晶片CMP技术的研究现状,分析了CMP的原理和工艺参数对抛光的影响,指出了SiC单晶片CMP急待解决的技术和理论问题,并对其发展方向进行了展望。
关键词 SiC单晶片 化学机械抛光 粗糙度 抛光效率
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砂轮磨削振动对工件表面形貌特征的影响研究 被引量:11
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作者 毕果 郭隐彪 郑茂江 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2013年第8期1118-1123,共6页
砂轮振动将会使得光学元件表面产生周期性波动,从而降低后续抛光工序的加工效率,增加光学元件表面的中频误差成分,影响光学元件的使用性能。本文针对平行磨削方式,研究了砂轮周期性强迫振动下的工件表面形貌特征,分析了砂轮与工件表面... 砂轮振动将会使得光学元件表面产生周期性波动,从而降低后续抛光工序的加工效率,增加光学元件表面的中频误差成分,影响光学元件的使用性能。本文针对平行磨削方式,研究了砂轮周期性强迫振动下的工件表面形貌特征,分析了砂轮与工件表面的干涉现象,以及加工参数对加工表面波纹度特征的影响。研究结果表明:加工参数满足一定的条件下,工件表面振纹小于砂轮本身振动振幅,通过合理选择加工参数有利于改善工件表面波纹度,提高加工表面质量。 展开更多
关键词 砂轮振动 平行磨削 表面形貌特征
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大米抛光工艺效果影响因素的分析 被引量:9
5
作者 李天真 《粮食与饲料工业》 CAS 2002年第10期12-13,共2页
通过分析原料、设备、操作和工艺 4个因素对抛光工艺效果的影响 ,为提高大米抛光效果提供现实依据 。
关键词 大米 抛光工艺效果 原料因素 设备因素 操作因素
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离心压缩机叶轮流道磨料流抛光及其对压缩机效率的影响 被引量:9
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作者 刘向东 季田 +1 位作者 庞占元 陈震 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2009年第3期12-15,共4页
叶轮是离心压缩机的核心部件。窄流道闭式叶轮的流道截面非常小,流道的表面粗糙度对压缩机效率影响较大。在AFM机床上进行了叶轮流道的磨粒流抛光试验;研究了流道表面粗糙度的检测方法;对比了叶轮流道抛光前后表面粗糙度对压缩机效... 叶轮是离心压缩机的核心部件。窄流道闭式叶轮的流道截面非常小,流道的表面粗糙度对压缩机效率影响较大。在AFM机床上进行了叶轮流道的磨粒流抛光试验;研究了流道表面粗糙度的检测方法;对比了叶轮流道抛光前后表面粗糙度对压缩机效率的影响。结果表明,经过磨粒流抛光后,叶轮流道的表面粗糙度可达到Ra0.14~0.45μm,抛光后压缩机的效率提高了1%左右,解决了高压小流量离心压缩机制造中的叶轮抛光难题。 展开更多
关键词 闭式叶轮 窄流道 磨粒流抛光 压缩机效率
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KDP晶体潮解抛光中相对速度的研究
7
作者 郭少龙 潘丽莉 +2 位作者 刘佳航 张庆怀 白浩辰 《工具技术》 北大核心 2024年第2期125-128,共4页
基于KDP晶体潮解抛光原理对KDP晶体抛光过程进行运动学分析,得到KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的速度表达式。在抛光垫转数、载样盘圆心与抛光垫圆心之间的水平距离、载样盘圆心与其摆动圆心之间的水平距离、KDP晶体表面上一点到载样... 基于KDP晶体潮解抛光原理对KDP晶体抛光过程进行运动学分析,得到KDP晶体表面上一点相对于抛光垫的速度表达式。在抛光垫转数、载样盘圆心与抛光垫圆心之间的水平距离、载样盘圆心与其摆动圆心之间的水平距离、KDP晶体表面上一点到载样盘圆心的水平距离取不同值时,分别绘制KDP晶体表面某点相对于抛光垫的速度曲线,得到这几个参数对相对速度的影响规律,并据此确定这些参数的优化方向。 展开更多
关键词 KDP晶体 抛光 潮解 相对速度 抛光效率
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新型叉车变矩器泵轮组件自动抛光装置
8
作者 郭进 《机械工程与自动化》 2024年第5期139-142,共4页
泵轮组件作为叉车变矩的核心零部件,影响着泵轮内部液流的能量转换,决定了叉车变矩器的力矩和性能。传统工艺中,泵轮组件需要人工对其端面进行抛光,以取得良好的基准面,不仅加工效率低,工人劳动强度大,还存在较大的安全隐患。提出了一... 泵轮组件作为叉车变矩的核心零部件,影响着泵轮内部液流的能量转换,决定了叉车变矩器的力矩和性能。传统工艺中,泵轮组件需要人工对其端面进行抛光,以取得良好的基准面,不仅加工效率低,工人劳动强度大,还存在较大的安全隐患。提出了一种新型叉车变矩器泵轮组件自动抛光装置,利用电机、压紧打磨装置及自动控制系统实现了泵轮组件的自动抛光,有效提高了加工效率,降低了劳动强度,去除了安全隐患。 展开更多
关键词 叉车变矩器 泵轮组件 抛光 加工效率 劳动强度
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整体叶盘自适应柔性抛光效率优化 被引量:6
9
作者 淮文博 史耀耀 蔺小军 《计算机集成制造系统》 EI CSCD 北大核心 2021年第6期1550-1557,共8页
针对整体盘叶片型面抛光,“五轴数控+柔性磨头+弹性磨具”抛光工艺装备具有精度高、干涉小、自适应性好等优点;为提高抛光质量和抛光效率,根据弹性磨具(砂布轮)抛光原理建立了抛光效率的数学计算式,给出了抛光效率的优化方法;通过正交... 针对整体盘叶片型面抛光,“五轴数控+柔性磨头+弹性磨具”抛光工艺装备具有精度高、干涉小、自适应性好等优点;为提高抛光质量和抛光效率,根据弹性磨具(砂布轮)抛光原理建立了抛光效率的数学计算式,给出了抛光效率的优化方法;通过正交试验结果的灰色关联度分析获得了基于效率的工艺参数优化组合;叶片抛光试验结果表明:基于效率优化的工艺参数不仅能显著地减少抛光时间,还能获得合格的叶片表面粗糙度,从而验证了效率优化方法的可靠性。 展开更多
关键词 整体叶盘 柔性抛光 弹性磨具 效率优化 灰色关联度
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航空发动机整体叶盘叶片前倾抛光工序规划 被引量:1
10
作者 陈振 赵盼 +3 位作者 史耀耀 李峰 丁莹 路丹尼 《西北工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第6期1107-1113,共7页
通过增加前倾角的前倾抛光工艺可降低表面粗糙度。探究前倾角对抛光表面质量的影响规律对提高整体叶盘叶片的抛光效率具有重要意义。通过砂布页轮前倾抛光实验,获得P400~P1200粒度砂布页轮抛光TC4整体叶盘叶片时,用在不同抛光次数、前... 通过增加前倾角的前倾抛光工艺可降低表面粗糙度。探究前倾角对抛光表面质量的影响规律对提高整体叶盘叶片的抛光效率具有重要意义。通过砂布页轮前倾抛光实验,获得P400~P1200粒度砂布页轮抛光TC4整体叶盘叶片时,用在不同抛光次数、前倾角度下的表面粗糙度。实验结果表明,抛光表面粗糙度随着前倾角的增加呈下降趋势。分析了前倾角变化对抛光表面质量的影响机制,并从多个角度进行探讨。通过量化抛光效率,研究了各粒度砂布页轮抛光效率随前倾角的变化规律,并得到了最佳前倾角度;此基础上进行抛光效率最优的抛光工序规划,并通过抛光实验进行验证。实验结果表明,优化后的抛光工序规划能在较少工序内获得合格的表面粗糙度,验证了抛光工序规划结果的可靠性。该研究为TC4整体叶盘叶片砂布页轮抛光工艺的优化提供了理论依据和实践指导。 展开更多
关键词 整体叶盘叶片 柔性抛光 抛光效率 表面粗糙度
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输油离心泵叶轮流道表面的电解抛光节能改进设计 被引量:5
11
作者 高军甲 司先锋 《石油工程建设》 2009年第6期59-61,共3页
对大庆苏一联合站内的低效输油离心泵叶轮进行电解抛光节能改进,提高了泵叶轮流道面的光洁度,减少了流道阻力损失。现场测试结果表明,叶轮经过电解抛光后,离心泵的效率较原来提高了5%。文章论述了电解抛光的基本原理,叶轮的规格及抛光... 对大庆苏一联合站内的低效输油离心泵叶轮进行电解抛光节能改进,提高了泵叶轮流道面的光洁度,减少了流道阻力损失。现场测试结果表明,叶轮经过电解抛光后,离心泵的效率较原来提高了5%。文章论述了电解抛光的基本原理,叶轮的规格及抛光前处理,电极的设计、制造、安装,电解液选择与电解抛光工艺流程等内容。 展开更多
关键词 离心泵 电解抛光 节能改进 电极 效率
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毛刷式机械抛光毛刷磨损及加工效率的研究 被引量:5
12
作者 曾伟 牟伟旭 +1 位作者 王培 李清红 《工具技术》 2013年第7期13-17,共5页
毛刷式机械抛光设备根据毛刷安装方式的不同,可以分为两类:横向滚轮式毛刷和纵向盘式毛刷。本文分析了毛刷运动方式,指出毛刷在进入面的加工效率高于毛刷在退出面的加工效率,并从毛刷介质的角度对毛刷磨损进行了研究,把材料的硬度(包括... 毛刷式机械抛光设备根据毛刷安装方式的不同,可以分为两类:横向滚轮式毛刷和纵向盘式毛刷。本文分析了毛刷运动方式,指出毛刷在进入面的加工效率高于毛刷在退出面的加工效率,并从毛刷介质的角度对毛刷磨损进行了研究,把材料的硬度(包括弹性系数,直径,长度)、工作温度和湿度对毛刷磨损速率的影响进行了分析,通过公式D=WL3/0.1473Ed4N指出,毛刷丝的直径越大其硬度越高,磨损速率也越大,毛刷丝越长,硬度越低,同时指出除毛刷丝的硬度以外,在保持其他因素不变的情况下,同种材料下,毛刷丝越硬,磨损越快;温度升高,磨损速率增大,湿度增大,磨损速率减小,但大气环境下,当温度上升,湿度同时上升,这两者变化引起的影响可以相互抵消。本文还通过两类设备加工效率的比较,指出横向滚轮式毛刷适合硬质合金车刀片的切削刃钝化处理,而纵向盘式毛刷适合硬质合金刀片的表面抛光处理。 展开更多
关键词 硬质合金 刀片 毛刷 毛刷磨损 机械抛光 加工效率
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纳米CeO_2颗粒的表面改性及其抛光性能研究 被引量:5
13
作者 付银元 肖汉宁 +2 位作者 欧阳唐哲 周筱桐 张海峰 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期1026-1031,共6页
为改善CeO2粉体的化学机械抛光(CMP)性能,采用聚乙烯亚胺(PEI)作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电镜显微镜(TEM)、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛... 为改善CeO2粉体的化学机械抛光(CMP)性能,采用聚乙烯亚胺(PEI)作为分散剂,对CeO2粉体表面进行改性,通过傅立叶红外光谱(FTIR)、透射电镜显微镜(TEM)、Zeta电位仪、激光粒度仪及稳定性测试等方法分析了表面改性对CeO2颗粒表面性质及其抛光液分散稳定性的影响。结果表明:纳米CeO2粉末经PEI改性后改变了其在水中的胶体性质,Zeta电位绝对值提高,CeO2颗粒间的空间位阻增加,抛光液的分散稳定性得到了明显改善。改性后纳米CeO2抛光液对手机面板玻璃的化学机械抛光(CMP)的抛光效率(MRR)由改性前的330 nm/min增加到381.6 nm/min,具有更好的抛光效果。 展开更多
关键词 氧化铈 表面改性 聚乙烯亚胺 抛光效率
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单晶锗光学表面数控高速抛光优化试验 被引量:4
14
作者 金寿平 付跃刚 王淇 《哈尔滨工业大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第7期76-81,共6页
为研究单晶锗镜片表面光洁度无法达到要求的加工技术难题,基于数控高速抛光方法,开展了聚氨酯和沥青两种抛光模的数控高速抛光优化试验,以Preston理论为基础,通过不断优化工艺流程和参数,结合运动轨迹仿真和功率谱密度计算,对比分析了... 为研究单晶锗镜片表面光洁度无法达到要求的加工技术难题,基于数控高速抛光方法,开展了聚氨酯和沥青两种抛光模的数控高速抛光优化试验,以Preston理论为基础,通过不断优化工艺流程和参数,结合运动轨迹仿真和功率谱密度计算,对比分析了两种抛光模的加工效率和表面质量控制能力.试验结果表明:两种抛光方式均能获得较高的面形精度,聚氨酯抛光模具有较高的加工效率,但光学表面微观形貌控制能力较差,沥青模抛光得到的表面粗糙度RMS相比聚氨酯模提升近3nm.通过单晶锗光学表面数控高速抛光试验,最终优化并提出了聚氨酯初抛光与沥青精抛光相结合的方式,并进行了试验验证. 展开更多
关键词 单晶锗 数控高速抛光 表面粗糙度 面形精度 抛光效率
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航发叶盘类零件不同抛磨工艺的仿真对比分析 被引量:3
15
作者 闫泽昭 李文辉 +1 位作者 李秀红 张演 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2022年第1期138-143,共6页
为提高整体叶盘抛磨加工均匀一致性,对比分析了回转式、振动式及振动回转式抛磨加工。通过离散元软件EDEM对整体叶盘的模拟件进行仿真分析,在磨损量、滚抛磨块速度及各自的变异系数等方面对比分析回转式、振动式及振动回转式抛磨加工整... 为提高整体叶盘抛磨加工均匀一致性,对比分析了回转式、振动式及振动回转式抛磨加工。通过离散元软件EDEM对整体叶盘的模拟件进行仿真分析,在磨损量、滚抛磨块速度及各自的变异系数等方面对比分析回转式、振动式及振动回转式抛磨加工整体叶盘模拟件的优缺点。仿真结果显示,相较于回转式加工和振动式加工,振动回转式加工后的模拟件缩短了顶部至根部、前缘至后缘方向的磨损量差值和滚抛磨块速度差值,增大了表面磨损量并提高了加工均匀一致性。结果表明,无论从加工效率还是加工均匀性的角度分析,振动回转式的加工方式都要优于回转式加工和振动式加工。 展开更多
关键词 整体叶盘 抛磨加工 离散元 加工效率 均匀一致性
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Multi-physical Modeling and Adjusting for Ultrasonic Assisted Soft Abrasive Flow Processing
16
作者 Yesha Ni Yunfeng Tan Dapeng Tan 《Chinese Journal of Mechanical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第4期111-124,共14页
The polishing efficiency of the soft abrasive flow(SAF)method is low,which is not in line with the concept of carbon emission reduction in industrial production.To address the above issue,a two-phase fluid multi-physi... The polishing efficiency of the soft abrasive flow(SAF)method is low,which is not in line with the concept of carbon emission reduction in industrial production.To address the above issue,a two-phase fluid multi-physics modeling method for ultrasonic-assisted SAF processing is proposed.The acoustics-fluid coupling mechanic model based on the realizable k-ε model and Helmholtz equation is built to analyze the cavitation effect.The results show that the pro-posed modeling and solution method oriented to ultrasonic-assisted SAF processing have better revealed the flow field evolution mechanism.The turbulence kinetic energy at different ultrasonic frequencies and amplitudes is stud-ied.Simulation results show that the ultrasonic vibration can induce a cavitation effect in the constrained flow chan-nel and promote the turbulence intensity and uniformity of the abrasive flow.A set of comparative polishing experiments with or without ultrasonic vibration are conducted to explore the performance of the proposed method.It can be found that the ultrasonic-assisted SAF method can improve the machining efficiency and uniformity,to achieve the purpose of carbon emission reduction.The relevant result can offer a helpful reference for the SAF method. 展开更多
关键词 Soft abrasive flow Ultrasonic vibration Cavitation effect polishing efficiency Turbulent kinetic energy
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自由曲面结构磁性抛光去除试验研究 被引量:4
17
作者 林龙侨 王振忠 陈世平 《航空制造技术》 2017年第12期94-98,109,共6页
磁性抛光因柔性工具的工件表面适应性高而具有较好的应用潜力。自行设计抛光工具头,制备磁性抛光体,搭建试验平台,并对不锈钢平面工件进行定点抛光试验,平均去除效率为0.231μm/10min,且工件表面质量得到了很大的改善,验证了该磁性抛光... 磁性抛光因柔性工具的工件表面适应性高而具有较好的应用潜力。自行设计抛光工具头,制备磁性抛光体,搭建试验平台,并对不锈钢平面工件进行定点抛光试验,平均去除效率为0.231μm/10min,且工件表面质量得到了很大的改善,验证了该磁性抛光方法的可行性。继而对两种自由曲面结构工件进行抛光:一是采用工具头水平移动式、工具头等高线移动式两种不同的抛光进给运动方式对不同曲率的不锈钢工件进行抛光去除试验,试验证明:两种抛光方式对每个曲率的轮廓均有去除能力,去除量在0.14~1.33μm之间;二是对3D打印的光敏树脂微结构自由曲面定点抛光,单位时间去除效率在8.957~12.587μm/10min之间,且改善了轮廓的光滑度。初步试验表明,磁性抛光方法对两种自由曲面结构均有一定的去除能力,可进一步探索磁性抛光技术应用于自由曲面结构确定性抛光。 展开更多
关键词 自由曲面 微结构 磁性抛光 去除效率
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电极形状对介电泳抛光影响的仿真研究 被引量:3
18
作者 赵天晨 袁巨龙 +1 位作者 邓乾发 杭伟 《华中科技大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期55-60,共6页
为了解决平面抛光加工中提高精度和效率的难题,根据中性微粒在非均匀电场中可以产生介电泳效应,提出了一种可以提高抛光均匀性和效率的介电泳抛光方法.讨论了介电泳理论及抛光原理,运用COMSOL软件仿真分析了不同电极的电场线分布.仿真... 为了解决平面抛光加工中提高精度和效率的难题,根据中性微粒在非均匀电场中可以产生介电泳效应,提出了一种可以提高抛光均匀性和效率的介电泳抛光方法.讨论了介电泳理论及抛光原理,运用COMSOL软件仿真分析了不同电极的电场线分布.仿真结果表明:圆环70~90mm电极形状的电场线分布最不均匀.进行了相应电极的加工试验,试验结果表明:使用圆环70~90mm电极时材料去除率最大,达到0.573mg/min,相比传统CMP提升了19.9%.使用圆Φ60mm电极形状,工件材料去除最均匀、抛光效率最高,2.5h可以将Φ76.2mm硅片全部抛亮,比传统CMP提高了3.6倍,且最终表面粗糙度为0.97nm.在实际加工中,圆Φ60mm电极形状最适合Φ76.2mm硅片的介电泳抛光. 展开更多
关键词 介电泳 抛光 电极形状 效率 均匀性 仿真研究
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磁性流体研磨加工的实验研究
19
作者 潘良贤 张佳庆 张幼桢 《南京航空学院学报》 CSCD 1990年第3期63-71,共9页
随着科学技术的发展,电子、光学和军品零件加工精度和表面质量的要求日益提高。采用普通研磨加工方法,虽然加工表面粗糙度和形状精度可符合要求,但表面加工变质层会使零件的机械物理性能降低。为此,开发研究出许多精加工技术。磁性研磨... 随着科学技术的发展,电子、光学和军品零件加工精度和表面质量的要求日益提高。采用普通研磨加工方法,虽然加工表面粗糙度和形状精度可符合要求,但表面加工变质层会使零件的机械物理性能降低。为此,开发研究出许多精加工技术。磁性研磨法是70年代新开发研究的一种加工方法,具有高精度、高效率和加工表面无变质层的特点,特别适合难研磨材料和复杂形状表面的研磨加工,并能在研磨加工过程中控制研磨效率和研磨精度。本文以自行研制的研磨装置为实验手段,对磁性流体研磨加工进行工艺试验,探索了研磨时间、磨粒粒径、混合液体积添加率和磁场强度诸因素对研磨效率和研磨精度的影响。并在此基础上对研磨机理进行了初步分析,提出了磁性流体研磨加工中单颗磨粒的运动模型,找出了研磨表面产生铜屑粘连、夹渣、磁性颗粒粘附和较粗划痕等缺陷的原因,以及控制措施。 展开更多
关键词 磁性流体 研磨 磁性研磨法
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镍磷合金镀层表面磁流变抛光效率实验 被引量:2
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作者 艾博 薛常喜 +1 位作者 张斌智 李经伟 《长春理工大学学报(自然科学版)》 2020年第5期78-82,共5页
分析了化学镀Ni-P合金沉积机理中最为重要的原子氢理论,简述了磁流变抛光过程中材料去除机理,并选取在磁流变抛光过程中主要的工艺参数进行正交实验。利用Zygo干涉仪等实验仪器检测实验件面形,计算出每个去除函数的峰值去除率。通过实... 分析了化学镀Ni-P合金沉积机理中最为重要的原子氢理论,简述了磁流变抛光过程中材料去除机理,并选取在磁流变抛光过程中主要的工艺参数进行正交实验。利用Zygo干涉仪等实验仪器检测实验件面形,计算出每个去除函数的峰值去除率。通过实验数据分析各因素对Ni-P合金镀层抛光效率的影响规律。实验结果表明各因素对Ni-P镀层抛光效率的影响关系:抛光粉浓度>抛光间隙>抛光轮转速>镀层厚度,通过实验并结合工程实际情况对各工艺参数进行了优化,为后续Ni-P合金镀层非球面表面抛光打下基础。 展开更多
关键词 镍磷合金镀层 磁流变抛光 正交实验 抛光效率
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