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电感耦合等离子体光谱仪器技术进展与现状 被引量:30
1
作者 辛仁轩 《中国无机分析化学》 CAS 2011年第4期1-8,共8页
介绍了电感耦合等离子体光谱分析仪器技术的发展历程及主要技术特点,并分别评述了目前三种典型ICP光谱仪器及其技术现状和新进展,它们分别是:顺序扫描型ICP光谱仪、同时型ICP光谱仪及顺序-同时型ICP光谱仪。最后介绍了几种有较好应用前... 介绍了电感耦合等离子体光谱分析仪器技术的发展历程及主要技术特点,并分别评述了目前三种典型ICP光谱仪器及其技术现状和新进展,它们分别是:顺序扫描型ICP光谱仪、同时型ICP光谱仪及顺序-同时型ICP光谱仪。最后介绍了几种有较好应用前景的光谱新光源:静态高灵敏ICP(SHIP)光源,高功率微波等离子体光源,电容耦合等离子体光源,炬内进样短炬管等。 展开更多
关键词 进展 ICP—AES 光谱光源
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离子渗氮新技术的研究现状 被引量:19
2
作者 龙发进 周祎 +2 位作者 康光宇 李鑫鸿 耿漫 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2007年第6期61-64,80,共5页
为了克服传统离子渗氮的一些固有缺点,近些年来出现一些新的离子渗氮技术,如活性屏离子渗氮、等离子体源离子渗氮、离子注入离子渗氮等,本文简要介绍了这些新技术及其原理、特点,总结了这类技术的共性模型。其中,活性屏离子渗氮技术和... 为了克服传统离子渗氮的一些固有缺点,近些年来出现一些新的离子渗氮技术,如活性屏离子渗氮、等离子体源离子渗氮、离子注入离子渗氮等,本文简要介绍了这些新技术及其原理、特点,总结了这类技术的共性模型。其中,活性屏离子渗氮技术和等离子体源离子渗氮技术有着明显的设备和工艺优势,可能成为离子渗氮技术的发展方向。 展开更多
关键词 离子渗氮 活性屏 等离子体源 离子注入
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地面实验室模拟空间等离子体环境的初步测试 被引量:19
3
作者 庞永江 徐跃民 《空间科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期259-265,共7页
空间等离子体和航天器的相互作用对航天器的安全有重要影响,利用空间实验来研究这些作用的代价很大,可以通过在地面实验室中模拟空间等离子体环境来低成本地研究这些相互作用.本研究通过使用ECR等离子体源期望在地面实验室来近似... 空间等离子体和航天器的相互作用对航天器的安全有重要影响,利用空间实验来研究这些作用的代价很大,可以通过在地面实验室中模拟空间等离子体环境来低成本地研究这些相互作用.本研究通过使用ECR等离子体源期望在地面实验室来近似模拟空间等离子体环境,通过初步测量,我们得到了一个比较均匀的等离子体环境. 展开更多
关键词 空间等离子体环境 ECR 等离子体源 地面实验室 模拟 航天器 地面试验
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等离子体源增强磁控溅射沉积Al_2O_3薄膜研究 被引量:9
4
作者 雷明凯 袁力江 张仲麟 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期887-890,共4页
采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si(100)基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al2O3薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al2O... 采用电子回旋共振微波等离子体源增强磁控溅射沉积氧化铝薄膜.X射线光电子谱和X射线衍射分析表明,在600℃沉积温度下,Si(100)基片上获得了亚稳的具有化学计量配比成分、面心立方结构的γ-Al2O3薄膜.薄膜的折射率为1.7,与稳定的α-Al2O3体材料相当. 展开更多
关键词 等离子体源 磁控溅射沉积 AL2O3薄膜 氧化铝薄膜 折射率 结构 光学性能
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电子回旋共振等离子体源的特性 被引量:4
5
作者 刘仲阳 孙官清 +2 位作者 张大忠 陈剑宣 钟光武 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第10期707-712,共6页
简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试,结果表明,放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT时,等离子... 简要描述了一台频率为2.45GHz的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试,结果表明,放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT时,等离子体很易产生,但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度为0.1—lPa间均能运行。由石英、Al2O3陶瓷和BN构成的微波输入富有良好的阻抗匹配,在微波功率为200—700W间,反射系数仅为1%,等离子体密度达5.8×1011cm-3,电子温度为3-12eV,该源的寿命超过300h。 展开更多
关键词 电子回旋共振 等离子体源 特性 结构 CAD
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螺旋波激发等离子体源的原理和应用 被引量:11
6
作者 房同珍 《物理》 CAS 1999年第3期162-167,共6页
介绍了一种低气压、高密度等离子体源———螺旋波激发等离子体源(HWP),讲述了它的结构位形、天线耦合原理和参数设计原则,该离子源在实际中的应用以及目前研究状况.
关键词 螺旋波 等离子体 天线耦合 HWP 结构原理
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一种新的等离子体源及其在纺织材料表面改性中的应用 被引量:10
7
作者 黎志光 冯贤平 +1 位作者 施芸诚 谢涵坤 《东华大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期21-26,共6页
这里主要的工作就是采用并建立介质阻挡放电装置。在此基础上,使用空气和氩气两种工作气体进行等离子体放电,对等离子体放电电流和放电电压等参数进行较为系统的测量和诊断。由此找到适当的等离子体放电条件。这样,选择1mm宽的放电间隙... 这里主要的工作就是采用并建立介质阻挡放电装置。在此基础上,使用空气和氩气两种工作气体进行等离子体放电,对等离子体放电电流和放电电压等参数进行较为系统的测量和诊断。由此找到适当的等离子体放电条件。这样,选择1mm宽的放电间隙,获得了较为理想且均匀的等离子体,并用其对大豆纤维进行表面改性。从扫描电镜等测试结果显示,改性后大豆纤维的表面性能有明显改善。 展开更多
关键词 等离子体源 介质阻挡放电 表面改性 纺织材料
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大面积平面表面波等离子体的研究 被引量:8
8
作者 欧琼荣 梁荣庆 《真空与低温》 2002年第1期28-33,45,共7页
低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域 ,并且应用范围仍然在迅速拓展 ,这对等离子体本身提出了更高的要求 ,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一。作者主要介绍表面波激发等离子体的原理 ,并在自行研制的一... 低温等离子体技术已被广泛应用于各高科技领域 ,并且应用范围仍然在迅速拓展 ,这对等离子体本身提出了更高的要求 ,平面大面积、高密度均匀等离子体源是目前最迫切的需求之一。作者主要介绍表面波激发等离子体的原理 ,并在自行研制的一套平面大面积表面波等离子体源上 ,利用静电双探针测量了其Ar气放电的角向、径向和轴向的电子密度和温度。发现角向电子密度和温度均匀性与耦合天线及气压密切相关而与入射功率无关 ;径向电子密度和温度均匀性则与入射微波功率及气压密切相关而与耦合天线无关。因此 ,通过优化耦合天线来获得径向参数的均匀性及微波耦合效率 ,并增大微波功率、选择适当的气压 。 展开更多
关键词 表面波 等离子体源 高密度等离子体 设计 耦合天线 角向电子密度 温度均匀性
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血液制品病毒安全性控制措施研究进展 被引量:11
9
作者 马玉媛 赵雄 +1 位作者 尹惠琼 章金刚 《军事医学》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期225-228,共4页
血液制品是以健康人血浆为原料生产制备的一种特殊"药品",自20世纪80年代经血液制品传播人类免疫缺陷病毒事件频发以来,如何确保血液制品病毒安全性倍受关注。经过数十年的努力,目前各国均形成了严密体系,通过多种预防控制措... 血液制品是以健康人血浆为原料生产制备的一种特殊"药品",自20世纪80年代经血液制品传播人类免疫缺陷病毒事件频发以来,如何确保血液制品病毒安全性倍受关注。经过数十年的努力,目前各国均形成了严密体系,通过多种预防控制措施确保血液制品的病毒安全性,包括原料血浆的控制、生产过程中的病毒灭活/去除处理、严格遵守药品生产质量管理规范等。未来,新发传染病病原体将对血液制品的病毒安全性造成新的威胁,因此需不断研究新的应对措施。 展开更多
关键词 血液制品 病毒安全性 原料血浆 病毒灭活/去除处理
原文传递
国内外血站分离血浆利用概况 被引量:9
10
作者 王娅 李长清 +1 位作者 杨汇川 刘忠 《中国输血杂志》 CAS CSCD 北大核心 2014年第10期1068-1071,共4页
目前我国血液制品生产用原料血浆严重紧缺,而血站富余分离血浆无法进行再利用而面临报废的困境,宝贵的血液资源未能得到有效的综合利用。而很多国家和地区均采用自行加工或委托加工等方式将血站分离血浆用于血液制品生产。本文总结了国... 目前我国血液制品生产用原料血浆严重紧缺,而血站富余分离血浆无法进行再利用而面临报废的困境,宝贵的血液资源未能得到有效的综合利用。而很多国家和地区均采用自行加工或委托加工等方式将血站分离血浆用于血液制品生产。本文总结了国内外血站分离血浆的利用概况,可对我国血站富余分离血浆在满足临床需求的前提下用于血液制品生产提供参考。 展开更多
关键词 分离血浆 原料血浆 血站 血液制品生产
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ECR微波等离子体源离子渗氮 被引量:9
11
作者 张仲麟 雷明凯 +1 位作者 袁力江 孔常静 《金属热处理》 CAS CSCD 北大核心 1996年第10期14-17,共4页
研究了一种新的低温渗氮方法──电子回旋共振(ECR)微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、45钢和35CrMo钢试样在150~350℃进行渗氮处理,测定了渗氮层的硬度和晶体结构。结果表明,纯铁在低于200℃的温度下即可获得... 研究了一种新的低温渗氮方法──电子回旋共振(ECR)微波等离子体源离子渗氮。对纯铁、45钢和35CrMo钢试样在150~350℃进行渗氮处理,测定了渗氮层的硬度和晶体结构。结果表明,纯铁在低于200℃的温度下即可获得连续分布的表面氮化物层,35CrMo钢在低于250℃温度处理也可获得良好的渗氮层。 展开更多
关键词 离子渗氮 等离子体源 热处理 ECR 微波
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等离子体医学研究进展
12
作者 卢新培 罗婧怡 +33 位作者 聂兰兰 刘大伟 张冠军 刘定新 邵涛 方志 金珊珊 赵亚军 张远涛 邹亮 王晓龙 李和平 张宇 刘东平 杨德正 陈支通 黄青 程诚 吴淑群 刘巧珏 裴学凯 闫旭 程鹤 熊青 石琦 宋珂 曹颖光 陈宏翔 冯爱平 夏育民 白帆 杨春俊 杨润功 何光源 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期3555-3579,共25页
大气压非平衡等离子体(atmospheric pressure nonequilibrium plasma,APNP)能够在产生多种活性成分的同时保持较低甚至常温的气体温度,这使得它在生物医学方面有着巨大的应用前景,因此等离子体医学成为一个备受关注的新兴研究领域。自1... 大气压非平衡等离子体(atmospheric pressure nonequilibrium plasma,APNP)能够在产生多种活性成分的同时保持较低甚至常温的气体温度,这使得它在生物医学方面有着巨大的应用前景,因此等离子体医学成为一个备受关注的新兴研究领域。自1996年第一篇等离子体医学研究论文发表以来,等离子体医学领域取得了蓬勃的发展,但也面临着一些核心科学问题亟需解决。文中对等离子体医学的研究进展进行了综述,探讨了该领域面临的核心科学问题和等离子体的生物安全性。此外,还简要介绍了等离子体医学在微生物消杀、伤口愈合、癌症治疗、经皮给药和皮肤病治疗等重要应用方面取得的成果。对于制定等离子体医学的标准和规范、建立第三方检测平台以及共享数据库和标准装置等问题,也进行了初步的讨论。最后,对等离子体医学的未来进行了展望。 展开更多
关键词 等离子体医学 大气压非平衡等离子体 低温等离子体 等离子体源 等离子体诊断 生物医学应用
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国产血液制品生产供应现状及改善策略探讨 被引量:6
13
作者 王娅 卢丽 +3 位作者 黄晓倩 刘彬 李长清 郑忠伟 《中国输血杂志》 CAS 北大核心 2016年第4期431-435,共5页
本文通过对我国国产血液制品的生产供应现状及原料血浆采集情况的总结分析,探讨了目前制约国产血液制品生产的主要问题和因素,建议通过提高采浆区域资源利用率、统筹解决临床富余血浆综合利用、提高行业集中度、优化产品结构、提升血液... 本文通过对我国国产血液制品的生产供应现状及原料血浆采集情况的总结分析,探讨了目前制约国产血液制品生产的主要问题和因素,建议通过提高采浆区域资源利用率、统筹解决临床富余血浆综合利用、提高行业集中度、优化产品结构、提升血液制品生产企业社会责任感,以及降低临床血浆不合理输注等措施和手段,来改善和提高国产血液制品生产量以缓解临床供需矛盾。 展开更多
关键词 国产血液制品 原料血浆 血浆利用率 单采血浆站
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地面实验室模拟空间等离子体环境的初步测试 被引量:7
14
作者 贾瑞金 《航天器环境工程》 2005年第3期163-167,共5页
在地面模拟电离层等离子体与高压太阳电池阵的相互作用时,需要一定密度和能量的等离子体环境,因而希望能在地面试验室中利用微波ERC等离子体源来近似模拟空间等离子体环境。文章对该等离子体源进行了初步测试,利用等离子体诊断系统获得... 在地面模拟电离层等离子体与高压太阳电池阵的相互作用时,需要一定密度和能量的等离子体环境,因而希望能在地面试验室中利用微波ERC等离子体源来近似模拟空间等离子体环境。文章对该等离子体源进行了初步测试,利用等离子体诊断系统获得了在大真空容器中的等离子体有关参数的测量数据,通过分析,我们得到了一个比较均匀的等离子体环境。 展开更多
关键词 空间等离子体环境 等离子体源 测试
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Study of plasma parameters of coaxial plasma source using triple Langmuir probe and Faraday cup diagnostics
15
作者 Sunil KANCHI Rohit SHUKLA Archana SHARMA 《Plasma Science and Technology》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第4期94-100,共7页
Coaxial plasma guns are a type of plasma source that produces plasma which propagates radially and axially controlled by the shape of the ground electrode, which has attracted much interest in several applications. In... Coaxial plasma guns are a type of plasma source that produces plasma which propagates radially and axially controlled by the shape of the ground electrode, which has attracted much interest in several applications. In this work, a 120° opening angle of CPG nozzle is used as a plasma gun configuration that operates at the energy of 150 J. The ionization of polyethylene insulator between the electrodes of the gun produces a cloud of hydrogen and carbon plasma.The triple Langmuir probe and Faraday cup are used to measure plasma density and plasma temperature. These methods are used to measure the on-axis and off-axis plasma divergence of the coaxial plasma gun. The peak values of ion densities measured at a distance of 25 mm on-axis from the plasma gun are(1.6±0.5)×10^(19)m^(-3)and(2.8±0.6)×10^(19)m^(-3)for hydrogen and carbon plasma respectively and the peak temperature is 3.02±0.5 eV. The mean propagation velocity of plasma is calculated using the transit times of plasma at different distances from the plasma gun and is found to be 4.54±0.25 cm/μs and 1.81±0.18 cm/μs for hydrogen and carbon plasma respectively. The Debye radius is obtained from the measured experimental data that satisfies the thin sheath approximation. The shot-to-shot stability of plasma parameters facilitates the use of plasma guns in laboratory experiments. These types of plasma sources can be used in many applications like plasma opening switches, plasma devices, and as plasma sources. 展开更多
关键词 coaxial plasma source triple Langmuir probe Faraday cup plasma density plasma temperature
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中红外激光器光学薄膜的研制 被引量:7
16
作者 洪冬梅 岳威 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1157-1159,共3页
文章讨论了中红外波段激光器使用的一系列光学薄膜的设计方法和制备工艺。膜系类型涉及截止滤光膜、增透膜与高反膜,根据对称匹配膜层的理论,利用计算机膜系设计优化软件对膜系进行优化后,得到了损耗小、利于制备、重复性好的膜系结构,... 文章讨论了中红外波段激光器使用的一系列光学薄膜的设计方法和制备工艺。膜系类型涉及截止滤光膜、增透膜与高反膜,根据对称匹配膜层的理论,利用计算机膜系设计优化软件对膜系进行优化后,得到了损耗小、利于制备、重复性好的膜系结构,并且在完成多次实际制备过程后,分析了离子束预处理和离子源辅助蒸发对膜层的影响,确定最优参数的设定值后取得了较好的效果。 展开更多
关键词 光学薄膜 中红外 对称匹配层 计算机优化 离子源
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高密度螺旋波等离子体源的应用进展 被引量:7
17
作者 柏洋 赵岩 +3 位作者 金成刚 余涛 吴雪梅 诸葛兰剑 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第11期739-743,共5页
首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用。按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100~1 600Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制... 首先介绍了螺旋波的定义、螺旋波等离子体源产生等离子体所需条件的工作范围以及螺旋波等离子体源主要的一些应用。按照所加磁场范围的不同(分为在磁感应强度为100~1 600Gs和在强磁场中两部分),分别进一步讨论了国内外各研究小组研制的等离子体源的运行参数及技术特点。随后介绍了螺旋波等离子体源在刻蚀、薄膜沉积和火箭推进三个方面的应用进展。其中重点介绍了螺旋波等离子体火箭推进。最后简单展望了螺旋波等离子体源的应用前景,并指出其发展中尚待解决的一些问题。 展开更多
关键词 螺旋波 等离子体源 磁场 刻蚀 薄膜沉积 火箭推进
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EAST-CTI测试平台上六硼化镧等离子体源的研制
18
作者 孟凡卫 张小辉 +7 位作者 胡广海 孔德峰 叶扬 黄艳清 齐美彬 赵志豪 李博 董期龙 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2024年第1期24-29,共6页
为了更方便和深入研究紧凑环注入(CTI)系统产生的等离子体团在等离子体中的演化过程,特设计了一套大尺寸、均匀的六硼化镧等离子体源,用来产生磁化、高密度等离子体。等离子体源的阴极采用钨丝间接加热的方式来达到工作温度,阴极最高可... 为了更方便和深入研究紧凑环注入(CTI)系统产生的等离子体团在等离子体中的演化过程,特设计了一套大尺寸、均匀的六硼化镧等离子体源,用来产生磁化、高密度等离子体。等离子体源的阴极采用钨丝间接加热的方式来达到工作温度,阴极最高可达到1800℃。阳极采用耐高温、透过率50%的钼金属网,与阴极之间轴向间距1m。在阴极和阳极之间施加40~200V偏压,阴极发射的电子与中性气体碰撞、电离进而产生长1m直径100mm的稳态磁化等离子体柱。在台面实验中,测试了源的放电性能和等离子体相关参数。实验结果表明,在阴极发射电流密度为1~2A·cm^(-2)的情况下,测得的氩等离子体电子密度可达到10^(18)m^(-3)量级,电子温度约为8eV。通过增加阴、阳极之间偏压,阴极发射电流密度最高达到8.5A·cm^(-2),等离子体参数与托卡马克边界参数相近。该等离子体源满足设计要求并具备为EAST-CTI系统开展台面实验的能力。 展开更多
关键词 EAST-CTI 六硼化镧阴极 等离子体源 磁化等离子体
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电子束透射氮化硅薄膜窗产生低密度等离子体
19
作者 颜劭祺 高继昆 +2 位作者 陈越 马尧 朱晓东 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2024年第14期61-67,共7页
低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生... 低电子密度等离子体源在电离层等离子体的实验室模拟中具有重要的应用.本文利用高能电子束透射氮化硅薄膜窗口,在低气压条件下激发低密度等离子体.采用蒙特卡罗方法对氮化硅薄膜的电子束透射特性进行模拟;利用CCD相机和静电探针对产生的电子束等离子体进行诊断.电子束等离子体呈现出顶点位于氮化硅薄膜窗口的锥状结构.在相同气压下,电子初始能量越高,锥状等离子体锥角越小,等离子体更加向轴线集中,这与氮化硅薄膜的电子透射特性蒙特卡罗模拟定性一致.随着工作气压增大,高能电子与中性粒子碰撞频率变大,电子束散射效应增强导致等离子体锥角变大.等离子体锥状结构是高能电子透射特性以及高能电子与气体分子散射特征的反映.在40 keV条件下,当电子束流从10μA减小到0.5μA时,电子密度减小,变化在10^(5)—10^(6) cm^(-3)范围;而电子温度没有明显的变化,接近1 eV.随气压增大,电子密度有增大趋势.研究工作表明,在工作腔尺寸足够大的情况下,可得到沿电子入射方向随距离增加逐渐衰减的10^(5) cm^(-3)以下更低的电子密度;这是由于射程增加,透射的高能电子与中性气体碰撞产生能量损失增大;同时电子束散射增强导致了等离子体更加发散. 展开更多
关键词 电子束 等离子体产生 等离子体源 电子密度
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Wave field structure and power coupling features of blue-core helicon plasma driven by various antenna geometries and frequencies
20
作者 王超 刘佳 +3 位作者 苌磊 卢凌峰 张世杰 周帆涛 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第3期480-487,共8页
This paper deals with wave propagation and power coupling in blue-core helicon plasma driven by various antennas and frequencies.It is found that compared to non-blue-core mode,for blue-core mode,the wave can propagat... This paper deals with wave propagation and power coupling in blue-core helicon plasma driven by various antennas and frequencies.It is found that compared to non-blue-core mode,for blue-core mode,the wave can propagate in the core region,and it decays sharply outside the core.The power absorption is lower and steeper in radius for blue-core mode.Regarding the effects of antenna geometry for blue-core mode,it shows that half helix antenna yields the strongest wave field and power absorption,while loop antenna yields the lowest.Moreover,near axis,for antennas with m=+1,the wave field increases with axial distance.In the core region,the wave number approaches to a saturation value at much lower frequency for non-blue-core mode compared to blue-core mode.The total loading resistance is much lower for blue-core mode.These findings are valuable to understanding the physics of blue-core helicon discharge and optimizing the experimental performance of blue-core helicon plasma sources for applications such as space propulsion and material treatment. 展开更多
关键词 helicon plasma helicon wave helicon discharge radio frequency plasma source
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