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利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究
被引量：
6
1
作者
钱进
石春英
+4 位作者
谭慧萍
刘忠有
陈方毓
陈晓霞
黄晓蓉
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010年第4期299-302,共4页
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测...
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。
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关键词
计量学
扫描电子显微镜
纳米光栅
线距标准装置
一维光栅
长度基准
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职称材料
中国古代定黄钟技术钩沉
2
作者
史凯敏
《中国音乐》
北大核心
2023年第6期107-115,共9页
中国历代王朝,强调以黄钟律管作为基准来建立度量衡测量体系。在这些国家标准器的制造中,如何确保器物形制、容量、容重的准确,一直是中国科学技术史中的一个迷题。本文通过对汉代出土度量衡器物和新莽无射律管形制的互校,结合累黍等实...
中国历代王朝,强调以黄钟律管作为基准来建立度量衡测量体系。在这些国家标准器的制造中,如何确保器物形制、容量、容重的准确,一直是中国科学技术史中的一个迷题。本文通过对汉代出土度量衡器物和新莽无射律管形制的互校,结合累黍等实验,并考证古籍所载确定黄钟的方法与技术后,发现早在先秦时期,律度量衡器一体化的设计理念,器物的制作工艺,利用黍、水等自然物属性进行测量的方法,均已出现并付诸应用。汉代实现新莽异径管律及度量衡精密校测的核心技术是以度审容,以水准概,这一技术显示了中国古代音乐科技的高度发展水平。
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关键词
黄钟
同律度量衡
钟律
古代音乐科技
原文传递
原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究
3
作者
王建波
邓晓
+4 位作者
张萍萍
马艳
殷聪
钱进
李同保
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第5期1469-1472,共4页
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光...
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。
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关键词
原子光刻
原子沉积
纳米节距标准
激光准直
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职称材料
基于晶圆栅格标准样片的特征尺寸扫描电子显微镜放大倍数在线校准
被引量：
1
4
作者
金红霞
饶张飞
秦凯亮
《计量科学与技术》
2023年第2期29-35,共7页
半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中...
半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中,大多参照JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》进行测长示值误差的在线计量。基于100 nm晶圆栅格标准样片对CD-SEM放大倍数在线校准方法进行了重点讨论,并结合实例阐述了特定放大倍数下不确定度分析过程和结果符合性判定方法,同时进一步对校准过程中的3类问题和相应解决措施进行了总结,对今后集成电路纳米级参数测量设备在线校准研究具有借鉴意义。
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关键词
计量学
晶圆栅格标准样片
特征尺寸
CD-SEM
放大倍数校准
不确定度分析
原文传递
题名
利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究
被引量：
6
1
作者
钱进
石春英
谭慧萍
刘忠有
陈方毓
陈晓霞
黄晓蓉
机构
中国计量科学研究院
武汉钢铁公司技术中心
武汉科技大学材料与冶金学院
中国测试技术研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010年第4期299-302,共4页
文摘
提出了扫描电子显微镜量值溯源的测量方法，对3种类型的10台电镜进行了比对实验。实验数据溯源于国家长度基准。比对实验选取显微镜的放大倍数分别为2000×、5000×、10000×、20000×和50000×所对应的标尺作为测量对象。实验结果表明，有8台扫描电镜的标尺的准确度在5％的范围内与标准值符合，其余2台在6．5％的范围内与标准值符合。
关键词
计量学
扫描电子显微镜
纳米光栅
线距标准装置
一维光栅
长度基准
Keywords
Metrology
Scanning
electron
microscope
（
SEM
）
Nanometer
grating
pitch
standard
1
D-grating
Length
primary
standard
分类号
TB92 [一般工业技术—计量学]
下载PDF
职称材料
题名
中国古代定黄钟技术钩沉
2
作者
史凯敏
机构
安徽师范大学音乐学院
出处
《中国音乐》
北大核心
2023年第6期107-115,共9页
基金
2022年度国家社科基金冷门绝学研究项目“中国传统律学中的‘定黄钟术’研究”(项目编号:22VJXG004)的阶段成果。
文摘
中国历代王朝,强调以黄钟律管作为基准来建立度量衡测量体系。在这些国家标准器的制造中,如何确保器物形制、容量、容重的准确,一直是中国科学技术史中的一个迷题。本文通过对汉代出土度量衡器物和新莽无射律管形制的互校,结合累黍等实验,并考证古籍所载确定黄钟的方法与技术后,发现早在先秦时期,律度量衡器一体化的设计理念,器物的制作工艺,利用黍、水等自然物属性进行测量的方法,均已出现并付诸应用。汉代实现新莽异径管律及度量衡精密校测的核心技术是以度审容,以水准概,这一技术显示了中国古代音乐科技的高度发展水平。
关键词
黄钟
同律度量衡
钟律
古代音乐科技
Keywords
Huangzhong
Unified
pitch
and
measurement
system
pitch
standard
Ancient
Chinese
music
technology
分类号
J609.2 [艺术—音乐]
原文传递
题名
原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究
3
作者
王建波
邓晓
张萍萍
马艳
殷聪
钱进
李同保
机构
同济大学物理科学与工程学院
中国计量科学研究院
出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014年第5期1469-1472,共4页
基金
国家科技支撑计划(2006BAF06B08)
国家自然科学基金(10804084
+2 种基金
91123022)
上海市纳米技术专项基金(0852nm0700
0952nm0700)
文摘
原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。
关键词
原子光刻
原子沉积
纳米节距标准
激光准直
Keywords
atom
lithography
atom
deposition
nano
pitch
standard
laser
collimation
分类号
O562 [理学—原子与分子物理]
下载PDF
职称材料
题名
基于晶圆栅格标准样片的特征尺寸扫描电子显微镜放大倍数在线校准
被引量：
1
4
作者
金红霞
饶张飞
秦凯亮
机构
西安微电子技术研究所
出处
《计量科学与技术》
2023年第2期29-35,共7页
基金
国家重点研发计划项目(2018YFF0212303)
文摘
半导体制程中特征尺寸扫描电子显微镜(CD-SEM)是用于芯片特征尺寸在线测量的高精度设备,其测量结果会直接影响器件电性能参数评估和电路产品可靠性判断。对CD-SEM的计量特性评价,国内目前仍缺乏专用计量标准器具和校准规范,在实际工作中,大多参照JJF 1916-2021《扫描电子显微镜校准规范》进行测长示值误差的在线计量。基于100 nm晶圆栅格标准样片对CD-SEM放大倍数在线校准方法进行了重点讨论,并结合实例阐述了特定放大倍数下不确定度分析过程和结果符合性判定方法,同时进一步对校准过程中的3类问题和相应解决措施进行了总结,对今后集成电路纳米级参数测量设备在线校准研究具有借鉴意义。
关键词
计量学
晶圆栅格标准样片
特征尺寸
CD-SEM
放大倍数校准
不确定度分析
Keywords
metrology
nanolattice
pitch
wafer
standard
critical
dimension
CD-SEM
magnification
calibration
uncertainty
analysis
分类号
TB921 [一般工业技术—计量学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用一维光栅标样校准扫描电子显微镜方法的研究
钱进
石春英
谭慧萍
刘忠有
陈方毓
陈晓霞
黄晓蓉
《计量学报》
CSCD
北大核心
2010
6
下载PDF
职称材料
2
中国古代定黄钟技术钩沉
史凯敏
《中国音乐》
北大核心
2023
0
原文传递
3
原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究
王建波
邓晓
张萍萍
马艳
殷聪
钱进
李同保
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2014
0
下载PDF
职称材料
4
基于晶圆栅格标准样片的特征尺寸扫描电子显微镜放大倍数在线校准
金红霞
饶张飞
秦凯亮
《计量科学与技术》
2023
1
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