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Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3成分梯度铁电薄膜的结构及性能 被引量：4
1
作者 李建康 姚熹 《复合材料学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第6期49-53,共5页
采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在。XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复... 采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜。用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在。XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变。介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象。不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质。热释电性能测试表明,梯度薄膜的热释电系数随着温度的升高逐渐增加,并且其热释电系数比每个单元的热释电系数大。 展开更多
关键词 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 介电温谱 热释电系数
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1-3型压电复合材料的制备及温度性能 被引量：2
2
作者 顾新云 杨颖 +1 位作者 王一平 李兆萍 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 北大核心 2013年第S2期152-156,226,共6页
采用固相法制备了PZT-PMS-PZN的陶瓷粉末,用塑性聚合物法和排列浇铸法分别制得了直径为300μm压电纤维和体积分数为50%的1-3型压电复合材料。实验结果表明,制得的压电纤维晶粒大小均匀、结构致密,呈钙钛矿结构。1-3型压电复合材料相对... 采用固相法制备了PZT-PMS-PZN的陶瓷粉末,用塑性聚合物法和排列浇铸法分别制得了直径为300μm压电纤维和体积分数为50%的1-3型压电复合材料。实验结果表明,制得的压电纤维晶粒大小均匀、结构致密,呈钙钛矿结构。1-3型压电复合材料相对于纯压电陶瓷,表现出较低的声阻抗Z、较高的厚度机电耦合系数kt和更纯净的振动模式,并且室温下的铁电性能优异。厚度机电耦合系数kt、厚度耦合系数与平面耦合系数之比kt/kp、介电常数εr、声阻抗Z都随着温度的增高而增高,只有平面耦合系数kp随着温度的增高而减少。在100°C的温度变化范围内,所制备的1-3型压电复合材料呈现了较好的温度稳定性,这对于其在超声换能器、水听器和无损检测在变温范围内的应用有重要指导意义。 展开更多
关键词 温度 1-3型 压电性能 介电性能 锆钛酸铅
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含NiTi阻挡层的硅基(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3/Pb(Zr_(0.4)Ti_(0.6))O_3/(La_(0.5)Sr_(0.5))CoO_3铁电电容器异质结 被引量：1
3
作者 刘保亭 闫小兵 +4 位作者 程春生 李锋 马良 赵庆勋 闫正 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第1期157-160,共4页
应用磁控溅射法制备的非晶NiTi薄膜作阻挡层,在Si(100)衬底上构造了(La0.5Sr0.5)CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结,研究了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的结构和物理性能。实验发现LSCO/PZT/LSCO铁... 应用磁控溅射法制备的非晶NiTi薄膜作阻挡层,在Si(100)衬底上构造了(La0.5Sr0.5)CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结,研究了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的结构和物理性能。实验发现LSCO/PZT/LSCO铁电电容器具有良好的电学性能,在417kV/cm的驱动场强下,PZT铁电电容器具有较低的矫顽场强(125kV/cm)和较高的剩余极化强度(19.0μC/cm2),良好电容-电压特性(C-V)和保持特性,铁电电容器经过1010次反转后,极化强度没有明显下降,表明了非晶NiTi薄膜可以用作高密度硅基铁电存储器的扩散阻挡层。 展开更多
关键词 铁电存储器 NITI 阻挡层 pb(zrxti1-x)o3
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组合法制备Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3铁电薄膜及性能研究
4
作者 何岗 彭超 +4 位作者 赵德森 何明中 洪建和 栗海峰 公衍生 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第4期25-29,共5页
为了系统地探讨Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)薄膜组成-结构-性能之间的规律,在室温和无蒸馏回流条件下,利用配制的前驱溶液PT(Pb和Ti的金属有机物溶液)和PZ(Pb和Zr的金属有机物溶液)及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb(... 为了系统地探讨Pb(ZrxTi1-x)O3(PZT)薄膜组成-结构-性能之间的规律,在室温和无蒸馏回流条件下,利用配制的前驱溶液PT(Pb和Ti的金属有机物溶液)和PZ(Pb和Zr的金属有机物溶液)及组合化学法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上简单快捷地制备了一系列Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜.XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为(111),晶格参数变化规律与传统方法制备的PZT薄膜的结果一致.x=0.3的前驱体在200℃附近出现特殊的热分解现象.XPS测试结果证实薄膜成分基本符合理论值,SEM结果显示薄膜界面清晰,与基片接触良好,厚度在450 nm左右.电滞回线测试表明,富钛区样品剩余极化与矫顽场都较大;近准同型相界附近样品具有良好的铁电性,剩余极化较大且矫顽场较小;富锆区样品剩余极化与矫顽场较小,出现反铁电特征. 展开更多
关键词 化学溶液分解 组合合成 pb(zrxti1-x)o3 薄膜 铁电性
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组合法制备Pb(Zr_xTi(1-x))O_3组分梯度薄膜
5
作者 彭超 何岗 +3 位作者 何明中 洪建和 栗海峰 公衍生 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第1期7-11,共5页
在无蒸馏和无惰性气氛保护的条件下,快速制备了用于组合合成Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜的前驱溶液PT和PZ。采用组合法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一系列Pb(ZrxTi1-x)O3组分梯度薄膜。经XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为(111)。SEM... 在无蒸馏和无惰性气氛保护的条件下,快速制备了用于组合合成Pb(ZrxTi1-x)O3薄膜的前驱溶液PT和PZ。采用组合法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了一系列Pb(ZrxTi1-x)O3组分梯度薄膜。经XRD分析表明,薄膜具有钙钛矿结构,择优取向为(111)。SEM结果显示薄膜厚度在500nm左右。电滞回线的测试表明,下梯度薄膜PZT-654表现出良好的铁电性能,明显优于其它薄膜。PZT-654梯度薄膜的剩余极化强度Pr为38.4μC/cm2,矫顽场Ec为75.0kV/cm,有较大的极化偏移,Poffset为12.9μC/cm2,表现出梯度铁电薄膜的特性。 展开更多
关键词 组合合成 pb(zrxti1-x)o3 组分梯度薄膜 铁电性
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硅基高度择优取向PZT厚膜的制备及性能研究
6
作者 刘保亭 程春生 +4 位作者 赵庆勋 闫正 马良 李锋 武德起 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1392-1394,共3页
应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm。研究了异质结的结构和性能。实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以... 应用溶胶-凝胶法成功地在以SrTiO3(STO)为模板/阻挡层Si(001)基片上制备了La-Sr-Co-O/Pb(Zr0.5Ti0.5)O3(PZT)/La-Sr-Co-O/STO/Si异质结,PZT的厚度为0.8μm。研究了异质结的结构和性能。实验发现,PZT结晶良好、具有(001)高度择优取向以及较高的极化强度和较小的极化强度对脉冲宽度的依赖性;当外加电压为50V时,电阻率仍>108Ω.cm。 展开更多
关键词 硅衬底 锆钛酸铅 溶胶-凝胶法 厚膜
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PZT薄膜的MOCVD制备技术 被引量：2
7
作者 阮勇 谢丹 +2 位作者 任天令 林惠旺 刘理天 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2008年第1期64-67,共4页
采用直接液体榆运-金属有机化合物化学气相沉积技术（DLI-MOCVD）制备Pb（ZrxTi1-x）O3薄膜（PZT薄膜），并进行了相关研究，通过调节MOCVD中影响PZT质量的主要工艺参数（温度、压力、系统的气体（Ar，O2）流量、衬底转速、蠕动泵速）... 采用直接液体榆运-金属有机化合物化学气相沉积技术（DLI-MOCVD）制备Pb（ZrxTi1-x）O3薄膜（PZT薄膜），并进行了相关研究，通过调节MOCVD中影响PZT质量的主要工艺参数（温度、压力、系统的气体（Ar，O2）流量、衬底转速、蠕动泵速），制备不同组分PZT薄膜（均匀性≥±95％，尺寸为2．54—20．32cm（1—8in），厚度为50—500nm）．经XRD测试可见，PZT薄膜已形成钙钛矿结构．用SEM对其表面进行分析，结果表明，PZT薄膜表面致密均匀． 展开更多
关键词 金属有机化合物化学气相沉积(MoCVD) 锆钛酸铅(PZT) 压电 铁电
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LaNiO_3衬底上Pb(Zr_xTi_(1-x))O_3铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究 被引量：2
8
作者 李建康 姚熹 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第5期512-516,共5页
报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3薄膜,再通过溶胶-凝胶(s... 报道了在镍酸镧(LaNiO3,简称LNO)衬底上锆钛酸铅[Pb(ZrxTi1-x)O3,简称PZT]铁电薄膜及其成分梯度薄膜的结构、介电性能、铁电性能以及热释电性能.首先通过金属有机化合物热分解(MOD)法在Si(100)基片上制备出LaNiO3薄膜,再通过溶胶-凝胶(sol-gel)法,在LNO/Si(100)衬底上制备出Pb(Zr0.80Ti0.20)O3[PZT(80/20)]和Pb(Zr0.20Ti0.80)O3[PZT(20/80)]铁电薄膜及其成分梯度薄膜.经俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的梯度薄膜进行了成分深度分析,结果证实成分梯度的存在.经XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.经介电频谱测试表明,梯度薄膜的介电常数比每个单元的介电常数要大,但介电损耗相近.在10kHz下,梯度薄膜的介电常数和介电损耗分别为317和0.057.经电滞回线的测试表明,梯度薄膜的剩余极化强度比每个单元都大,而矫顽场却明显较小.梯度薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为29.96μC·cm-2和54.12kV·cm-1.经热释电性能测试表明,室温下梯度薄膜的热释电系数为5.54×10-8C·cm-·2K-1,高于每个单元的热释电系数. 展开更多
关键词 LaNio3薄膜 成分梯度薄膜 锆钛酸铅 热释电系数
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压电薄膜自适应变形微反射镜阵列研究 被引量：2
9
作者 娄迪 张巍 +1 位作者 白剑 杨国光 《光电子．激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1418-1421,1425,共5页
介绍了自适应光学系统中的一种全新的基于Pb(ZrxTi1-xO3)(PZT)薄膜的微反射镜阵列。通过控制PZT薄膜两端电压实现微镜单元的微量形变,改变反射镜局部面形,校正畸变波面的波差,改善成像质量。该方案在重掺杂Si片基底上依次制备PbTiO3(PT)... 介绍了自适应光学系统中的一种全新的基于Pb(ZrxTi1-xO3)(PZT)薄膜的微反射镜阵列。通过控制PZT薄膜两端电压实现微镜单元的微量形变,改变反射镜局部面形,校正畸变波面的波差,改善成像质量。该方案在重掺杂Si片基底上依次制备PbTiO3(PT)、PZT,最后镀Al作为反射面,形成Si/PT/PZT/Al的膜层结构。对制备完全的试片在数字波面干涉仪上进行了形变测试,尽管受到了薄膜热形变作用的影响,仍实现了约1.2μm的可控形变,证明该方案用做自适应变形反射镜的可行性。 展开更多
关键词 自适应光学 变形微反射镜阵列 pb(zrxti1-xo3)(PZT)薄膜 压电效应
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