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气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜 被引量:13
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作者 张占文 李波 +2 位作者 王朝阳 余斌 林波 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第6期86-87,83,共3页
原子序数低的CH薄膜在惯性约束聚变实验用靶的制备中应用很广泛。介绍了真空气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜的实验设备、实验原理和实验方法。制备聚对二甲苯薄膜的原料在400K附近蒸发,950K附近裂解成单体,单体在300K的低温表面聚合成膜... 原子序数低的CH薄膜在惯性约束聚变实验用靶的制备中应用很广泛。介绍了真空气相沉积法制备聚对二甲苯薄膜的实验设备、实验原理和实验方法。制备聚对二甲苯薄膜的原料在400K附近蒸发,950K附近裂解成单体,单体在300K的低温表面聚合成膜。研究了薄膜厚度的计算方法,并根据实验数据推导了计算公式,从而实现了对薄膜厚度的精确控制,使其在惯性约束聚变靶制备中得以应用。 展开更多
关键词 气相沉积法 制备 聚对二甲苯薄膜 惯性约束聚变 靶材料
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Parylene敷形涂层 被引量:15
2
作者 吴礼群 《电子机械工程》 2004年第6期51-53,61,共4页
Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的... Parylene是一种性能优异的高聚合物材料,它能涂敷到各种形状的表面,例如金属、玻璃、纸张、树脂、塑料、陶瓷等。简述了Parylene涂层的性能,对Parylene涂层的沉积过程、沉积设备和Parylene涂层的应用领域进行了论述,并对Parylene涂层的性能与环氧树脂、有机硅树脂、聚氨酯涂层的性能进行了比较。 展开更多
关键词 parylene 气相沉积 敷形涂层
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硅烷偶联剂KH550对Parylene C膜与金属铝基体结合强度的影响 被引量:14
3
作者 吉祥波 鲜晓斌 +1 位作者 唐贤臣 帅茂兵 《高分子材料科学与工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期57-59,共3页
采用拉开法分析了KH550(γ-氨丙基三乙氧基硅烷)偶联剂浓度对Parylene C膜与金属铝基体间结合强度的影响,采用拉曼光谱(Raman)和红外光谱(FT-IR)分析了偶联剂在膜和基体间的作用机理。研究结果表明,使用10%的KH550偶联剂可提高Parylene ... 采用拉开法分析了KH550(γ-氨丙基三乙氧基硅烷)偶联剂浓度对Parylene C膜与金属铝基体间结合强度的影响,采用拉曼光谱(Raman)和红外光谱(FT-IR)分析了偶联剂在膜和基体间的作用机理。研究结果表明,使用10%的KH550偶联剂可提高Parylene C膜与铝基体的结合强度到7.5MPa。其增强作用机理为KH550偶联剂的烷氧基团水解后,-Si-OH与基体的Al-O键发生化学作用生成-Si-O-Al键,-NH2能与Parylene C膜分子间形成氢键,从而使Parylene C膜与金属铝之间产生化学键桥连。 展开更多
关键词 parylene C 硅烷偶联剂 结合强度
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聚对苯撑二甲基系列涂层的制备及其应用进展 被引量:13
4
作者 浦鸿汀 孙霞容 《高分子通报》 CAS CSCD 2004年第2期78-84,共7页
介绍了聚对苯撑二甲基系列涂层的制备方法和成膜机理 ,讨论了化学气相沉积聚合的主要特点 ,阐明了Parylene膜的结构与性能的关系以及几种常用Parylene膜的性能特点 。
关键词 聚对苯撑二甲基系列涂层 制备 成膜机理 化学气相沉积 性能 派拉林 印刷线路板 混合电路 阻挡层 高分子材料
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Parylene高频电路防护工艺研究进展 被引量:7
5
作者 仝晓刚 《电子工艺技术》 2011年第5期272-276,共5页
从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了Parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与Parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的... 从前处理、升华温度、裂解温度、沉积压力、基体温度和膜层厚度等方面讨论了Parylene处理技术在国内外高频电路防护方面的应用概况。重点介绍了这些工艺要素与Parylene膜层性能的相关性,并指出了膜层厚度及均匀度是影响高频电路防护的关键因素,膜层厚度需要通过试验进行确定,简要论述了Parylene膜层的沉积机理与Parylene处理技术在毫米波电路防护上应用的工艺流程。同时指出了Parylene处理技术在高频电路防护应用中存在的不足之处,为以后的研究指明了方向。 展开更多
关键词 parylene 电路防护 化学气象沉积 沉积压力
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基于Parylene的柔性微电极阵列微加工工艺研究 被引量:7
6
作者 吴义伯 侯安州 +3 位作者 倪鹤南 徐爱兰 惠春 任秋实 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期1018-1020,1036,共4页
基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一... 基底集成的柔性微电极阵列(MEAs)从一个全新的角度演绎了植入式神经系统,对神经进行电刺激并记录神经电信号。以一种新型聚合物材料聚对二甲苯(parylene)为基底,制备出了用于神经接口的柔性神经微电极阵列。采用MEMS加工技术,设计了一种基于parylene柔性神经微电极阵列的加工工艺方法,并讨论了在流片过程中的关键问题,如掩膜层的选择、电极的剥离及焊接与封装等。该柔性微电极阵列在用于视觉假体的神经接口方面具有独特的应用优势。 展开更多
关键词 柔性微电极阵列 聚对二甲苯 微加工工艺 神经接口
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沉积压力对Parylene C膜性能的影响 被引量:6
7
作者 唐贤臣 鲜晓斌 +2 位作者 吉祥波 赵宗峰 陈艳平 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期47-48,共2页
采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下... 采用X射线衍射(XRD),MOCON透湿仪等研究了不同沉积压力下制备Parylene C膜的结晶度、水蒸汽透过性、拉伸强度、雾度、透明度随沉积压力的变化规律。结果表明,随着沉积室压力升高,Parylene C膜相对结晶度、透湿性能、拉伸强度、透明度下降,雾度增大。 展开更多
关键词 parylene C 沉积压力 结晶度
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Parylene F在V频段MMIC防护上的应用
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作者 仝晓刚 《电子工艺技术》 2024年第1期18-21,共4页
为了验证Parylene F材料在V频段MMIC防护上的应用,设计了薄膜滤波器、铝基和铜基的可调放大器模块。采用真空气相沉积工艺在滤波器、放大器模块上制作Parylene F膜层。测试结果表明:5μm的膜层使滤波器中心频率向左偏移300~350 MHz,其... 为了验证Parylene F材料在V频段MMIC防护上的应用,设计了薄膜滤波器、铝基和铜基的可调放大器模块。采用真空气相沉积工艺在滤波器、放大器模块上制作Parylene F膜层。测试结果表明:5μm的膜层使滤波器中心频率向左偏移300~350 MHz,其插损、矩形系数几乎没有变化;5μm膜层使可调放大器模块增益峰值下降约0.1%~0.2%,正常态、衰减态下的增益均出现了漂移现象,但处理前后的增益曲线趋势基本一致;模块的噪声系数峰值增加了1.12~1.78 dB,正常态与衰减态下的噪声系数曲线均出现了漂移,但处理前后的噪声系数曲线趋势基本一致,且铜基腔体的噪声系数恶化较铝基腔体弱。分析结果表明,通过滤波器、可调放大器的补偿设计,可以实现Parylene F在V频段MMIC防护上的应用。 展开更多
关键词 parylene F 防护 滤波器 可调放大器
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新型涂敷材料Parylene AF_4的研究进展 被引量:5
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作者 赵宗峰 鲜晓斌 +2 位作者 唐贤臣 帅茂兵 吉祥波 《现代化工》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期23-27,共5页
Parylene AF4是一种新型的高分子敷型材料,除了拥有Parylene同系列产品的共同性能外,还具有更优异的抗紫外和抗老化性能。系统介绍了Parylene AF4环二体的合成方法、薄膜制备原理和性能参数,并对其研究的热点领域及应用前景进行了展望。
关键词 parylene AF4 涂敷材料 化学气相沉积 沉积动力学
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基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作 被引量:5
10
作者 芮岳峰 王亚军 +1 位作者 刘景全 杨春生 《纳米技术与精密工程》 EI CAS CSCD 2011年第5期422-426,共5页
在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微... 在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求. 展开更多
关键词 神经工程 MEMS parylene 微电极阵列
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Parylene膜的沉积聚合过程及其影响因素 被引量:5
11
作者 陈艳平 帅茂兵 +2 位作者 鲜晓斌 吉祥波 唐贤臣 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第F11期367-370,共4页
Parylene是一种性能优异的高分子聚合物,其制备一般采用Gorham法,即在真空条件下,将对二甲苯环二体在373K以上加热升华为气态,再经963K左右高温裂解成对二甲苯单体粒子单分子,单体进入沉积室,在基体表面沉积、聚合,形成线性的聚对二甲... Parylene是一种性能优异的高分子聚合物,其制备一般采用Gorham法,即在真空条件下,将对二甲苯环二体在373K以上加热升华为气态,再经963K左右高温裂解成对二甲苯单体粒子单分子,单体进入沉积室,在基体表面沉积、聚合,形成线性的聚对二甲苯薄膜。原料的升华与裂解速率、沉积压力、基体温度等都是影响Parylene膜沉积速率、膜结构与性能的重要因素。 展开更多
关键词 parylene 沉积 聚合
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Parylene一种最优质的三防材料 被引量:5
12
作者 杨兵论 《舰船电子工程》 2008年第2期156-158,168,共4页
介绍三防技术在国防工业中的重要性,分析Parylene涂层的真空沉积机理。
关键词 parylene 三防工艺 真空沉积
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Parylene薄膜及其在MEMS中的应用 被引量:7
13
作者 王亚军 刘景全 +2 位作者 杨春生 沈修成 郭忠元 《微纳电子技术》 CAS 2008年第7期403-410,415,共9页
介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用... 介绍了聚合物Parylene,包括其制备工艺和Parylene薄膜的图形化。着重介绍了Parylene在微流体系统的应用,包括微阀、微泵和微通道;在可植入微系统中的应用,包括人工耳蜗和视网膜假体。近来的研究表明,基于Parylene的MEMS微器件广泛应用在各种MEMS微结构、微传感器和微驱动器上,Parylene在各种完全集成微系统应用中将具有更加诱人的前景。 展开更多
关键词 聚对二甲苯 微阀 微泵 微通道 人工耳蜗 视网膜假体 微机电系统
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Parylene涂覆材料及其应用 被引量:7
14
作者 韩建栋 徐爱东 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期430-433,共4页
介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene)。首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程;接着对其特性进行了较全面阐述,该材料具有良好的物理和机械性能,具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点,并将... 介绍了一种热塑性高分子材料派瑞林(Parylene)。首先介绍了不同型号材料的分子结构和Parylene的涂覆过程;接着对其特性进行了较全面阐述,该材料具有良好的物理和机械性能,具有低摩擦系数、优良的耐溶剂性能和耐酸碱特性等突出特点,并将其综合性能和其他常用涂层性能进行了比较。介绍了Parylene涂层在MEMS领域、电子行业、医疗器械以及文物保护方面的应用,及其在微电子领域的应用前景。 展开更多
关键词 派瑞林 摩擦系数 微电子机械系统 气相沉积 涂覆材料
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聚对苯(撑)二甲基膜的化学气相沉积(CVD)聚合 被引量:7
15
作者 孙霞容 浦鸿汀 《材料导报》 EI CAS CSCD 2004年第3期54-56,53,共4页
采用化学气相沉积(CVD)聚合工艺制备的对苯撑二甲基聚合物可广泛应用在航天、航空、军工、电子、生物医学工程、控制系统、文物保护、纳米材料和磁性材料等诸多领域。综述了聚对苯(撑)二甲基系列膜的化学气相沉积聚合工艺和原理,介绍了... 采用化学气相沉积(CVD)聚合工艺制备的对苯撑二甲基聚合物可广泛应用在航天、航空、军工、电子、生物医学工程、控制系统、文物保护、纳米材料和磁性材料等诸多领域。综述了聚对苯(撑)二甲基系列膜的化学气相沉积聚合工艺和原理,介绍了底物温度和沉积舱压力等主要因素对膜沉积率的影响和膜的一些主要性能,并讨论了典型的Parylene N膜的光氧降解性能。 展开更多
关键词 聚对苯撑二甲基膜 化学气相沉积 CVD 光氧降解性能 化学结构 高分子材料
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Parylene——一种新型机载设备覆型防护涂层材料 被引量:4
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作者 王永刚 《航空精密制造技术》 北大核心 2002年第1期16-18,33,共4页
介绍一种用于机载电子设备上的新型高分子材料Parylene的汽相成膜过程和优良的防护性能。
关键词 机载电子 覆型涂覆 汽相沉积 parylene
原文传递
新型涂层Parylene薄膜表面改性研究进展 被引量:4
17
作者 张立生 周元林 +1 位作者 王恩泽 刘剑 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第10期112-114,共3页
Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分,也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料,还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一。简要介绍了Parylene薄膜的优异性能,分析了其存在的主要问题,即表面化学惰性、粘接... Parylene薄膜是电子产品包封和器件上不可缺少的组成部分,也是生物传感器上具有很好生物相容性的材料,还是投入应用的防护材料中最优秀的涂层材料之一。简要介绍了Parylene薄膜的优异性能,分析了其存在的主要问题,即表面化学惰性、粘接性能差,表面能有待进一步提高,指出表面改性是改善上述问题的有效途径;综述了国内外对Parylene薄膜表面改性研究的最新进展,并讨论了各改性方法的局限。 展开更多
关键词 涂层 parylene 表面改性 等离子体 表面能
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Fully flexible implantable neural probes for electrophysiology recording and controlled neurochemical modulation
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作者 Mohammad Hassan Malekoshoaraie Bingchen Wu +5 位作者 Daniela DKrahe Zabir Ahmed Stephen Pupa Vishal Jain Xinyan Tracy Cui Maysamreza Chamanzar 《Microsystems & Nanoengineering》 SCIE EI CSCD 2024年第3期317-333,共17页
Targeted delivery of neurochemicals and biomolecules for neuromodulation of brain activity is a powerful technique that,in addition to electrical recording and stimulation,enables a more thorough investigation of neur... Targeted delivery of neurochemicals and biomolecules for neuromodulation of brain activity is a powerful technique that,in addition to electrical recording and stimulation,enables a more thorough investigation of neural circuit dynamics.We have designed a novel,flexible,implantable neural probe capable of controlled,localized chemical stimulation and electrophysiology recording.The neural probe was implemented using planar micromachining processes on Parylene C,a mechanically flexible,biocompatible substrate.The probe shank features two large microelectrodes(chemical sites)for drug loading and sixteen small microelectrodes for electrophysiology recording to monitor neuronal response to drug release.To reduce the impedance while keeping the size of the microelectrodes small,poly(3,4-ethylenedioxythiophene)(PEDOT)was electrochemically coated on recording microelectrodes.In addition,PEDOT doped with mesoporous sulfonated silica nanoparticles(SNPs)was used on chemical sites to achieve controlled,electrically-actuated drug loading and releasing.Different neurotransmitters,including glutamate(Glu)and gamma-aminobutyric acid(GABA),were incorporated into the SNPs and electrically triggered to release repeatedly.An in vitro experiment was conducted to quantify the stimulated release profile by applying a sinusoidal voltage(0.5 V,2 Hz).The flexible neural probe was implanted in the barrel cortex of the wild-type Sprague Dawley rats.As expected,due to their excitatory and inhibitory effects,Glu and GABA release caused a significant increase and decrease in neural activity,respectively,which was recorded by the recording microelectrodes.This novel flexible neural probe technology,combining on-demand chemical release and high-resolution electrophysiology recording,is an important addition to the neuroscience toolset used to dissect neural circuitry and investigate neural network connectivity. 展开更多
关键词 parylene RECORDING RELEASE
原文传递
Enhanced performance of solution-processed carbon nanotube transparent electrodes in foldable perovskite solar cells through vertical separation of binders by using eco-friendly parylene substrate
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作者 Unsoo Kim Jeong-Seok Nam +3 位作者 Jungjin Yoon Jiye Han Mansoo Choi Il Jeon 《Carbon Energy》 SCIE EI CAS CSCD 2024年第7期83-93,共11页
The successful utilization of an eco-friendly and biocompatible parylene-C substrate for high-performance solution-processed double-walled carbon nanotube(CNT)electrode-based perovskite solar cells(PSCs)was demonstrat... The successful utilization of an eco-friendly and biocompatible parylene-C substrate for high-performance solution-processed double-walled carbon nanotube(CNT)electrode-based perovskite solar cells(PSCs)was demonstrated.Through the use of a novel inversion transfer technique,vertical separation of the binders from the CNTs was induced,rendering a stronger p-doping effect and thereby a higher conductivity of the CNTs.The resulting foldable devices exhibited a power conversion efficiency of 18.11%,which is the highest reported among CNT transparent electrode-based PSCs to date,and withstood more than 10,000 folding cycles at a radius of 0.5 mm,demonstrating unprecedented mechanical stability.Furthermore,solar modules were fabricated using entirely laser scribing processes to assess the potential of the solution-processable nanocarbon electrode.Notably,this is the only one to be processed entirely by the laser scribing process and to be biocompatible as well as eco-friendly among the previously reported nonindium tin oxide-based perovskite solar modules. 展开更多
关键词 double-walled carbon nanotubes parylene substrates perovskite modules perovskite solar cells solution-processable electrodes surfactant removal
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