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抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进
被引量：
4
1
作者
吴栋
朱日宏
+3 位作者
陈磊
何勇
王青
高志山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第6期567-571,共5页
结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动...
结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器。经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1000Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要。
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关键词
移相干涉术
主动抗振
pzt
移相器
时间响应
位移
抗振型移相干涉仪
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职称材料
移相器微位移旋转误差的分析及测试
被引量：
1
2
作者
武旭华
陈磊
颜加军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期919-923,共5页
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用...
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
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关键词
移相干涉术
虚光栅叠栅条纹法
pzt
移相器
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职称材料
基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器
3
作者
吴栋
陈磊
朱日宏
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期127-131,共5页
环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱...
环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差(或波前相位)变化进行实时补偿。通过这种闭环控制,系统能够对幅频积小于100waves*Hz的环境振动进行有效补偿,实验中获得了稳定的移相干涉条纹,保证了光学测试的正确性。
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关键词
光学测试
移相干涉仪
环境振动
振动控制器
自适应LMS算法
pzt
移相器
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职称材料
基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究
4
作者
杨帆
崔岩
+2 位作者
王子祥
于昊
梁宇鑫
《机电工程技术》
2022年第12期69-72,共4页
针对主流热光开关、静电光开关等功耗大、响应速率较慢等问题,设计出了一种以锆钛酸铅(PZT)薄膜为核心的以应力相移器驱动的MZI光开关。采用了溶胶凝胶法,在氮化硅光子芯片上制备PZT薄膜,完成应力相移器加工。为了避免PZT薄膜在高温结...
针对主流热光开关、静电光开关等功耗大、响应速率较慢等问题,设计出了一种以锆钛酸铅(PZT)薄膜为核心的以应力相移器驱动的MZI光开关。采用了溶胶凝胶法,在氮化硅光子芯片上制备PZT薄膜,完成应力相移器加工。为了避免PZT薄膜在高温结晶过程中所产生的应力导致MZI光开关出入光口龟裂,利用剥离-腐蚀工艺构建钛金属保护层,成功保证了MZI光开关出入光口的完整性。PZT薄膜作为应力相移器中的驱动结构,对PZT薄膜进行漏电流测试和铁电性能测试,实验证明PZT薄膜的加载电压达到25 V时还未击穿,这说明PZT薄膜具有优良的绝缘性;电滞回线较为饱和,说明PZT薄膜具备良好的铁电性。可以在光子芯片上制备出的PZT薄膜具有良好压电及铁电性能,且能够满足光子芯片需求。
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关键词
应力相移器
pzt
薄膜
金属保护层
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职称材料
红外移相干涉仪中移相器的非线性校正
被引量：
2
5
作者
罗秋凤
王海涛
+1 位作者
崔向群
徐欣圻
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z2期53-54,共2页
本文介绍了一种应用于红外移相干涉仪的移相器的位移分段非线性校正方法。该装置由压电晶体微位移器 PZT及其驱动电源和控制器组成 ,位移的非线性从校正前的 9.6 %降低到 0 .4%。
关键词
pzt
移相器
分段非线性校正
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职称材料
题名
抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进
被引量：
4
1
作者
吴栋
朱日宏
陈磊
何勇
王青
高志山
机构
南京理工大学电光学院
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003年第6期567-571,共5页
基金
国防军工计量"十五"重点项目资助(No.60803134)
文摘
结合移相式干涉仪主动抗振技术,提出对普通PZT光学移相器进行机械结构的优化,改善其机械响应性能并保证有足够的位移量。作为机电反馈式干涉仪抗振系统的核心部件,改进后的PZT构件用于干涉仪的移相驱动,同时又用作光学相位调制器和振动补偿器。经移相干涉仪的在线测量,PZT移相器达到了1000Hz(振动幅度为λ/2)以上的时间响应速度并获得了6μm左右的位移量,满足了干涉抗振系统的需要。
关键词
移相干涉术
主动抗振
pzt
移相器
时间响应
位移
抗振型移相干涉仪
Keywords
phase
-shifting
interferometry
active
vibration
resistance
pzt
phase
shifter
time
response
displacement
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
移相器微位移旋转误差的分析及测试
被引量：
1
2
作者
武旭华
陈磊
颜加军
机构
南京理工大学电光学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第6期919-923,共5页
基金
国防军工计量"十五"重点项目资助(60803134)
文摘
以压电陶瓷(PZT)微位移器为主要研究对象,引入一种处理静态干涉图的新方法——虚光栅移相叠栅条纹法,设计实验对一台实际使用的移相器微位移旋转误差进行测试研究,对其引起的波面旋转情况进行了定量的计算分析,并给出测试结果·用虚光栅移相叠栅条纹法处理实验中加有载频的干涉图时,不需要使用任何移相器件,可以进行动态位相的检测,整个移相过程用计算机进行控制,避免了引入额外的移相误差·
关键词
移相干涉术
虚光栅叠栅条纹法
pzt
移相器
Keywords
phase
shifting
interferometry
（PSI）
Virtual
grating
moire
fringe
method
pzt
phase
shifter
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器
3
作者
吴栋
陈磊
朱日宏
机构
镇江船艇学院自动化教研室
南京理工大学电子工程与光学技术学院
出处
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期127-131,共5页
基金
国防军工计量"十五"计划重点资助项目(J1820010002)
文摘
环境振动严重影响移相干涉测量的过程。在运用光学外差法测得移相干涉仪环境振动信号的前提下,设计了采用高速DSP芯片的振动控制器,它对电压形式的振动信号进行采样,用自适应LMS算法分析振动信号,同时输出反馈控制信号。反馈控制信号驱动PZT光学移相器对振动引起的光程差(或波前相位)变化进行实时补偿。通过这种闭环控制,系统能够对幅频积小于100waves*Hz的环境振动进行有效补偿,实验中获得了稳定的移相干涉条纹,保证了光学测试的正确性。
关键词
光学测试
移相干涉仪
环境振动
振动控制器
自适应LMS算法
pzt
移相器
Keywords
Optical
testing
phase
-shifting
interferometer
Environmental
vibration
Vibration
controller
Adaptive
LMS
algorithm
pzt
phase
shifter
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究
4
作者
杨帆
崔岩
王子祥
于昊
梁宇鑫
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
重庆联合微电子中心有限责任公司
出处
《机电工程技术》
2022年第12期69-72,共4页
文摘
针对主流热光开关、静电光开关等功耗大、响应速率较慢等问题,设计出了一种以锆钛酸铅(PZT)薄膜为核心的以应力相移器驱动的MZI光开关。采用了溶胶凝胶法,在氮化硅光子芯片上制备PZT薄膜,完成应力相移器加工。为了避免PZT薄膜在高温结晶过程中所产生的应力导致MZI光开关出入光口龟裂,利用剥离-腐蚀工艺构建钛金属保护层,成功保证了MZI光开关出入光口的完整性。PZT薄膜作为应力相移器中的驱动结构,对PZT薄膜进行漏电流测试和铁电性能测试,实验证明PZT薄膜的加载电压达到25 V时还未击穿,这说明PZT薄膜具有优良的绝缘性;电滞回线较为饱和,说明PZT薄膜具备良好的铁电性。可以在光子芯片上制备出的PZT薄膜具有良好压电及铁电性能,且能够满足光子芯片需求。
关键词
应力相移器
pzt
薄膜
金属保护层
Keywords
stress
phase
shifter
pzt
film
metal
protective
layer
分类号
TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
红外移相干涉仪中移相器的非线性校正
被引量：
2
5
作者
罗秋凤
王海涛
崔向群
徐欣圻
机构
中科院国家天文观测中心天文光学新技术实验室
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z2期53-54,共2页
文摘
本文介绍了一种应用于红外移相干涉仪的移相器的位移分段非线性校正方法。该装置由压电晶体微位移器 PZT及其驱动电源和控制器组成 ,位移的非线性从校正前的 9.6 %降低到 0 .4%。
关键词
pzt
移相器
分段非线性校正
Keywords
pzt
phase
-
shifter
Section-nonlinearity-compensation
分类号
TH75 [机械工程—仪器科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
抗振型移相干涉仪中PZT移相器的改进
吴栋
朱日宏
陈磊
何勇
王青
高志山
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
2003
4
下载PDF
职称材料
2
移相器微位移旋转误差的分析及测试
武旭华
陈磊
颜加军
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
3
基于LMS算法的移相干涉仪环境振动控制器
吴栋
陈磊
朱日宏
《光电工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
0
下载PDF
职称材料
4
基于MZI光开关上应力相移器的制备与性能研究
杨帆
崔岩
王子祥
于昊
梁宇鑫
《机电工程技术》
2022
0
下载PDF
职称材料
5
红外移相干涉仪中移相器的非线性校正
罗秋凤
王海涛
崔向群
徐欣圻
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
下载PDF
职称材料
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