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溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究 被引量:3
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作者 王根水 赖珍荃 +6 位作者 李晓军 孟祥建 孙璟兰 赵强 林铁 褚君浩 胡钧 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2003年第6期483-485,493,共4页
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密。RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁... 采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密。RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁电特性,500kV/cm的外加电场下,剩余极化为10.6μC/cm2,矫顽电场为55kV/cm。用HP4194A分析了薄膜的介电特性。100kHz时的介电常数为652。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 plt薄膜 剩余极化 介电常数
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