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溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究
被引量:
3
1
作者
王根水
赖珍荃
+6 位作者
李晓军
孟祥建
孙璟兰
赵强
林铁
褚君浩
胡钧
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第6期483-485,493,共4页
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密。RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁...
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密。RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁电特性,500kV/cm的外加电场下,剩余极化为10.6μC/cm2,矫顽电场为55kV/cm。用HP4194A分析了薄膜的介电特性。100kHz时的介电常数为652。
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关键词
溶胶-凝胶法
plt
薄膜
剩余极化
介电常数
下载PDF
职称材料
题名
溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究
被引量:
3
1
作者
王根水
赖珍荃
李晓军
孟祥建
孙璟兰
赵强
林铁
褚君浩
胡钧
机构
中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
中国科学院上海原子核研究所纳米生物医药研究室
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第6期483-485,493,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(60076029)
文摘
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了La掺杂的PbTiO3铁电薄膜(PLT),X-射线衍射测量表明PLT薄膜呈高度(100)择优取向,原子力显微镜和扫描电子显微镜测量表明制备的PLT薄膜的表面平整、结构致密。RT66A测量表明PLT薄膜有优良的铁电特性,500kV/cm的外加电场下,剩余极化为10.6μC/cm2,矫顽电场为55kV/cm。用HP4194A分析了薄膜的介电特性。100kHz时的介电常数为652。
关键词
溶胶-凝胶法
plt
薄膜
剩余极化
介电常数
Keywords
Sol-Gel
process
plt
ferroelectric
thin
films
remnant
polarization
dielectric
properties
分类号
O484 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溶胶-凝胶法制备掺镧钛酸铅铁电薄膜的研究
王根水
赖珍荃
李晓军
孟祥建
孙璟兰
赵强
林铁
褚君浩
胡钧
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003
3
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