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N_2微空心阴极放电特性及其阴极溅射的PIC/MC模拟 被引量:5
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作者 张连珠 孟秀兰 +2 位作者 张素 高书侠 赵国明 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2013年第7期252-261,共10页
采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的... 采用两维PIC/MCC模型模拟了氮气微空心阴极放电以及轰击离子(N+2,N+)的钛阴极溅射.主要计算了氮气微空心阴极放电离子(N+2,N+)及溅射原子Ti的行为分布,并研究了溅射Ti原子的热化过程.结果表明:在模拟条件下,空心阴极效应是负辉区叠加的电子震荡;在对应条件下,微空心较传统空心放电两种离子(N+2,N+)密度均大两个量级,两种离子的平均能量的分布及大小几乎相同;在放电空间N+的密度约为N+2的1/6,最大能量约大2倍;在不同参数(P,T,V)下,轰击阴极内表面的氮离子(N+2,N+)的密度近似均匀,其平均能量几乎相等;从阴极溅射出的Ti原子的初始平均能量约6.8eV,离开阴极约0.15mm处几乎完全被热化.模拟结果为N2微空心阴极放电等离子体特性的认识提供了参考依据. 展开更多
关键词 微空心阴极放电 pic mc模拟 N2等离子体
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Comparison of Simulation Methods of Ion-Atomic Collisions in PIC-MC
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作者 Valeriy Sysun Alexander Sysun +2 位作者 Vladimir Ignakhin Viktor Titov Alexander Tikhomirov 《Journal of Applied Mathematics and Physics》 2014年第13期1233-1241,共9页
The main ion-atomic collision treatment methods based on Monte-Carlo simulation are considered and discussed. We have proposed an efficient scheme for simulation of time between collisions taking into account cross-se... The main ion-atomic collision treatment methods based on Monte-Carlo simulation are considered and discussed. We have proposed an efficient scheme for simulation of time between collisions taking into account cross-section dependence on ion velocity and random generation of ion velocities and scattering angles after collisions. The developed algorithm of simulation of interval between collisions takes into account the change of relative velocity of ion-atom pair as well as the change of cross-section of collision and atomic concentration. At the same time, unlike the widely used “null-collision” method, both the probability of collision and change of particles’ state which determines this probability are taken into consideration for each particle independently in time. The simulation results according to the techniques proposed are found to be close to the theoretical values of ion drift velocities. It is revealed that the “null-collision” method results in exceeding of drift velocity in strong and intermediate fields. At the same time the proposed method of accumulation of probability under the same conditions gives values close to theoretical ones. In weak fields calculated values of drift velocity in both methods exceed theoretical values to some small extent. 展开更多
关键词 pic-mc simulation Ion-Atomic COLLISIONS DISCHARGE Plasma
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N_2-Ar射频放电表面氮化的等离子体特性模拟
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作者 孙倩 杨莹 +3 位作者 赵海涛 郝莹莹 张连珠 赵国明 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2012年第2期128-132,共5页
N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别... N2-Ar射频放电等离子体广泛应用于微电子工业的刻蚀、氮化物薄膜的制备及金属表面氮化等技术领域。开发了N2-Ar混合气体容性耦合射频放电PIC/MC自洽模型,模型主要描述了e-,N2+,N+,Ar+等主要带电粒子的行为分布。等离子体的碰撞过程分别考虑了带电粒子(e-,N2+,N+,Ar+)与基态中性N2分子和Ar原子的21种碰撞反应过程。模拟结果表明,在纯N2及N2-Ar混合气体容性耦合射频放电中,各种带电粒子的数密度都在等离子体区达到最大值,且氮分子离子为主要粒子;在N2容性耦合射频放电中,加入10%氩气时,N+平均能量有所增加,在射频电极处两种氮离子(N2+,N+)高能粒子所占比例增加。本研究对认识N2-Ar射频放电等离子体过程微观机理具重要意义。 展开更多
关键词 N2.Ar射频放电 pic/mc模型 氮等离子体
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