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低损耗有机无机混合溶胶凝胶波导的实验研究 被引量：6
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作者 庞拂飞 韩秀友 +1 位作者 蔡海文 方祖捷 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期509-512,共4页
利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜·采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物,利用旋涂的方法成膜,对其折射率,传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究·测量了波导薄膜折射率随成分... 利用有机无机混合的溶胶凝胶方法在硅基底上制备波导薄膜·采用正硅酸四乙酯和苯基三乙氧基硅烷作为反应先驱物,利用旋涂的方法成膜,对其折射率,传输损耗以及条形波导的光刻、刻蚀特性进行了研究·测量了波导薄膜折射率随成分变化的关系·实验表明,该方法工艺简单,可以获得具有较低损耗的波导薄膜·测试得到632.8nm波段的损耗系数为0.23dB/cm·采用ICP刻蚀工艺获得了较为平整的条形波导· 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 有机-无机混合波导 ICP
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