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用衍射光栅和CCD测量透明材料折射率 被引量:26
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作者 邓广安 蔡志岗 +3 位作者 张运华 徐宇科 吴水珠 周建英 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第1期99-103,共5页
介绍了一种基于衍射光栅干涉和CCD图像测量的测量透明材料折射率的方法。这种方法使用的仪器少 ,操作简单 ,配合CCD与图像处理的运用 ,尝试的两种测量方案都使精度能够达到 10 -4。两种测量方案对同一玻璃基片的测量结果基本吻合 ,而第... 介绍了一种基于衍射光栅干涉和CCD图像测量的测量透明材料折射率的方法。这种方法使用的仪器少 ,操作简单 ,配合CCD与图像处理的运用 ,尝试的两种测量方案都使精度能够达到 10 -4。两种测量方案对同一玻璃基片的测量结果基本吻合 ,而第二种测量方案的测量精度要优于第一种 ,这是因为就我们目前的实验条件而言 ,CCD判别条纹移动的精度对折射率测量的影响要小于角度测量精度对之的影响。该方法还可以测量各向同性透明薄膜样品的折射率 ,为探索新型有机薄膜的折射率及其有关特性提供便利的手段。讨论了测量的基本原理和样品的测量结果 ,并对实验方法误差进行了分析。 展开更多
关键词 衍射光栅 光学测量 折射率 透明材料 干涉 衍射 CCD图像测量 转角 光程改变量
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二元光学液晶闪耀光栅的特性分析 被引量:26
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作者 张翠玉 黄子强 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第7期1231-1235,共5页
在二元光学理论的基础上,结合波动光学理论和液晶指向矢的计算提出一种新的二元光学液晶闪耀光栅设计。对液品光栅电极施加阶梯分布的电压使之形成相位阶梯形分布,推导出液晶闪耀光栅的衍射效率。结果表明,通过改变周期单元光栅电极... 在二元光学理论的基础上,结合波动光学理论和液晶指向矢的计算提出一种新的二元光学液晶闪耀光栅设计。对液品光栅电极施加阶梯分布的电压使之形成相位阶梯形分布,推导出液晶闪耀光栅的衍射效率。结果表明,通过改变周期单元光栅电极数目而改变光栅常数,可以改变光衍射角度,一级衍射角度调节范围可达0°~10°;调节电极电压可以使特定级次衍射光效率达到90%以上,使该级次得到闪耀。 展开更多
关键词 光学器件 液品闪耀光栅 衍射效率 衍射角
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谐衍射红外双波段双焦光学系统设计 被引量:27
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作者 董科研 潘玉龙 +5 位作者 王学进 孙强 王健 张德洋 徐长明 卢振武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期764-770,共7页
基于变焦系统的基本原理,利用谐衍射透镜的相关特性并结合中波红外和长波红外的特点,设计了仅含有4片透镜的红外双波段双焦光学系统。设计结果表明,系统具有100%冷光栏效率,在3.7~4.3μm中波红外波段,光学传递函数在18lp/mm时... 基于变焦系统的基本原理,利用谐衍射透镜的相关特性并结合中波红外和长波红外的特点,设计了仅含有4片透镜的红外双波段双焦光学系统。设计结果表明,系统具有100%冷光栏效率,在3.7~4.3μm中波红外波段,光学传递函数在18lp/mm时〉0.7;在8.7~11μm长波红外波段,光学传递函数在18 lp/mm时〉0.5,均接近衍射极限。 展开更多
关键词 光学设计 红外系统 变焦系统 谐衍射 双波段
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液晶空间光调制器用于光束偏转控制的衍射效应 被引量:18
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作者 蔡冬梅 杨慧珍 +1 位作者 凌宁 姜文汉 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期491-495,共5页
液晶空间光调制器(LC-SLM)能实现光束动态偏转,而它的像素结构以及相位回卷方法造成的衍射效应使其光效率降低.通过数值仿真和实验分析了像素结构造成的衍射效应,给出了像素填充因子和衍射效率的关系.利用256 pixel×256 pixel的液... 液晶空间光调制器(LC-SLM)能实现光束动态偏转,而它的像素结构以及相位回卷方法造成的衍射效应使其光效率降低.通过数值仿真和实验分析了像素结构造成的衍射效应,给出了像素填充因子和衍射效率的关系.利用256 pixel×256 pixel的液晶空间光调制器构建动态光束偏转实验装置,使入射光束偏转不同角度时测量远场光斑强度,得到衍射效率随光束偏转角的变化关系.理论分析与实验结果表明,填充比越小,像素结构造成的衍射效应越强,衍射效率降低;当填充比为0.85时衍射效率的测量值仅为51.3%.相位回卷方法使液晶空间光调制器形成类似闪耀光栅结构,随着光束偏转角度的增大,衍射效率降低. 展开更多
关键词 光学器件 液晶空间光调制器 光束偏转 衍射
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Three-dimensional tomography of red blood cells using deep learning 被引量:19
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作者 Joowon Lim Ahmed B.Ayoub Demetri Psaltis 《Advanced Photonics》 EI CSCD 2020年第2期39-47,共9页
We accurately reconstruct three-dimensional(3-D)refractive index(RI)distributions from highly ill-posed two-dimensional(2-D)measurements using a deep neural network(DNN).Strong distortions are introduced on reconstruc... We accurately reconstruct three-dimensional(3-D)refractive index(RI)distributions from highly ill-posed two-dimensional(2-D)measurements using a deep neural network(DNN).Strong distortions are introduced on reconstructions obtained by the Wolf transform inversion method due to the ill-posed measurements acquired from the limited numerical apertures(NAs)of the optical system.Despite the recent success of DNNs in solving ill-posed inverse problems,the application to 3-D optical imaging is particularly challenging due to the lack of the ground truth.We overcome this limitation by generating digital phantoms that serve as samples for the discrete dipole approximation(DDA)to generate multiple 2-D projection maps for a limited range of illumination angles.The presented samples are red blood cells(RBCs),which are highly affected by the ill-posed problems due to their morphology.The trained network using synthetic measurements from the digital phantoms successfully eliminates the introduced distortions.Most importantly,we obtain high fidelity reconstructions from experimentally recorded projections of real RBC sample using the network that was trained on digitally generated RBC phantoms.Finally,we confirm the reconstruction accuracy using the DDA to calculate the 2-D projections of the 3-D reconstructions and compare them to the experimentally recorded projections. 展开更多
关键词 optical diffraction tomography three-dimensional imaging machine learning deep learning image reconstruction red blood cell missing cone problem
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体全息产生光学涡旋的实验研究 被引量:17
6
作者 李海莲 杨德兴 +1 位作者 任小元 赵建林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期503-507,共5页
利用全息法可产生复杂拓扑结构的光学涡旋且容易实现对涡旋态的控制,但通常情况下衍射效率较低。以掺铁铌酸锂晶体为存储介质,通过对光学涡旋的体全息存储与再现研究,在晶体几何厚度仅为0.6 mm的情况下获得了26.7%的衍射效率,且再现图... 利用全息法可产生复杂拓扑结构的光学涡旋且容易实现对涡旋态的控制,但通常情况下衍射效率较低。以掺铁铌酸锂晶体为存储介质,通过对光学涡旋的体全息存储与再现研究,在晶体几何厚度仅为0.6 mm的情况下获得了26.7%的衍射效率,且再现图像与记录前图像质量相当。根据实验参数,应用Kogelnik耦合波理论进行的计算表明,在同一种晶体和曝光参数情况下,当晶体的几何厚度达到1.23 mm时可获得100%的涡旋光衍射效率。 展开更多
关键词 衍射 光学涡旋 体全息 衍射效率 掺铁铌酸锂晶体
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幂指数相位涡旋光束用于微粒操控 被引量:16
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作者 罗伟 程书博 +1 位作者 袁战忠 陶少华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期93-97,共5页
实验验证了一种利用幂指数相位涡旋光束(PEPV)操控微粒的方法。该方法基于幂指数相位涡旋光束理论,产生不同拓扑荷数与方位角幂指数大于1的涡旋光场的相位全息图,并将该全息片经计算机输入到空间光调制器(SLM)上用于调制入射激光光束。... 实验验证了一种利用幂指数相位涡旋光束(PEPV)操控微粒的方法。该方法基于幂指数相位涡旋光束理论,产生不同拓扑荷数与方位角幂指数大于1的涡旋光场的相位全息图,并将该全息片经计算机输入到空间光调制器(SLM)上用于调制入射激光光束。利用透镜对被调制光束进行傅里叶变换,利用光阑在频域对衍射光斑进行筛选和过滤,并利用倒置高倍光学显微镜将光束成像于载物台样品上。利用该幂指数相位涡旋光束对微米级粒子实现了定向光学输运。研究结果表明,该光束在粒子的定向输送与收集方面有独特的功能,将进一步拓展光学涡旋光束的实际应用范围。 展开更多
关键词 光学设计 光学涡旋 衍射 空间光调制器 全息光镊
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计算机仿真在光学教学中的应用 被引量:14
8
作者 李瑞 刘鑫鹏 +2 位作者 徐林轩 张华 杨研 《大学物理实验》 2020年第5期113-117,共5页
随着计算机的计算能力的显著提升,计算机的仿真模拟作为一种重要的辅助工具在教学和科学研究中的应用越来越广泛。在高等学校的大学物理教学中,计算机仿真模拟与课堂教学相结合已经成为大学物理教学改革的发展趋势。近些年,利用计算机... 随着计算机的计算能力的显著提升,计算机的仿真模拟作为一种重要的辅助工具在教学和科学研究中的应用越来越广泛。在高等学校的大学物理教学中,计算机仿真模拟与课堂教学相结合已经成为大学物理教学改革的发展趋势。近些年,利用计算机的仿真模拟开展的虚拟实验室已经成为高等学校的大学物理实验教学的重要组成部分。论文分析了高等学校大学物理教学的现状,选取了大学物理教学中物理图像较为抽象的光学部分进行了仿真模拟,包括杨氏双缝干涉实验和夫琅禾费单缝衍射实验。详细地分析了将计算机仿真模拟与大学物理理论教学的结合注意事项,说明了利用仿真模拟辅助开展大学物理教学的优点和可行性。 展开更多
关键词 光学实验 干涉 衍射 数值模拟
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二元光学元件的耦合波分析 被引量:4
9
作者 张国平 叶嘉雄 李再光 《光电工程》 CAS CSCD 1997年第2期18-22,共5页
基于Maxwel方程组和电磁场的边界连续条件,本文导出了二元光学器件的严格的耦合波方程,指出各级次衍射波之间存在着相互耦合效应。用严格的耦合波衍射理论对二元位相光栅的衍射特性进行了分析,并与标量衍射理论分析的结果作了... 基于Maxwel方程组和电磁场的边界连续条件,本文导出了二元光学器件的严格的耦合波方程,指出各级次衍射波之间存在着相互耦合效应。用严格的耦合波衍射理论对二元位相光栅的衍射特性进行了分析,并与标量衍射理论分析的结果作了比较。 展开更多
关键词 光学元件 二元光学 耦合波 位相光栅 衍射分析
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衍射光栅特性研究实验 被引量:11
10
作者 赵伟 张增明 《物理实验》 2017年第10期22-25,共4页
衍射光栅特性研究实验将光栅弗琅禾费多缝衍射理论与光谱学习紧密结合,其涵盖普通物理中光波衍射、干涉和光谱等多个知识点,在大学物理光学类实验教学中占有重要的位置.本文通过实验内容安排、实验仪器和测量、实验过程重难点分析和实... 衍射光栅特性研究实验将光栅弗琅禾费多缝衍射理论与光谱学习紧密结合,其涵盖普通物理中光波衍射、干涉和光谱等多个知识点,在大学物理光学类实验教学中占有重要的位置.本文通过实验内容安排、实验仪器和测量、实验过程重难点分析和实验可扩展研究问题几个方面对衍射光栅特性研究实验进行全面介绍和深入讨论. 展开更多
关键词 衍射光栅 夫琅禾费衍射 分光计
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全息波导显示系统的实现与优化 被引量:11
11
作者 刘奡 张宇宁 +1 位作者 沈忠文 王保平 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期302-309,共8页
在全息波导近眼显示系统中,微像源发出的载像光波经过准直后,被输入耦合光栅耦合入平板波导,进一步在平板波导上下表面内进行全反射传播,到达输出端后通过输出耦合光栅衍射出波导,最终到达人眼。以真实的图像传输为目标,对全息波导光栅... 在全息波导近眼显示系统中,微像源发出的载像光波经过准直后,被输入耦合光栅耦合入平板波导,进一步在平板波导上下表面内进行全反射传播,到达输出端后通过输出耦合光栅衍射出波导,最终到达人眼。以真实的图像传输为目标,对全息波导光栅的效率、视场角等方面进行理论分析和优化设计,通过激光干涉曝光实验制作了光栅周期为197nm、光栅矢量与介质表面法线方向夹角为26°、厚度为7.5μm的全息光栅,光栅峰值效率大于80%。结合波导光学设计,进一步实现了图像的传输。 展开更多
关键词 光学器件 全息光栅 衍射 视场角
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基于丙烯酰胺为单体的红敏光致聚合物衍射效率增强的研究 被引量:8
12
作者 郭小伟 谢安东 +1 位作者 伍冬兰 朱建华 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1238-1242,共5页
目前以丙烯酰胺为单体的光聚物体系在高分辨力下衍射效率不高。从光聚物聚合机理出发,探讨了其主要原因。从单体聚合难易程度角度提出了加入新成分丙烯酸、使用聚合度低的成膜物、增加膜的厚度和优化凉板时间等四种促进单体聚合的措施... 目前以丙烯酰胺为单体的光聚物体系在高分辨力下衍射效率不高。从光聚物聚合机理出发,探讨了其主要原因。从单体聚合难易程度角度提出了加入新成分丙烯酸、使用聚合度低的成膜物、增加膜的厚度和优化凉板时间等四种促进单体聚合的措施并从实验上加以了验证。结果表明:在一定条件下,成膜物使用聚合度为341的聚乙烯醇比聚合度为1750的聚乙烯醇体系衍射效率提高了约60%;加入丙烯酸后衍射效率也提高了10%左右,且使用聚合度低的成膜物和加入丙烯酸后体系更不易结晶;厚度和凉板时间均有一个最佳范围。经过优化实验后得到了空间频率在2000 lp/mm时衍射效率大于90%,3000 lp/mm时大于55%的结果,且利用制备出的材料拍摄出透射和平面反射全息图,说明该材料适合于日益发展的全息显示。 展开更多
关键词 材料 全息显示 衍射效率 光致聚合机理 红敏光聚物
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Physics-informed neural networks for diffraction tomography 被引量:10
13
作者 Amirhossein Saba Carlo Gigli +1 位作者 Ahmed B.Ayoub Demetri Psaltis 《Advanced Photonics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期44-55,共12页
We propose a physics-informed neural network(PINN)as the forward model for tomographic reconstructions of biological samples.We demonstrate that by training this network with the Helmholtz equation as a physical loss,... We propose a physics-informed neural network(PINN)as the forward model for tomographic reconstructions of biological samples.We demonstrate that by training this network with the Helmholtz equation as a physical loss,we can predict the scattered field accurately.It will be shown that a pretrained network can be fine-tuned for different samples and used for solving the scattering problem much faster than other numerical solutions.We evaluate our methodology with numerical and experimental results.Our PINNs can be generalized for any forward and inverse scattering problem. 展开更多
关键词 deep learning physics-informed neural networks SCATTERING three-dimensional imaging optical diffraction tomography
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基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型 被引量:10
14
作者 刘晓雷 李思坤 王向朝 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期263-271,共9页
建立了一个基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型。通过等效膜层法求解含缺陷多层膜无缺陷区域和含缺陷区域不同位置的反射系数,准确快速地仿真含缺陷多层膜的衍射谱。与波导法严格仿真相比,200nm尺寸时仿真速度提高9倍... 建立了一个基于等效膜层法的极紫外光刻含缺陷掩模多层膜仿真模型。通过等效膜层法求解含缺陷多层膜无缺陷区域和含缺陷区域不同位置的反射系数,准确快速地仿真含缺陷多层膜的衍射谱。与波导法严格仿真相比,200nm尺寸时仿真速度提高9倍左右。与改进单平面近似模型和基于单平面近似的简化模型相比,该模型对衍射谱和空间像的仿真精度有了较大提高,并且仿真精度随缺陷尺寸和入射角的变化很小。以+1级衍射光为例,6°入射时,与改进单平面近似模型和简化模型相比,该模型对衍射谱振幅的仿真误差分别减小了77%和63%。 展开更多
关键词 光学设计 极紫外光刻 衍射 含缺陷多层膜 等效膜层法 改进单平面近似
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High-fidelity optical diffraction tomography of multiple scattering samples 被引量:10
15
作者 Joowon Lim Ahmed B.Ayoub +1 位作者 Elizabeth E.Antoine Demetri Psaltis 《Light(Science & Applications)》 SCIE EI CAS CSCD 2019年第1期454-465,共12页
We propose an iterative reconstruction scheme for optical diffraction tomography that exploits the split-step nonparaxial(SSNP)method as the forward model in a learning tomography scheme.Compared with the beam propaga... We propose an iterative reconstruction scheme for optical diffraction tomography that exploits the split-step nonparaxial(SSNP)method as the forward model in a learning tomography scheme.Compared with the beam propagation method(BPM)previously used in learning tomography(LT-BPM),the improved accuracy of SSNP maximizes the information retrieved from measurements,relying less on prior assumptions about the sample.A rigorous evaluation of learning tomography based on SSNP(LT-SSNP)using both synthetic and experimental measurements confirms its superior performance compared with that of the LT-BPM.Benefiting from the accuracy of SSNP,LT-SSNP can clearly resolve structures that are highly distorted in the LT-BPM.A serious limitation for quantifying the reconstruction accuracy for biological samples is that the ground truth is unknown.To overcome this limitation,we describe a novel method that allows us to compare the performances of different reconstruction schemes by using the discrete dipole approximation to generate synthetic measurements.Finally,we explore the capacity of learning approaches to enable data compression by reducing the number of scanning angles,which is of particular interest in minimizing the measurement time. 展开更多
关键词 SCATTERING optical diffraction
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多层衍射光学元件斜入射衍射效率的测量 被引量:8
16
作者 杨亮亮 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期37-42,共6页
为了验证多层衍射光学元件的衍射效率随入射角度的理论变化关系,设计并制作了一个含有多层衍射光学元件(MLDOEs)的光学系统。当次级衍射光通过孔径光阑由探测器接收时,为保证衍射效率的测量精度,提出了一级衍射能量的修正方法。利用搭... 为了验证多层衍射光学元件的衍射效率随入射角度的理论变化关系,设计并制作了一个含有多层衍射光学元件(MLDOEs)的光学系统。当次级衍射光通过孔径光阑由探测器接收时,为保证衍射效率的测量精度,提出了一级衍射能量的修正方法。利用搭建的双光路装置,在0°~30.6°范围内对该多层衍射光学元件进行了衍射效率的测量。针对设计波长532nm,选取7个入射角度测量衍射效率,并对测量结果进行了模拟和分析。由于存在一定的加工误差,在不同入射角度状态下实际测量得到的衍射效率比理论分析的结果低,但是实测与理论分析结果均表明,多层衍射光学元件的衍射效率随入射角的增大而下降。 展开更多
关键词 衍射 衍射光学 光学测量 光学器件 多层衍射光学元件 衍射效率
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基于双层衍射元件的红外双波段光学系统设计 被引量:7
17
作者 赵翔 郭岩 +1 位作者 张鹏 罗金平 《电光与控制》 北大核心 2017年第10期85-89,共5页
利用红外双波段成像能够获得更多的信息,从而提高探测和识别能力。将多层衍射光学元件应用到红外双波段光学系统中,可以校正色差、简化结构。讨论了多层衍射光学元件的成像特性,相比于单层衍射光学元件,多层衍射光学元件可在宽波段范围... 利用红外双波段成像能够获得更多的信息,从而提高探测和识别能力。将多层衍射光学元件应用到红外双波段光学系统中,可以校正色差、简化结构。讨论了多层衍射光学元件的成像特性,相比于单层衍射光学元件,多层衍射光学元件可在宽波段范围内获得高衍射效率,给出了多层衍射光学元件设计方法。基于此,设计了一种红外双波段混合成像光学系统。其中,双层衍射光学元件在3.7~4.8μm和7.7~9.5μm工作波段上的衍射效率达98.5%以上。仿真结果表明,系统像质良好,满足要求。 展开更多
关键词 折/衍混合光学系统 光学设计 衍射效率 双层衍射光学元件 红外双波段
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Direct laser writing breaking diffraction barrier based on two-focus parallel peripheralphotoinhibition lithography 被引量:9
18
作者 Dazhao Zhu Liang Xu +16 位作者 Chenliang Ding Zhenyao Yang Yiwei Qiu Chun Cao Hongyang He Jiawei Chen Mengbo Tang Lanxin Zhan Xiaoyi Zhang Qiuyuan Sun Chengpeng Ma Zhen Wei Wenjie Liu Xiang Fu Cuifang Kuang Haifeng Li Xu Liu 《Advanced Photonics》 SCIE EI CAS CSCD 2022年第6期56-63,共8页
Direct laser writing(DLW)enables arbitrary three-dimensional nanofabrication.However,the diffraction limit poses a major obstacle for realizing nanometer-scale features.Furthermore,it is challenging to improve the fab... Direct laser writing(DLW)enables arbitrary three-dimensional nanofabrication.However,the diffraction limit poses a major obstacle for realizing nanometer-scale features.Furthermore,it is challenging to improve the fabrication efficiency using the currently prevalent single-focal-spot systems,which cannot perform high-throughput lithography.To overcome these challenges,a parallel peripheral-photoinhibition lithography system with a sub-40-nm two-dimensional feature size and a sub-20-nm suspended line width was developed in our study,based on two-photon polymerization DLW.The lithography efficiency of the developed system is twice that of conventional systems for both uniform and complex structures.The proposed system facilitates the realization of portable DLW with a higher resolution and throughput. 展开更多
关键词 optical fabrication parallel direct laser writing peripheral-photoinhibition diffraction barrier breaking
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一种高性能太阳敏感器复合光学系统设计 被引量:7
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作者 江洁 温志明 +1 位作者 张广军 樊巧云 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期344-348,共5页
以夫朗禾费衍射理论为基础,结合微透镜,设计了一种高性能的数字式太阳敏感器复合光学系统。分析了光学系统的组成,建立了光学系统的数学模型,设计了光学系统的焦距、孔径和微透镜参量,并进行了成像的数值仿真。仿真结果表明,与基于掩模... 以夫朗禾费衍射理论为基础,结合微透镜,设计了一种高性能的数字式太阳敏感器复合光学系统。分析了光学系统的组成,建立了光学系统的数学模型,设计了光学系统的焦距、孔径和微透镜参量,并进行了成像的数值仿真。仿真结果表明,与基于掩模的光学系统相比,这种新型的复合光学系统成像光斑能量分布集中,保证计算光斑中心位置的高精度,使敏感器具有大视场和高精度的特点。 展开更多
关键词 光学设计 数字式太阳敏感器 微透镜 夫朗禾费衍射
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衍射微透镜注塑成型工艺参数优化及误差补偿 被引量:8
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作者 刘兴国 霍富荣 薛常喜 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2020年第5期232-239,共8页
为了制造高精度塑料衍射微透镜,提出采用Taguchi方法在大范围内选择工艺参数,通过信噪比确定显著影响微结构成型精度的工艺参数,并通过加权综合评分法进行多目标优化获得最优参数组合。结果表明保压压力、模具温度和保压时间对微结构成... 为了制造高精度塑料衍射微透镜,提出采用Taguchi方法在大范围内选择工艺参数,通过信噪比确定显著影响微结构成型精度的工艺参数,并通过加权综合评分法进行多目标优化获得最优参数组合。结果表明保压压力、模具温度和保压时间对微结构成型精度具有显著影响。为了提高衍射微结构成型精度,分析了衍射微透镜注塑成型误差的主要来源并建立了误差补偿模型。实验结果表明注塑成型的衍射微结构高度误差为5.69%,周期宽度误差为6.16%,衍射微结构的注塑成型精度获得显著提高。 展开更多
关键词 光学设计 衍射微结构 注塑成型 正交实验 多目标优化 误差补偿
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