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题名以激光散射立体角分布测量表面横向形貌参数
被引量：3
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作者
曾焱
李润华
邓华秋
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机构
华南理工大学理学院物理系
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出处
《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
2010年第1期156-159,共4页
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基金
国家自然科学基金支持项目(10874047)
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文摘
为了利用光学非接触方法测量表面横向形貌参数,从Beckmann-Kirchhoff标量散射理论出发,分析并得到了高斯粗糙表面激光散射能量的立体角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系。提出了散射光的两个特征值:经度及纬度辐射立体角密度矩,用以提取散射光能量立体角分布情况,并给出了利用数字图像信号在非傍轴远场条件下测量和计算特征值的方法。实验证明:给出的特征参数和测量方法能够得到激光散射立体角分布特征并可用于测量粗糙表面轮廓均方根斜率。
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关键词
表面粗糙度
轮廓均方根斜率
非傍轴散射
光能辐射密度
辐射立体角密度矩
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Keywords
Surface roughness
Root-mean-square slope of profile
nonparaxial scattering
Density of energy distribution
Moments of solid angle distribution of radiance
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分类号
O434.11
[机械工程—光学工程]
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题名利用散射辐射分布矩测量表面轮廓均方根斜率
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作者
曾焱
艾克拜尔江·克然木
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机构
华南理工大学理学院物理系
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出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第8期840-843,共4页
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基金
国家自然科学基金项目(No.10874047)资助
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文摘
为了利用激光散射分布测量表面粗糙度参数,从分析高斯粗糙表面非傍轴散射光能量的角分布特征与轮廓均方根斜率之间的关系,得到了利用散射角分布进行粗糙表面横向粗糙度参数的测量方法。提出了散射光的两个特征值:辐射立体角密度矩M(θ)和M(φ),用以表征散射光能量立体角分布情况,并给出了在非傍轴远场条件下的测量和计算方法。实验证明,给出的特征参数能够得到散射光能量立体角分布特征并可用于测量粗糙表面横向形貌参数。
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关键词
表面粗糙度
轮廓均方根斜率
非傍轴散射
散射辐射立体角分布
散射辐射分布矩
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Keywords
surface roughness
root-mean-square slope of profile
nonparaxial scattering
solid angle distribution moments of radiance
density of energy distribution
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分类号
O434.11
[机械工程—光学工程]
TN247
[理学—光学]
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