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等离子浸没离子注入沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究 被引量:7
1
作者 万国江 黄楠 +2 位作者 冷永祥 杨萍 陈俊英 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期904-910,共7页
采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较... 采用等离子体浸没离子注入沉积(PⅢ-D)在不锈钢基底上合成TiN薄膜。对沉积TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验,扫描电子显微镜(SEM)原位观察表明在较大塑性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现。采用划痕法测得薄膜与基体间有较强的结合力。薄膜的纳米压痕测试显示出很高的纳米硬度和弹性模量值。通过对合成TiN薄膜的TEM结构测试、AFM表面观察、AES成分结果分析,认为该合成薄膜的纳米级晶粒尺寸、致密的表面质量以及成分沿深度的分布是其具有优异的抗塑性变形性能以及高的结合强度的原因。 展开更多
关键词 纳米薄膜 机械性能 TIN 等离子体浸没离子注入沉积
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TiO_2纳米薄膜的微结构控制 被引量:9
2
作者 李谦 祝迎春 +2 位作者 毛立群 张治军 华贲 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期951-954,共4页
通过有机酸修饰的水基sol-gel法,分别制备了由层状、针形和球形纳米粒子构成的纳米二氧化钛薄膜,采用SEM、XRD、红外光谱进行了表征。研究发现,调节水解过程中钛酸四丁酯:醋酸的摩尔比,可以控制薄膜的微结构,并对其机理进行了分析。该... 通过有机酸修饰的水基sol-gel法,分别制备了由层状、针形和球形纳米粒子构成的纳米二氧化钛薄膜,采用SEM、XRD、红外光谱进行了表征。研究发现,调节水解过程中钛酸四丁酯:醋酸的摩尔比,可以控制薄膜的微结构,并对其机理进行了分析。该方法可以应用于sol-gel法制备其他纳米薄膜过程中的材料微结构控制。 展开更多
关键词 纳米薄膜 二氧化钛 溶胶-凝胶法
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聚合物前驱体法制备立方相WO_3薄膜的光电化学性质 被引量:8
3
作者 李文章 李洁 +2 位作者 王旋 张姝娟 陈启元 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第9期2343-2348,共6页
以(NH4)6W7O24·6H2O为钨源,聚乙二醇1000(PEG 1000)为配位聚合物,采用聚合物前驱体法制备了WO3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱等手段对其结构进行表征.采用循环伏安法、Mott-Schottky... 以(NH4)6W7O24·6H2O为钨源,聚乙二醇1000(PEG 1000)为配位聚合物,采用聚合物前驱体法制备了WO3薄膜,利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见(UV-Vis)吸收光谱等手段对其结构进行表征.采用循环伏安法、Mott-Schottky测试、瞬态光和稳态光电流谱等方法研究了WO3薄膜电极的光电化学性能.结果表明,制备的WO3薄膜为立方晶系,禁带宽度约为2.7eV.当热处理温度为450℃时,载流子浓度达到最大2.44×1022cm-3,平带电位为0.06V,在500W氙灯光源照射和1.2V偏压下,光电流密度为2.70mA·cm-2.进一步探讨了热处理温度对其光电性质的影响及其机理. 展开更多
关键词 立方相WO3 纳米薄膜 光电化学 聚合物前驱体
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4H-SiC纳米薄膜的微结构及其光电性质研究 被引量:3
4
作者 张洪涛 徐重阳 +4 位作者 邹雪城 王长安 赵伯芳 周雪梅 曾祥斌 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期304-309,共6页
采用新设计的电极结构的等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术 ,在高功率密度、高氢稀释比、低温、偏压及低反应气压的条件下 ,在衬底表面形成双等离子流 ,增加了衬底表面SiC的成核概率 ,增强成核作用 ,形成纳米晶 .采用高H2 等离子体... 采用新设计的电极结构的等离子体增强化学气相沉积 (PECVD)技术 ,在高功率密度、高氢稀释比、低温、偏压及低反应气压的条件下 ,在衬底表面形成双等离子流 ,增加了衬底表面SiC的成核概率 ,增强成核作用 ,形成纳米晶 .采用高H2 等离子体刻蚀弱的、扭曲的、非晶Si—C及Si—Si和Si—H等键时 ,由于H等离子体对纳米SiC晶粒与非晶态键的差异刻蚀作用 ,产生自组织生长 ,发生晶化 .Raman光谱和透射电子衍射 (TEM)的测试结果表明 ,纳米晶SiC是 4H SiC多型结构 .电子显微照片表明平均粒径为 16nm ,形状为微柱体 .实验结果指出 ,SiC纳米晶的形成必须经过偏压预处理成核 ,并且其晶化存在一个功率密度阈值 ;当低于这一功率密度阈值时 ,晶化消失 ;当超过这一阈值时 ,纳米晶含量随功率密度的提高而增加 .随着晶化作用的加强 ,电导率增加 . 展开更多
关键词 4H-SIC PECVD 纳米结构 多型薄膜 纳米电子学 光电性质 纳米薄膜 微结构 碳化硅
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柠檬酸对聚合物前驱体法制备WO_3薄膜光电性质的影响 被引量:3
5
作者 李文章 李洁 +2 位作者 王旋 黄晔 陈启元 《中南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1638-1644,共7页
以偏钨酸铵为钨源,柠檬酸为络合剂,聚乙二醇(PEG)为聚合物合成前驱体溶胶,并用浸渍提拉法在FTO导电玻璃上制备了WO3薄膜,研究配位剂柠檬酸对聚合物前驱体法制备WO3薄膜结构和光电性质的影响。采用X线衍射、拉曼光谱和场发射扫描电镜等... 以偏钨酸铵为钨源,柠檬酸为络合剂,聚乙二醇(PEG)为聚合物合成前驱体溶胶,并用浸渍提拉法在FTO导电玻璃上制备了WO3薄膜,研究配位剂柠檬酸对聚合物前驱体法制备WO3薄膜结构和光电性质的影响。采用X线衍射、拉曼光谱和场发射扫描电镜等手段研究薄膜的相组成及表面形貌,借助标准三电极体系进行了光电化学测试,并进一步讨论了柠檬酸对WO3薄膜光电性能影响机理。结果表明:CA和W摩尔比为0,0.5,1.0和2.0条件下薄膜表面颗粒平均尺寸分别为60,80,110和115 nm,500 W氙灯照射1.2 V(vs Ag/AgCl)偏压条件下,光电流密度分别为2.4,3.2,3.4和3.5 mA/cm2;柠檬酸的加入有效地改变了薄膜的表面形貌,较高的表面粗糙度和较大的颗粒使得WO3薄膜电极有更好的光电性能。 展开更多
关键词 柠檬酸 三氧化钨 纳米薄膜 光电化学
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立方相WO3薄膜的制备及表征 被引量:1
6
作者 李文章 李洁 +2 位作者 王旋 肖娟 陈启元 《无机材料学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第12期1318-1324,共7页
以偏钨酸铵(NH_4)_6W_4O_(24)·6H_2o为钨源,聚乙二醇(PEG)为配位聚合物,采用聚合物前驱体法制备了立方晶相WO_3(c-WO_3)薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、能谱分析及高分辨透射电镜等手段对结构进行了表征,并考察了煅烧温度、溶液pH... 以偏钨酸铵(NH_4)_6W_4O_(24)·6H_2o为钨源,聚乙二醇(PEG)为配位聚合物,采用聚合物前驱体法制备了立方晶相WO_3(c-WO_3)薄膜,利用X射线衍射、扫描电镜、能谱分析及高分辨透射电镜等手段对结构进行了表征,并考察了煅烧温度、溶液pH值及镀膜衬底对WO_3薄膜晶体结构与形貌的影响.结果表明,以FTO导电玻璃为衬底,450℃热处理3 h的样品为c-WO_3,薄膜光滑平整,均匀良好,表面颗粒粒径为60 nm,厚度为2.9μm,晶体生长有序度较高;热处理温度在400~550℃和不同pH值条件下制得的薄膜均为立方晶体结构;样品的颗粒粒径随前驱体溶胶pH值升高而减小;以石英玻璃和石墨衬底镀膜得到的样品均为单斜晶体结构,表明衬底对WO_3薄膜晶体结构具有明显的影响. 展开更多
关键词 立方相WO3 纳米薄膜 聚合物前驱体法
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涤纶机织物基纳米金属薄膜的AFM分析和紫外线防护性能 被引量:3
7
作者 袁小红 魏取福 +1 位作者 陈东生 徐文正 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2015年第5期140-143,共4页
在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用原子力显微镜(AFM)分析溅射时间、溅射功率和气体压强等工艺参数对纳米金属薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响,研究了溅射工艺参数与样品紫外线防护性能之间的关系。结果表... 在室温条件下采用磁控溅射技术在涤纶机织物表面沉积金属薄膜,利用原子力显微镜(AFM)分析溅射时间、溅射功率和气体压强等工艺参数对纳米金属薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响,研究了溅射工艺参数与样品紫外线防护性能之间的关系。结果表明:同等工艺参数条件下,镀Ag膜试样的表面粗糙度要比镀Cu试样小很多,表面相对较为平整。溅射时间对镀Cu膜试样的表面粗糙度和紫外线防护性能影响最大,而溅射功率对镀Ag膜试样的表面粗糙度和紫外线防护性能影响最大,并分别给出了溅射Cu膜和Ag膜的最佳工艺参数。 展开更多
关键词 涤纶机织物 纳米金属薄膜 AFM分析 紫外线防护性能
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氩气压强对涤纶织物表面溅射银膜特性的影响 被引量:2
8
作者 孟灵灵 魏取福 黄新民 《纺织学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期29-33,共5页
以涤纶纺粘非织造布和平纹布为基底,高纯银为靶材,采用射频磁控溅射法制备纳米银薄膜,研究真空室氩气压强对纳米银膜表面形貌、样品透光性能和导电性能影响。结果表明:以涤纶纺粘非织造布为基底,氩气压强为0.3 Pa时,银膜表面粗糙度和颗... 以涤纶纺粘非织造布和平纹布为基底,高纯银为靶材,采用射频磁控溅射法制备纳米银薄膜,研究真空室氩气压强对纳米银膜表面形貌、样品透光性能和导电性能影响。结果表明:以涤纶纺粘非织造布为基底,氩气压强为0.3 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.6 Pa时,银膜导电性能最佳;以涤纶平纹布为基底,氩气压强为0.6 Pa时,银膜表面粗糙度和颗粒尺寸最大,团聚生长最明显,压强为0.3 Pa时,银膜导电性能最佳;沉积纳米银膜的样品对紫外光有较强的吸收能力,氩气压强的变化对样品屏蔽紫外线效果不明显。 展开更多
关键词 射频磁控溅射 纳米银膜 涤纶织物 原子力显微镜 透光性能 导电性能
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Electron emission degradation of nano-structured sp^2-bonded amorphous carbon films 被引量:1
9
作者 鲁占灵 王昶清 +2 位作者 贾瑜 张兵临 姚宁 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2007年第3期843-847,共5页
The initial field electron emission degradation behaviour of original nano-structured sp^2-bonded amorphous carbon films has been observed, which can be attributed to the increase of the work function of the film in t... The initial field electron emission degradation behaviour of original nano-structured sp^2-bonded amorphous carbon films has been observed, which can be attributed to the increase of the work function of the film in the field emission process analysed using a Fowler-Nordheim plot. The possible reason for the change of work function is suggested to be the desorption of hydrogen from the original hydrogen termination film surface due to field emission current-induced local heating. For the explanation of the emission degradation behaviour of the nano-structured sp2-bonded amorphous carbon film, a cluster model with a series of graphite (0001) basal surfaces has been presented, and the theoretical calculations have been performed to investigate work functions of graphite (0001) surfaces with different hydrogen atom and ion chemisorption sites by using first principles method based on density functional theory-local density approximation. 展开更多
关键词 nano-structured sp^2-bonded amorphous carbon film field emission work function
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Deposition mechanism of nano-structured single-layered C_(36) film on a diamond (100) crystal plane
10
作者 陈明君 梁迎春 +1 位作者 袁屹杰 李旦 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2008年第11期4260-4267,共8页
The Brenner-LJ potential is adopted to describe the interaction between C36 clusters and diamond surface, and the deposition mechanism of multi-C36 clusters on the diamond surface is also studied by using the method o... The Brenner-LJ potential is adopted to describe the interaction between C36 clusters and diamond surface, and the deposition mechanism of multi-C36 clusters on the diamond surface is also studied by using the method of molecular dynamics simulation. The simulation results show that the competition effects of two interactions, i.e. the interaction between cluster and cluster and the interaction between cluster and crystal plane, are studied, and then the influence of these competition effects on C36 cluster deposition is analysed. The finding is that when an incident energy is appropriately chosen, C36 clusters can be chemically adsorbed and deposited steadily on the diamond surface in the form of single-layer, and in the deposition process the multi-C36 clusters present a phenomenon of energy transmission. The experimental result shows that at a temperature of 300K, in order to deposit C36 clusters into a steady nanostructured single-layered film, the optimal incident energy is between 10 and 18 eV, if the incident energy is larger than 18 eV, the C36 clusters will be deposited into an island nano-structured film. 展开更多
关键词 C36 clusters Brenner-LJ potential nano-structured single-layered film competition effect
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溅射与水热混合法制备ZnO纳米结构薄膜的异常光致发光特性(英文) 被引量:1
11
作者 王艳 张淑仪 +1 位作者 周凤梅 杨跃涛 《南京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2011年第2期218-226,共9页
用一种混合方法用来制备ZnO纳米结构薄膜,首先利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积ZnO薄膜作为种子层,然后用水热方法合成ZnO纳米结构薄膜.为研究ZnO纳米结构薄膜的特性,利用X——射线衍射(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形... 用一种混合方法用来制备ZnO纳米结构薄膜,首先利用射频磁控溅射法在玻璃衬底上沉积ZnO薄膜作为种子层,然后用水热方法合成ZnO纳米结构薄膜.为研究ZnO纳米结构薄膜的特性,利用X——射线衍射(XRD)及扫描电子显微镜(SEM)对薄膜的结构和形貌进行分析,并用X——光电子能谱技术(XPS)对薄膜的化学组份进行分析,最后利用光致发光方法(PL)对ZnO薄膜的发光性能进行了研究.从XRD谱图中可以看出,无论溅射的ZnO种子层还是水热合成ZnO纳米结构薄膜均为良好c轴(002)结晶状态的六角纤锌矿结构.从SEM图像看出,磁控溅射ZnO种子层为连续平整的膜状结构;而经过水热处理后则得到垂直于衬底的六角纳米棒和纳米片两种不同形貌的结构.XPS分析现示,在ZnO种子层中,锌和氧的比例基本上为1,说明磁控溅射ZnO晶体质量较好;而ZnO纳米结构薄膜中存在明显的氧空位缺陷.值得提出的是ZnO纳米薄膜光致发光谱存在异常的特性,采用波长为325 nm的He-Cd激光激发出可见光范围(500~700 nm)内的发光带,强度最强的是橙——红色的光(~600 nm),且肉眼可直接观察到.随着激发光波长在280~380 nm范围内变化,橙——红色光的强度首先增加后减小,在激发光波长350 nm处,强度达到极大,且极大发射的波长出现红移.进一步,结合上述XPS结果以解释这种强可见光的发射,可以认为主要是由薄膜中与氧空位有关的缺陷造成. 展开更多
关键词 ZnO纳米结构薄膜 射频磁控溅射 水热合成 光致发光谱
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纳米结构和薄膜材料的拉曼 布里渊研究(英文) 被引量:3
12
作者 程光煦 《光散射学报》 北大核心 2010年第3期196-206,共11页
在过去三十年中,对多种纳米结构和薄膜材料进行了拉曼 布里渊散射的研究.得到一些特征量的变化,如半高宽,峰位的改变;由此可得系列微结构参量.由于纳米(含薄膜)结构的基本特征:小,大,多,断和(相)移;即小的尺度,大的体表比,多的界面,断... 在过去三十年中,对多种纳米结构和薄膜材料进行了拉曼 布里渊散射的研究.得到一些特征量的变化,如半高宽,峰位的改变;由此可得系列微结构参量.由于纳米(含薄膜)结构的基本特征:小,大,多,断和(相)移;即小的尺度,大的体表比,多的界面,断裂的波矢和相位的偏移的特证,在非弹性光散射谱中得到明显的展示:多种无序结构特征;三叉晶界特征;波矢断裂引发的折迭,由此形成的频隙;光学声子的带隙;相位偏移或失配在谱中的表现为过阻尼特征等.此外,本文还给出了该领域中非弹性光散射的某些概念. 展开更多
关键词 纳米结构 薄膜材料 拉曼 布里渊 散射
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