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N_2^+离子在氮直流辉光放电中碰撞离解的作用
被引量：
8
1
作者
张连珠
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期920-924,共5页
采用氮辉光放电等离子体快电子和各种重粒子 (N+2 ,N+ ,Nf)的混合MonteCarlo模型 ,从不同放电条件的离解碰撞率 ,快原子态粒子 (N+ ,Nf)在阴极鞘层区的输运过程及轰击阴极的能量及角分布三个方面研究了N+2 +N2 →N+ +N +N2f反应在氮气...
采用氮辉光放电等离子体快电子和各种重粒子 (N+2 ,N+ ,Nf)的混合MonteCarlo模型 ,从不同放电条件的离解碰撞率 ,快原子态粒子 (N+ ,Nf)在阴极鞘层区的输运过程及轰击阴极的能量及角分布三个方面研究了N+2 +N2 →N+ +N +N2f反应在氮气直流辉光放电中的作用 .该过程在电压较高时为阴极鞘层区的重要离解过程 ,且主要发生在阴极附近 ,其碰撞率随电压和气压增加而增加 ;阴极表面附近的活性粒子 (N+ ,Nf)主要由该离解过程产生 (而不是e- N2 离解电离过程 ) ,而且这些粒子具有中等的平均能量且小角入射 ,是阴极表面氮化反应中主要原子态粒子 .
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关键词
氮直流辉光放电
碰撞离解
离解碰撞率
等离子体
MO
n
TE
CARLO模拟
原文传递
温度对氮活性粒子(N^+,N_f)轰击阴极壁的影响
2
作者
何琪
张连珠
孔令宜
《河北师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2003年第2期144-146,151,共4页
采用蒙特卡罗方法 ,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N+2 电荷交换离解过程 ,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律 .结果表明 :阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大 ,最佳放...
采用蒙特卡罗方法 ,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N+2 电荷交换离解过程 ,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律 .结果表明 :阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大 ,最佳放电温度与参数 (P ,Vc)相关联 .模拟结果为等离子体与材料表面的相互作用过程的认识提供了依据 .
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关键词
阴极壁
氮直流辉光放电
MO
n
TE-CARLO模拟
活性氮粒子
n
2
^+-
n
2
s离解反应
能量分布
气体温度
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职称材料
题名
N_2^+离子在氮直流辉光放电中碰撞离解的作用
被引量：
8
1
作者
张连珠
机构
河北师范大学物理系
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期920-924,共5页
基金
河北省自然科学基金 (批准号 :10 0 0 64 )资助的课题~~
文摘
采用氮辉光放电等离子体快电子和各种重粒子 (N+2 ,N+ ,Nf)的混合MonteCarlo模型 ,从不同放电条件的离解碰撞率 ,快原子态粒子 (N+ ,Nf)在阴极鞘层区的输运过程及轰击阴极的能量及角分布三个方面研究了N+2 +N2 →N+ +N +N2f反应在氮气直流辉光放电中的作用 .该过程在电压较高时为阴极鞘层区的重要离解过程 ,且主要发生在阴极附近 ,其碰撞率随电压和气压增加而增加 ;阴极表面附近的活性粒子 (N+ ,Nf)主要由该离解过程产生 (而不是e- N2 离解电离过程 ) ,而且这些粒子具有中等的平均能量且小角入射 ,是阴极表面氮化反应中主要原子态粒子 .
关键词
氮直流辉光放电
碰撞离解
离解碰撞率
等离子体
MO
n
TE
CARLO模拟
Keywords
n
itroge
n
dc
glow
discharge
Mo
n
te
Carlo
simulatio
n
n
-
2
(+)-
n
-
2
dissciation
reaction
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
O53 [理学—物理]
原文传递
题名
温度对氮活性粒子(N^+,N_f)轰击阴极壁的影响
2
作者
何琪
张连珠
孔令宜
机构
河北师范大学物理学院
出处
《河北师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2003年第2期144-146,151,共4页
基金
河北省自然科学基金资助项目 ( 10 0 0 6 4)
文摘
采用蒙特卡罗方法 ,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N+2 电荷交换离解过程 ,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律 .结果表明 :阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大 ,最佳放电温度与参数 (P ,Vc)相关联 .模拟结果为等离子体与材料表面的相互作用过程的认识提供了依据 .
关键词
阴极壁
氮直流辉光放电
MO
n
TE-CARLO模拟
活性氮粒子
n
2
^+-
n
2
s离解反应
能量分布
气体温度
Keywords
n
itroge
n
dc
glow
discharge
Mo
n
te-Carlo
simulatio
n
active
n
itroge
n
species
n
2
+-
n
2
s
dissciation
reaction
分类号
O461.21 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
N_2^+离子在氮直流辉光放电中碰撞离解的作用
张连珠
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
8
原文传递
2
温度对氮活性粒子(N^+,N_f)轰击阴极壁的影响
何琪
张连珠
孔令宜
《河北师范大学学报（自然科学版）》
CAS
2003
0
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职称材料
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