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温度对氮活性粒子(N^+,N_f)轰击阴极壁的影响
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作者 何琪 张连珠 孔令宜 《河北师范大学学报（自然科学版）》 CAS 2003年第2期144-146,151,共4页
采用蒙特卡罗方法 ,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N+2 电荷交换离解过程 ,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律 .结果表明 :阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大 ,最佳放... 采用蒙特卡罗方法 ,模拟研究了氮直流辉光放电电子碰撞、离解和N+2 电荷交换离解过程 ,产生的活性粒子 (N+,Nf)轰击阴极壁的能量分布随放电气体温度的变化规律 .结果表明 :阴极壁处活性粒子 (N+,Nf)的能量最高且粒子数密度最大 ,最佳放电温度与参数 (P ,Vc)相关联 .模拟结果为等离子体与材料表面的相互作用过程的认识提供了依据 . 展开更多
关键词 阴极壁 氮直流辉光放电 MOnTE-CARLO模拟 活性氮粒子 n2^+-n2s离解反应 能量分布 气体温度
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