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低温等离子体放电的数值模型
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作者 胡庆 蒙林 +2 位作者 鄢阳 高荣 袁家德 《成都大学学报(自然科学版)》 2006年第3期178-182,共5页
综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型,以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象,同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领... 综述了迄今为止各种分析低温等离子体放电物理过程的数值模型,以帮助我们从数值模型出发理解许多至今仍无法解释的现象,同时也为低温等离子体在等离子体处理技术、气体激光等工业应用以及在微电子、材料制备、环保、航空航天、军事等领域的应用提供了研究方法. 展开更多
关键词 数值模型 低温等离子体放电 动力学模型 流体模型 蒙特卡罗模型(简称mc) 混和模型
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