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阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量
被引量：
5
1
作者
罗志勇
杨丽峰
+3 位作者
顾英姿
郭立功
丁京安
陈朝晖
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第3期211-215,共5页
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量...
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7。
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关键词
计量学
阿伏加德罗常数
密度基准
五幅算法
单晶硅球
相移法
标准具
下载PDF
职称材料
题名
阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量
被引量：
5
1
作者
罗志勇
杨丽峰
顾英姿
郭立功
丁京安
陈朝晖
机构
中国计量科学研究院
出处
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008年第3期211-215,共5页
基金
科技部科技基础性工作专项(2002DEA20014)
文摘
基于改进型五幅算法,利用压力扫描原理设计出腔长可变式法-珀标准具和柔性铰链微位移平台,实现了标准具腔长和硅球表面与标准具之间的相移测量,建立了一套技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统。该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm,单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7。
关键词
计量学
阿伏加德罗常数
密度基准
五幅算法
单晶硅球
相移法
标准具
Keywords
Metrology
Avogadro
constant
Density
primary
standard
Five-inlerferogram
algorithm
monocrystal
silicon
sphere
Phase
shift
algorithm
Etalon
分类号
TB933 [一般工业技术—计量学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
阿伏加德罗常数测量中单晶硅密度的绝对测量
罗志勇
杨丽峰
顾英姿
郭立功
丁京安
陈朝晖
《计量学报》
CSCD
北大核心
2008
5
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