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电子回旋共振离子源的研制及应用
被引量：
1
1
作者
刘仲阳
孙官清
+1 位作者
张大忠
陈剑宣
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第6期343-347,共5页
描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，利用合适的三层微波输入窗（石英、Al2O3rap瓷和BN）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振...
描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，利用合适的三层微波输入窗（石英、Al2O3rap瓷和BN）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（87．5mT）和约束等离子的轴向磁场。利用本源离解CH4—NH3制备成三种C：N膜，经真空退火后，其中两种C：N膜裂解成不同粗细的团簇纤维。
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关键词
ECR
离子源
微波输入窗
C:N团簇纤维
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职称材料
题名
电子回旋共振离子源的研制及应用
被引量：
1
1
作者
刘仲阳
孙官清
张大忠
陈剑宣
机构
四川大学原子核科学技术研究所教育部辐射物理及技术开放实验室
出处
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999年第6期343-347,共5页
基金
国防科工委资助
文摘
描述了一台电子回旋共振离子源的设计、结构及特性。为了获得离子源的长寿命、较高的等离子密度以及高效的传输微波功率，利用合适的三层微波输入窗（石英、Al2O3rap瓷和BN）是很有效的。采用两个带有磁轭的螺线管线圈能够产生满足共振条件（87．5mT）和约束等离子的轴向磁场。利用本源离解CH4—NH3制备成三种C：N膜，经真空退火后，其中两种C：N膜裂解成不同粗细的团簇纤维。
关键词
ECR
离子源
微波输入窗
C:N团簇纤维
Keywords
ECR
ion
source
microwave
introduction
window
Magnetic
C:N
cluster
fiber
分类号
TL503.3 [核科学技术—核技术及应用]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子回旋共振离子源的研制及应用
刘仲阳
孙官清
张大忠
陈剑宣
《核技术》
CAS
CSCD
北大核心
1999
1
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