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利用试验设计方法表征微电路工艺设备
被引量：
4
1
作者
游海龙
贾新章
+1 位作者
徐岚
陈光炳
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期382-385,共4页
随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备...
随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备的表征,建立了氧化膜厚度以及厚度均匀性的工艺模型,可进一步用于工艺条件的优化设计。
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关键词
试验设计
微电路工艺
工艺模型
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职称材料
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
被引量：
2
2
作者
游海龙
贾新章
+1 位作者
徐岚
陈光炳
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期398-402,共5页
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归...
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归模型满足上述假设。结果表明:数据转换的建模方法能满足方差分析的假设(违反度减轻),并且能更多发掘数据信息,氧化膜厚的模型拟合修正判定系数R2由93.54%增加到98.64%。所得模型用于优化工艺条件,在满足膜厚目标下,非均匀性由0.2%减小到0.08%。文中讨论的基于数据转换的建模方法可以用于半导体制造其他工艺。
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关键词
部分要因试验设计
微电路工艺
Box—Cox转换
方差分析假设
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职称材料
微电路模块板级磁芯组装失效机理与工艺设计
被引量：
1
3
作者
黄国平
汤春江
+1 位作者
李刚
唐锴
《现代电子技术》
2023年第4期7-12,共6页
板级磁芯是国防军工及航空航天领域使用的微电路模块的重要组成部分,其组装的可靠性对产品性能起着至关重要的作用。为从根源上解决板级磁芯粘接的可靠性问题,文中通过分析板级磁芯粘接失效机理,创新性地引入可靠的磁芯粘接胶和新的灌...
板级磁芯是国防军工及航空航天领域使用的微电路模块的重要组成部分,其组装的可靠性对产品性能起着至关重要的作用。为从根源上解决板级磁芯粘接的可靠性问题,文中通过分析板级磁芯粘接失效机理,创新性地引入可靠的磁芯粘接胶和新的灌封工艺设计,对磁芯粘接胶和灌封工艺进行针对性的探索;并采用含玻珠的新磁芯粘接胶对板级磁芯进行粘接,淘汰真空浸入式灌封而采用新的旋转灌封工艺,形成高可靠的板级磁芯组装工艺技术,彻底地解决板级磁芯粘接面开裂的问题。研究得出:板级磁芯组装失效的根源是磁芯粘接力不足以抵抗环境试验和产品内部的灌封胶应力,采用新型板级磁芯粘接胶、改进灌封方式和磁芯填充工艺是避免板级磁芯组装失效的有效工艺途径。
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关键词
微电路模块
板级磁芯
磁芯粘接
旋转灌封
组装工艺
组装失效
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职称材料
基于广义回归神经网络的微电路工艺设备表征
4
作者
游海龙
贾新章
张春福
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期911-914,共4页
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧...
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧化膜厚以及均匀性为目标值的热氧化工艺模型,最后利用信噪比函数对模型的拟合以及预测能力进行了验证与比较分析.结果表明,该方法建立的模型可用于工艺表征与控制.所讨论的方法可用于其他微电路工艺设备的表征.
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关键词
微电路工艺设备
广义回归神经网络
信噪比函数
试验设计
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职称材料
题名
利用试验设计方法表征微电路工艺设备
被引量：
4
1
作者
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
机构
西安电子科技大学微电子学院
宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
模拟集成电路国家重点实验室
出处
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期382-385,共4页
基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
文摘
随着现代微电路工艺技术和设备性能的提高,许多工艺涉及6个或更多的工艺条件输入,而且这些工艺条件之间存在更多的交互效应。为了表征设备特性并优化工艺条件,文章利用部分要因试验设计方法安排试验方案,实现了对实际氧化工艺特定设备的表征,建立了氧化膜厚度以及厚度均匀性的工艺模型,可进一步用于工艺条件的优化设计。
关键词
试验设计
微电路工艺
工艺模型
Keywords
Design
of
experiment
（DOE）
microcircuit
process
process
model
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
被引量：
2
2
作者
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
机构
西安电子科技大学微电子学院
模拟集成电路国家重点实验室
出处
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期398-402,共5页
基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
文摘
(利用部分要因试验设计与数据转换表征微电路工艺设备)。因为试验数据的尺度效应和测量的固有属性,试验数据常违反模型误差的正态和一致性假设。通过BOX-COX数据转换分析,确定热氧化工艺目标值的最优转换形式,针对转换后数据建立的回归模型满足上述假设。结果表明:数据转换的建模方法能满足方差分析的假设(违反度减轻),并且能更多发掘数据信息,氧化膜厚的模型拟合修正判定系数R2由93.54%增加到98.64%。所得模型用于优化工艺条件,在满足膜厚目标下,非均匀性由0.2%减小到0.08%。文中讨论的基于数据转换的建模方法可以用于半导体制造其他工艺。
关键词
部分要因试验设计
微电路工艺
Box—Cox转换
方差分析假设
Keywords
fractional
factorial
experimental
design
microcircuit
process
Box-Cox
transformation
assumption
for
variance
analysis
分类号
TN406 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN306
下载PDF
职称材料
题名
微电路模块板级磁芯组装失效机理与工艺设计
被引量：
1
3
作者
黄国平
汤春江
李刚
唐锴
机构
华东微电子技术研究所微系统安徽省重点实验室
出处
《现代电子技术》
2023年第4期7-12,共6页
基金
军用电子元器件科研项目(2006ZYTH0013)。
文摘
板级磁芯是国防军工及航空航天领域使用的微电路模块的重要组成部分,其组装的可靠性对产品性能起着至关重要的作用。为从根源上解决板级磁芯粘接的可靠性问题,文中通过分析板级磁芯粘接失效机理,创新性地引入可靠的磁芯粘接胶和新的灌封工艺设计,对磁芯粘接胶和灌封工艺进行针对性的探索;并采用含玻珠的新磁芯粘接胶对板级磁芯进行粘接,淘汰真空浸入式灌封而采用新的旋转灌封工艺,形成高可靠的板级磁芯组装工艺技术,彻底地解决板级磁芯粘接面开裂的问题。研究得出:板级磁芯组装失效的根源是磁芯粘接力不足以抵抗环境试验和产品内部的灌封胶应力,采用新型板级磁芯粘接胶、改进灌封方式和磁芯填充工艺是避免板级磁芯组装失效的有效工艺途径。
关键词
微电路模块
板级磁芯
磁芯粘接
旋转灌封
组装工艺
组装失效
Keywords
microcircuit
module
board-level
magnetic
cores
magnetic
core
bonding
rotary
potting
assembly
process
assembly
failure
分类号
TN304.7-34 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
基于广义回归神经网络的微电路工艺设备表征
4
作者
游海龙
贾新章
张春福
机构
西安电子科技大学宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室
出处
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第6期911-914,共4页
基金
模拟集成电路国家重点实验室基金资助项目(51439040103DZ0102)
文摘
为了使用较少的工艺试验建立更高精度的模型描述微电路工艺的复杂性与非线性,将神经网络技术与统计试验设计相结合代替传统的统计方法应用于微电路热氧化工艺设备的表征.通过试验设计安排15轮试验,然后基于广义回归神经网络建立了以氧化膜厚以及均匀性为目标值的热氧化工艺模型,最后利用信噪比函数对模型的拟合以及预测能力进行了验证与比较分析.结果表明,该方法建立的模型可用于工艺表征与控制.所讨论的方法可用于其他微电路工艺设备的表征.
关键词
微电路工艺设备
广义回归神经网络
信噪比函数
试验设计
Keywords
microcircuit
process
equipment
generalized
regression
neural
network
signal
noise
ratio
design
of
experiment
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
利用试验设计方法表征微电路工艺设备
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
《微电子学》
CAS
CSCD
北大核心
2005
4
下载PDF
职称材料
2
BOX-COX变换与微电路工艺设备表征
游海龙
贾新章
徐岚
陈光炳
《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
2005
2
下载PDF
职称材料
3
微电路模块板级磁芯组装失效机理与工艺设计
黄国平
汤春江
李刚
唐锴
《现代电子技术》
2023
1
下载PDF
职称材料
4
基于广义回归神经网络的微电路工艺设备表征
游海龙
贾新章
张春福
《西安电子科技大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
0
下载PDF
职称材料
已选择
0
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