期刊文献+
共找到824篇文章
< 1 2 42 >
每页显示 20 50 100
微机电系统的发展及其应用 被引量:27
1
作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《纳米技术与精密工程》 CAS CSCD 2004年第2期117-123,共7页
微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是面向 2 1世纪的高新科技 .介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容 ,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细... 微机电系统是在微电子技术基础上产生和发展起来的多学科交叉的前沿科学研究领域 ,是面向 2 1世纪的高新科技 .介绍了微机电系统产生的背景影响、组成特征和基础研究内容 ,综述了微机电系统技术基础所涉及的材料、微机械设计和模、微细加工技术以及微封装与测试等领域 ,并对微机电系统的应用、典型的微器件、国内外的发展现状及前景进行全面分析 .在此基础上 。 展开更多
关键词 微机电系统 微加工技术 微型传感器 微电子技术 半导体材料加工
下载PDF
一种新型的MEMS单矢量水听器研究 被引量:25
2
作者 陈尚 薛晨阳 +1 位作者 张斌珍 谢斌 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期673-677,共5页
依据压阻效应原理,利用微电子机械系统(MEMS)制作技术设计并制作出一种新型的水声接收换能器—MEMS单矢量水听器,期望利用敏感材料的压阻效应以及水听器精巧的微结构,实现矢量水听器的低频特性和小型化。通过有限元软件ANSYS对水听器微... 依据压阻效应原理,利用微电子机械系统(MEMS)制作技术设计并制作出一种新型的水声接收换能器—MEMS单矢量水听器,期望利用敏感材料的压阻效应以及水听器精巧的微结构,实现矢量水听器的低频特性和小型化。通过有限元软件ANSYS对水听器微结构进行了静态仿真,利用MEMS微机械加工工艺制作出水听器微结构并对水听器进行了封装,采用振动台标定和水下驻波场测试相结合的方法完成了水听器的测试。测试结果表明:结合压阻效应原理和MEMS技术制作矢量水听器具有可行性。该水听器不但体积小、质量轻、结构简单,而且具有"8"字型的指向特性,单个水听器就能对水下水平面内的声源目标进行定向探测。 展开更多
关键词 声学 微电子机械系统 单矢量水听器 压阻效应 指向性
下载PDF
微机电系统的研究与展望 被引量:14
3
作者 林忠华 胡国清 +1 位作者 刘文艳 张慧杰 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期71-75,共5页
微机电系统是面向21世纪的高新技术。文章对微机电系统产生的背景、组成特征、发展现 状及应用前景进行了全面分析。在此基础上,论述了MEMS未来发展的趋势。
关键词 微机电系统 硅微细加工 微传感器 微执行器
下载PDF
Pharmacokinetic and pharmacodynamic study of triptolide-loaded liposome hydrogel patch under microneedles on rats with collagen-induced arthritis 被引量:13
4
作者 Gui Chen Baohua Hao +4 位作者 Dahong Ju Meijie Liu Hongyan Zhao Zhongping Du Jizi Xia 《Acta Pharmaceutica Sinica B》 SCIE CAS CSCD 2015年第6期569-576,共8页
Triptolide (TP), a major active component of Triptelygium wilfordii Hook.F. (TWHF), is used to treat rheumatoid arthritis (RA). However, it has a narrow therapeutic window due to its serious toxicities. To increase th... Triptolide (TP), a major active component of Triptelygium wilfordii Hook.F. (TWHF), is used to treat rheumatoid arthritis (RA). However, it has a narrow therapeutic window due to its serious toxicities. To increase the therapeutic index, a new triptolide-loaded transdermal delivery system, named triptolide-loaded liposome hydrogel patch (TP-LHP), has been developed. In this paper, we used a micro-needle array to deliver TP-LHP to promote transdermal absorption and evaluated this treatment on the pharmacokinetics and pharmacodynamics of TP-LHP in a rat model of collagen-induced arthritis (CIA). The pharmacokinetic results showed that transdermal delivery of microneedle TP-LHP yielded plasma drug levels which fit a one compartment open model. The relationship equation between plasma concentration and time was C=303.59 x (e(-0.064t)-e(-0.287t)). The results of pharmacodynamic study demonstrated that TP-LHP treatment mitigated the degree of joint swelling and suppressed the expressions of fetal liver kinase-1, fetal liver tyrosine kinase-4 and hypoxia-inducible factor-1a in synovium. Other indicators were also reduced by TP-LHP, including hyperfunction of immune, interleukin-1/3 and interleukin-6 levels in serum. The therapeutic mechanism of TP-LHP might be regulation of the balance between Thl and Th2, as well as inhibition of the expression and biological effects of vascular endothelial growth factor. (C) 2015 Chinese Pharmaceutical Association and Institute of Materia Medica, Chinese Academy of Medical Sciences. Production and hosting by Elsevier B.V. 展开更多
关键词 PHARMACOKINETICS Pharmaeodynamics TRIPTOLIDE micro-electro-mehanical system microNEEDLES Collagen-induced arthritis
原文传递
全球MEMS传感器技术创新现状与趋势——基于2000-2014年专利分析 被引量:13
5
作者 梁琴琴 赵志耘 赵蕴华 《科技管理研究》 CSSCI 北大核心 2016年第10期165-169,202,共6页
以MEMS传感器为主要研究对象,基于德温特专利数据库中收录的优先权年为2000-2014年的MEMS传感器相关专利数据,以发展速度不同划分为三个阶段,分别讨论各阶段传感器类型、IPC分布以及专利权人分布的变化情况。结果表明MEMS传感器为市场... 以MEMS传感器为主要研究对象,基于德温特专利数据库中收录的优先权年为2000-2014年的MEMS传感器相关专利数据,以发展速度不同划分为三个阶段,分别讨论各阶段传感器类型、IPC分布以及专利权人分布的变化情况。结果表明MEMS传感器为市场导向型技术,不同阶段的研究重点与该阶段的市场需求有着紧密的联系,我国MEMS传感器在技术创新的同时应加快产业化的步伐。 展开更多
关键词 MEMS 微机电系统 专利分析 传感器 创新趋势
下载PDF
微机械电磁继电器三维磁场分析及其电磁系统优化设计 被引量:12
6
作者 任万滨 梁慧敏 +2 位作者 王其亚 翟国富 李德胜 《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第6期151-156,共6页
基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足。其三维磁场分析是电磁系统优化设计的基础。文中应用毕奥–萨伐尔定律和积分方程法,分析了... 基于微机电系统(MEMS)技术研制的微型继电器具有体积小、功耗低、开关迅速、稳定性高等优势,将有效弥补传统电磁继电器和固态继电器之间的不足。其三维磁场分析是电磁系统优化设计的基础。文中应用毕奥–萨伐尔定律和积分方程法,分析了微机械电磁继电器磁场分布特性,计算结果与有限元法结果进行比较,表明所用方法对于微机械电磁继电器三维恒定磁场的分析是可行的。基于已有模型的结构特点设计了电磁系统的改进方案,通过分析比较活动电极电磁吸力的分布规律,确定了中心平面线圈结构设计方案将更加合理。结合线圈圈数、激励电流与电磁吸力之间的关系,完成了电磁系统的优化设计。所得结论对于微机械电磁继电器的设计具有一定的理论意义与实用价值。 展开更多
关键词 微机械电磁继电器 电磁系统 三维磁场 优化设计积分方程法
下载PDF
雷达中的微系统及国外研究现状 被引量:12
7
作者 汤伟强 《现代雷达》 CSCD 北大核心 2017年第3期21-23,28,共4页
文中对微系统技术在雷达领域的应用前景进行了分析,并对国外最新发展现状进行了总结和评估。微系统技术范畴非常广,包含微电子、光电子、微机电等多个方面。微电子技术方面,片上系统和芯片级组件等技术极大提高了天线的集成度;微加工技... 文中对微系统技术在雷达领域的应用前景进行了分析,并对国外最新发展现状进行了总结和评估。微系统技术范畴非常广,包含微电子、光电子、微机电等多个方面。微电子技术方面,片上系统和芯片级组件等技术极大提高了天线的集成度;微加工技术可实现系统级封装,将可以在一个或几个晶片上实现一部高频段有源相控阵天线;光电子可提高雷达系统带宽、隔离度,极大提升后端处理能力,将光子技术与互补金属氧化物半导体工艺相结合是实现低成本的有效途径。对更小体积、更低成本、更高性能的追求是雷达领域永恒的主题,微系统与雷达的结合是必然趋势。 展开更多
关键词 雷达 微系统 微电子 微机电 光电子
下载PDF
Nesterov加速梯度无人机姿态融合算法 被引量:11
8
作者 李瑞涵 王耀南 谭建豪 《机器人》 EI CSCD 北大核心 2018年第6期852-859,共8页
传统的无人机梯度下降姿态融合算法的步长难以确定,收敛较慢,动态性能较差,并且对于非重力加速度敏感.针对上述不足,提出了一种Nesterov加速梯度姿态融合方法,融合加速度计与陀螺仪数据并对非重力加速度作抑制处理;利用Pixhawk开源飞控... 传统的无人机梯度下降姿态融合算法的步长难以确定,收敛较慢,动态性能较差,并且对于非重力加速度敏感.针对上述不足,提出了一种Nesterov加速梯度姿态融合方法,融合加速度计与陀螺仪数据并对非重力加速度作抑制处理;利用Pixhawk开源飞控实验平台进行多组对比试验.实验结果表明,Nesterov加速梯度姿态融合算法在机体静止时误差在0.05?之内,在水平滑动实验中产生的误差在0.5?之内,在绕轴转动实验中角度跟随性好、无明显滞后,在实际飞行实验中也获得了良好的实验结果.因此,Nesterov加速梯度姿态融合算法收敛速度明显优于普通梯度下降姿态解算法,抑制非重力加速度的能力明显优于互补滤波与梯度下降法,可有效跟踪无人机的真实姿态变化. 展开更多
关键词 旋翼飞行机器人 微机电系统 姿态解算 梯度下降法
原文传递
微装配机器人:关键技术、发展与应用 被引量:10
9
作者 黄心汉 《智能系统学报》 CSCD 北大核心 2020年第3期413-424,共12页
微装配机器人是机器人研究和应用领域的一个重要方向和热点,有重要理论意义和应用前景。本文对微装配机器人的关键技术进行了详细介绍,包括微操作系统的基本概念、微装配机器人的工作原理、尺度效应、多尺度交叉、微夹持器技术、显微视... 微装配机器人是机器人研究和应用领域的一个重要方向和热点,有重要理论意义和应用前景。本文对微装配机器人的关键技术进行了详细介绍,包括微操作系统的基本概念、微装配机器人的工作原理、尺度效应、多尺度交叉、微夹持器技术、显微视觉与显微视觉伺服等。对国内外微装配机器人研究和发展现状进行了综述,最后对微装配机器人的应用范围和发展前景进行了展望。 展开更多
关键词 微装配机器人 微机电系统 尺度效应 多尺度交叉 显微视觉 视觉伺服 图像雅可比矩阵 微夹持器
下载PDF
一种微型FAIMS传感器芯片的研制 被引量:10
10
作者 李华 王晓浩 +4 位作者 唐飞 张亮 杨吉 吝涛 丁力 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2010年第5期1355-1363,共9页
基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子... 基于微机电系统(MEMS)技术,研制了一种微型高场非对称波形离子迁移谱(FAIMS)传感器芯片.芯片尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,由离子化区、迁移区、离子检测区组成.采用真空紫外灯离子源在大气压环境下对样品进行离子化,经过离子化区中聚焦电极的电场作用,实现离子在进入迁移区之前的聚焦,提高离子信号的强度.通过在上下玻璃上溅射Au/Cr(300nm/30nm)金属,并与厚度为200μm、采用感应耦合等离子体(ICP)工艺刻蚀的硅片键合,形成迁移区的矩形通道,尺寸为10mm×5mm×0.2mm.离子检测区为三排直径200μm、间距100μm交错排列的圆柱阵列式微法拉第筒,能同时检测正负离子.采用频率为2MHz,最大电压为364V,占空比为30%的高场非对称方波电压进行FAIMS芯片实验.以丙酮和甲苯为实验样品,载气流速80L·h-1,补偿电压从-10V到3V以0.1V的步长进行扫描,得到了丙酮和甲苯的FAIMS谱图,验证了FAIMS芯片的性能.丙酮和甲苯的FAIMS-MS实验进一步表明FAIMS系统实现了离子分离和过滤功能. 展开更多
关键词 高场非对称波形离子迁移谱 微机电系统 高场非对称方波 微法拉第杯
下载PDF
用于微全分析系统的数字化微流控芯片的研究 被引量:6
11
作者 吴建刚 岳瑞峰 +4 位作者 曾雪锋 康明 胡欢 王喆垚 刘理天 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2006年第7期1042-1046,共5页
研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-d ielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片。它采用“三明治”结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(AF1600薄膜的... 研制出一种基于介质上电润湿(electrowetting-on-d ielectric,EWOD)机制的可编程数字化微流控芯片。它采用“三明治”结构:受控离散液滴被夹在两极板之间;下极板以硅为衬底,掺杂多晶硅作为芯片微电极阵列,其上涂覆有Teflon(AF1600薄膜的S iO2作为疏水性介质层;上极板是涂覆有Teflon(AF1600疏水薄膜的透明电极。通过分析数字化微流控系统的基本操作(离散液滴的传输、拆分及混合)的物理机理和模拟优化,在35 V低驱动电压下实现了约0.35μL和0.45μL去离子水离散液滴的传输和合并,并在70 V驱动电压下实现了0.8μL液滴的拆分等操作。 展开更多
关键词 数字化微流控芯片 微机械 表面张力 介质上电润湿
下载PDF
Direct ink writing of 3D-Honeycombed CL-20 structures with low critical size 被引量:10
12
作者 Bao-yun Ye Chang-kun Song +3 位作者 Hao Huang Qian-bing Li Chong-wei An Jing-yu Wang 《Defence Technology(防务技术)》 SCIE EI CAS CSCD 2020年第3期588-595,共8页
3D-Honeycombed CL-20 structures with low critical size of detonation have been fabricated successfully for intelligent weapon systems using a micro-flow direct ink writing(DIW) technology.The CL-20-based explosive ink... 3D-Honeycombed CL-20 structures with low critical size of detonation have been fabricated successfully for intelligent weapon systems using a micro-flow direct ink writing(DIW) technology.The CL-20-based explosive ink for DIW technology was prepared by a two-component adhesive system with waterborne polyurethane(WPU) and ethyl cellulose(EC).Not only the preparation of the explosive ink but also the principle of DIW process have been investigated systematically.The explosive ink displayed stro ng shea rthinning behavior that permitted layer-by-laye r deposition from a fine nozzle onto a substrate to produce complex shapes.The EC content was varied to alter the pore structure distribution and rheological behavior of ink samples after curing.The deposited explosive composite materials are of a honeycombed structure with high porosity,and the pore size distribution increases with the increase of EC content.No phase change was observed during the preparation process.Both WPU and EC show good compatibility with CL-20 particles.Apparently high activation energy was realized in the CL-20-based composite ink compared with that of the refined CL-20 due to the presence of non-energetic but stable WPU.The detonation performance of the composite materials can be precisely controlled by an adjustment in the content of binders.The 3D honeyco mbed CL-20 structures,which are fabricated by DIW technology,have a very small critical detonation size of less than 69 μm,as demonstrated by wedge shaped charge test.The ink can be used to create 3D structures with complex geometries not possible with traditional manufacturing techniques,which presents a bright future for the development of intelligent weapon systems. 展开更多
关键词 Hexanitrohexaazaisowurtzitane(CL-20) Direct ink writing micro-electro-mechanical system(MEMS) Pore structure Detonation performance
下载PDF
微机电系统技术进展 被引量:2
13
作者 张西慧 梁春广 《河北工业大学学报》 CAS 2003年第5期104-109,共6页
概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍... 概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用. 展开更多
关键词 微机电系统 发展史 微制造技术 微执行器 微传感器
下载PDF
低功耗甲烷传感器研究进展 被引量:9
14
作者 王海波 《工矿自动化》 北大核心 2021年第5期16-23,共8页
针对分布式无线甲烷传感器需功耗低、微型化、响应时间短、可靠性高、安全性好的要求,介绍了基于微机械电子系统技术和纳米材料的低功耗催化燃烧式、热导式、电导式甲烷传感器的工作原理和研究进展,分析了它们的优缺点,展望了低功耗甲... 针对分布式无线甲烷传感器需功耗低、微型化、响应时间短、可靠性高、安全性好的要求,介绍了基于微机械电子系统技术和纳米材料的低功耗催化燃烧式、热导式、电导式甲烷传感器的工作原理和研究进展,分析了它们的优缺点,展望了低功耗甲烷传感器的发展方向和前景。①低功耗催化燃烧式甲烷传感器可测量低浓度甲烷,然而易中毒,稳定性不高,由于工作温度较高,低功耗催化燃烧式甲烷传感器的功耗一般较高,通过采用脉冲方式运行,传感器平均功耗可降低至2 mW以下;然而其稳定性不高,未来的研究方向是改进封装工艺或者催化材料,以增强其抗毒化的能力,同时需结合人工智能和机器学习等先进算法研究免人工校准的低功耗催化燃烧式甲烷传感器。②低功耗热导式甲烷传感器具有全量程测量甲烷的能力,可同时测量低浓度和高浓度甲烷,在矿井中可以稳定运行,且对煤矿井下环境的适应力强,具有分布式无线甲烷传感器应用前景;未来的发展方向是改进电路模组,实现睡眠-唤醒运行模式,同时研究传感器元件和外围电路的集成技术,以实现片上集成式热导式甲烷传感系统,降低整体运行功耗。③低功耗电导式甲烷传感器分为室温型和微加热板型,室温型电导式甲烷传感器功耗较低,但响应时间较长;微加热板型电导式甲烷传感器功耗相对低,结合特定的纳米材料,可以在较低工作温度下实现对甲烷的响应,具有低浓度甲烷监测应用前景,但微加热板电导式甲烷传感器一般对环境湿度很敏感,基线易偏移,敏感材料对电极的粘附力差,器件重复性和可靠性均较差,需要进一步改进敏感材料和封装工艺;应用磁控溅射方法将半导体氧化物敏感材料沉积到电极上可提高材料的粘附力,从而提高器件的重复性和可靠性,同时需结合算法纠正基线偏移,保证微加热板型电导� 展开更多
关键词 甲烷传感器 催化燃烧式甲烷传感器 热导式甲烷传感器 电导式甲烷传感器 低功耗 纳米材料 微机械电子系统
下载PDF
一种微型光开关的设计与仿真分析 被引量:8
15
作者 李伟 梁静秋 +3 位作者 李小奇 钟砚超 梁中翥 孙德贵 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期1151-1154,共4页
介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系... 介绍了一种新型的聚酰亚胺(PI)悬臂梁式电磁驱动微机电系统(MEMS)光开关,并对其总体结构进行了设计与仿真分析。运用有限元分析的方法,设计了永磁体的最佳尺寸并优化了悬臂梁的结构;分析了聚酰亚胺悬臂梁的扭转力、电磁力与挠度的关系。当输入电流为75mA时,聚酰亚胺悬臂梁达到平衡时的挠度约为1.02mm,能够满足器件转换光路的要求。 展开更多
关键词 微机电系统 光开关 有限元分析 电磁驱动
原文传递
方波射频电压幅值对微型高场非对称波形离子迁移谱传感器芯片性能的影响 被引量:9
16
作者 李华 唐飞 +6 位作者 王晓浩 张亮 杨吉 王帆 徐初隆 吝涛 丁力 《分析化学》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1678-1682,共5页
基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键... 基于微机电系统技术(Micro electro mechanical system,MEMS),研制了微型高场非对称波形离子迁移谱(High-field asymmetric waveform ion mobility spectrometry,FAIMS)传感器芯片。芯片采用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀和两次硅-玻璃键合工艺加工,尺寸为18.8mm×12.4mm×1.2mm,其中迁移区尺寸为10mm×5mm×0.2mm。设计了高场非对称方波电源,可输出最大频率2MHz,电压峰-峰值1000V,占空比20%~50%连续可调的方波射频电压。以乙醇为实验样品,分析了方波射频电压幅值对FAIMS传感器芯片性能的影响。实验表明,随着电压幅值的增加,FAIMS分辨率提高,灵敏度下降,补偿电压绝对值增大,且芯片对乙醇的检出限可达8.9mg/m3。 展开更多
关键词 微机电系统 高场非对称波形离子迁移谱 方波射频电压
下载PDF
MEMS技术在智能航空发动机中的应用研究现状及前景 被引量:7
17
作者 闫晓军 张锴 伍晓明 《航空动力学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第6期1210-1217,共8页
利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体积小、质量轻、集成度高等特点,将该技术用于航空发动机,可以更好地实现对发动机的流动、燃烧过程进行主动控制、对关键结构部件的损伤以及滑油系统健康状态进行监测等方面的功能,进而实现... 利用MEMS(micro-electro-mechanical system)体积小、质量轻、集成度高等特点,将该技术用于航空发动机,可以更好地实现对发动机的流动、燃烧过程进行主动控制、对关键结构部件的损伤以及滑油系统健康状态进行监测等方面的功能,进而实现航空发动机的智能化.为了实现MEMS在航空发动机上的应用,一方面是提高MEMS自身适应航空发动机环境的能力;另外一方面则需要开展其和航空发动机的兼容性设计及研究.随着MEMS技术的不断发展,它必将是推动航空发动机发展的一个重要新技术. 展开更多
关键词 智能 航空发动机 传感器 驱动器 micro-electro-mechanical system(MEMS)
原文传递
微机电系统微米间隙的预击穿和击穿特性研究 被引量:8
18
作者 孟国栋 成永红 +1 位作者 酉小广 吴锴 《西安交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第8期106-110,127,共6页
为了预测和评估微机电系统(MEMS)中微电极结构的绝缘性能,采用MEMS加工工艺,制备了电极间隙为5~40μm的金属铝薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜... 为了预测和评估微机电系统(MEMS)中微电极结构的绝缘性能,采用MEMS加工工艺,制备了电极间隙为5~40μm的金属铝薄膜电极,研究了试样在直流电压下的预击穿过程中电流-电压关系曲线以及击穿电压随电极间隙的变化规律,并利用扫描电子显微镜(SEM)进行了微电极表面的微观分析.研究结果表明:预击穿过程的电流-电压曲线说明,在击穿之前电流的变化主要包括自由带电粒子的定向迁移阶段、电流密度达到饱和阶段以及碰撞电离持续发展形成电子雪崩阶段;场致电子发射的Fowler-Nordheim曲线表明,当微电极的间隙大于5μm时,其击穿特性仍然符合巴申曲线,与相关文献的研究结论一致;微电极击穿阈值均大于相同间隙的宏观金属电极的击穿阈值;微电极击穿后在阳极表面有坑洞产生,而在阴极表面存在溅射沉积现象. 展开更多
关键词 微机电系统 击穿特性 微米间隙 巴申曲线
下载PDF
采用MEMS传感器感知的虚拟现实射击识别设备与系统 被引量:8
19
作者 秦溥 杨承磊 +5 位作者 李慧宇 卞玉龙 王秋晨 刘娟 王玉超 孟祥旭 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第11期2083-2090,共8页
射击影院是虚拟现实影院最流行的一种形式,其核心组件之一是射击识别系统.为了解决现有虚拟现实影院射击识别系统成本高、交互范围受限等问题,设计了一种射击游戏枪,并提出一个将虚实枪融合的交互射击系统.首先采用3D打印技术设计制作... 射击影院是虚拟现实影院最流行的一种形式,其核心组件之一是射击识别系统.为了解决现有虚拟现实影院射击识别系统成本高、交互范围受限等问题,设计了一种射击游戏枪,并提出一个将虚实枪融合的交互射击系统.首先采用3D打印技术设计制作基于微机电系统(MEMS)传感器的交互枪,通过MEMS传感器获取枪身的姿态,结合Kinect获取的枪身空间位置、建立的虚实空间坐标系和转换映射关系确定用户的射击位置,以及射击方向;然后利用Kinect获取的用户视点位置将虚拟场景进行基于视点的渲染,使用户看到虚拟枪图像与实体枪重叠,从而产生手握虚拟枪的错觉.结合文中设计的后坐力模拟装置,在游戏过程中根据虚拟枪的不同枪型调整实体枪的后坐力力度、射速以及屏幕准星抖动范围.配合场景特效及音效,让用户将注意力集中在游戏内容和虚拟枪上,体验身临其境的射击效果.实验和用户生理电数据采集分析表明,与已有系统相比,文中系统更容易被用户接受,用户体验更佳. 展开更多
关键词 虚拟现实 人机交互 微机电系统 力反馈 射击影院
下载PDF
MEMS传感器在汽车中的应用研究及进展 被引量:8
20
作者 李文平 顿文涛 +4 位作者 李寅生 袁帅 李勉 马斌强 袁超 《农业网络信息》 2015年第7期52-55,共4页
随着汽车智能化的快速发展和MEMS技术的深入研究,MEMS传感器在汽车电子产业中具有广阔的应用前景。本文针对MEMS汽车传感器的研究应用现状、主要MEMS汽车传感器的原理及应用等进行了简要阐述,最后对MEMS汽车传感器的发展趋势进行探讨及... 随着汽车智能化的快速发展和MEMS技术的深入研究,MEMS传感器在汽车电子产业中具有广阔的应用前景。本文针对MEMS汽车传感器的研究应用现状、主要MEMS汽车传感器的原理及应用等进行了简要阐述,最后对MEMS汽车传感器的发展趋势进行探讨及展望。 展开更多
关键词 MEMS技术 汽车传感器 微机电系统
下载PDF
上一页 1 2 42 下一页 到第
使用帮助 返回顶部