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厚度对Mg-Sn共掺ZnO薄膜结构和光电性能的影响 被引量：4
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作者 刘细妹 胡跃辉 +3 位作者 陈义川 胡克艳 徐斌 张志明 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期95-100,114,共7页
采用溶胶凝胶(Sol-Gel)旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜。用XRD、SEM、UVVis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征。薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取... 采用溶胶凝胶(Sol-Gel)旋涂法在抛光石英衬底上制备不同厚度Mg-Sn共掺的ZnO薄膜。用XRD、SEM、UVVis、PL、FT-IR光谱仪和四探针等对薄膜的微观结构、表面形貌、室温光致发光及光电特性进行表征。薄膜结构分析显示样品均沿c轴高度择优取向,呈六角纤锌矿晶体结构,随着膜厚的增加,薄膜结晶度明显提高,薄膜晶粒尺寸逐渐增大。由SEM照片观察到,厚度的增加明显促进了薄膜表面颗粒生长的均匀性与致密性。由光致发光谱表明:厚度增加,薄膜的本征发光峰增强且均出现较强的紫外发光峰和蓝光发光峰。FT-IR结果显示780 nm厚的薄膜在高波数区域红外吸收明显比320 nm和560 nm弱。薄膜电阻率随厚度增加由1.4×10-2Ω·cm减小至2.6×10-3Ω·cm,且薄膜透过率均保持在90%左右。 展开更多
关键词 溶胶凝胶法 mg-sn共掺zno 厚度 电阻率 透过率
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