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纳米级大尺度超精密线位移测量方法的研究 被引量：3
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作者 赵惠英 蒋庄德 田世杰 《计量学报》 CSCD 北大核心 2004年第3期215-218,共4页
在研究纳米级超精密机床的检测过程中,针对机床的加工要求,提出了纳米级大尺度超精密线位移误差的检测采用宏微线位移测量方法,并应用于超精密机床的检测。检测结果表明,该方法可以利用现有精密测量仪器满足检测超精密机床的要求。
关键词 计量学 纳米级 超精密 大尺度 宏微线位移检测
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