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MEMS加速度传感器的原理及分析 被引量：44
1
作者 张海涛 阎贵平 《电子工艺技术》 2003年第6期260-262,265,共4页
主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速... 主要介绍了五种目前常见的基于MEMS技术的加速度传感器,从物理结构的角度对这几种传感器的测量原理进行了分析,不但着重介绍了已经较为成熟且形成产业化的硅微电容式、压阻式、热电耦式加速度传感器,而且对目前较为前沿的光波导式加速度传感器也进行了一些分析和介绍。 展开更多
关键词 硅微机械加工技术 加速度传感器 封装
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基于加速度传感器LIS3DH的计步器设计 被引量：37
2
作者 韩文正 冯迪 +1 位作者 李鹏 马文超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2012年第11期97-99,共3页
设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器LIS3DH的计步器,包括运动检测、数据处理和显示终端。数字输出加速度传感器LIS3DH作为运动检测模块,检测人体运动时加速度变化;数据处理模块对加速度信息进行处理,使用FFT滤波和自适应频率... 设计了一种基于微机电系统(MEMS)加速度传感器LIS3DH的计步器,包括运动检测、数据处理和显示终端。数字输出加速度传感器LIS3DH作为运动检测模块,检测人体运动时加速度变化;数据处理模块对加速度信息进行处理,使用FFT滤波和自适应频率范围去除噪声对加速度信号的影响,利用加速度变化的上升、下降区间实现计步功能。实验结果表明:该计步系统具有体积小、结构简单、功耗低、工作稳定的特点,能够提供较高精度的计步功能。 展开更多
关键词 微机电系统 计步器 加速度传感器 高精度
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用于地球物理勘探的MEMS加速度传感器 被引量：19
3
作者 张宏乐 曹金栋 《石油仪器》 2002年第2期1-4,61,共4页
传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章... 传统速度检波器由于内在结构的限制 ,其技术性能已不能满足现代高分辨率地震勘探数据采集的要求。美国I/O公司利用MEMS技术研制开发的加速度传感器具有良好的频率响应特性 ,可在检波器内部进行模 /数转换 ,实现检波器数字信号输出。文章对MEMS技术特点及发展现状、MEMS加速度传感器结构及主要技术性能做简要介绍 。 展开更多
关键词 mems 加速度传感器 频率响应 地震勘探 地球物理勘探
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基于MEMS加速度传感器的数字倾角仪设计 被引量：18
4
作者 沙承贤 李杰 +2 位作者 翟成瑞 王博 胡丽丽 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期134-136,共3页
利用MEMS加速度传感器设计了倾角测试仪,并利用单片机进行了数据线性化、传感器温度和上电稳定特性等补偿,倾斜角可以通过LCD或上位机显示。实验表明:本系统倾角测量精度可达±0.2°,具有很好的工作稳定性和较高的性价比,使用... 利用MEMS加速度传感器设计了倾角测试仪,并利用单片机进行了数据线性化、传感器温度和上电稳定特性等补偿,倾斜角可以通过LCD或上位机显示。实验表明:本系统倾角测量精度可达±0.2°,具有很好的工作稳定性和较高的性价比,使用上也更加灵活。 展开更多
关键词 倾角仪 mems加速度传感器 温度补偿 上电稳定特性补偿
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MEMS加速度传感器在矿用随钻轨迹测量系统中的误差校正 被引量：18
5
作者 燕斌 《煤田地质与勘探》 CAS CSCD 北大核心 2017年第4期144-148,共5页
矿用随钻轨迹测量系统的工具面向角和倾角通常采用加速度传感器实现测量,然而由于传感器制作工艺、探管机械加工以及装配等因素使得工具面向角和倾角的测量出现误差。为了修正上述系统误差,首先介绍了随钻轨迹测量系统及其工作原理,进... 矿用随钻轨迹测量系统的工具面向角和倾角通常采用加速度传感器实现测量,然而由于传感器制作工艺、探管机械加工以及装配等因素使得工具面向角和倾角的测量出现误差。为了修正上述系统误差,首先介绍了随钻轨迹测量系统及其工作原理,进而分析了加速度传感器的误差产生,并建立了MEMS加速度传感器的误差模型;提出了一种基于三十六位置的加速度标定方法,并对其进行相应的测试。实验结果表明:建立的加速度误差模型在随钻轨迹测量系统中,倾角精度为0.2°,工具面向角精度为0.2°,且倾角和工具面向角之间相互影响较小,能够满足实际煤矿井下钻探工艺的精度需求。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 随钻轨迹测量系统 三十六位置标定方法 误差修正
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MEMS加速度传感器开发及在地球物理勘探中的应用 被引量：12
6
作者 王辉明 宋志翔 马国庆 《勘探地球物理进展》 2005年第3期223-226,共4页
以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。采用国产MEMS加速度传感器,试验性地将其应用于地球物理勘探。设计和制作了进行室内测试的专用振动台及测试软件,建立了一套测试和分析其性能和各项技... 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。采用国产MEMS加速度传感器,试验性地将其应用于地球物理勘探。设计和制作了进行室内测试的专用振动台及测试软件,建立了一套测试和分析其性能和各项技术指标的方法,并在野外与传统检波器进行了实际生产对比试验,结果表明国产MEMS加速度传感器在石油勘探中具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 mems 加速度传感器 检波器
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基于磁感式传感器的随钻测斜仪的研究 被引量：12
7
作者 樊依林 《工业仪表与自动化装置》 2018年第3期112-115,共4页
设计了一种基于PNI公司的磁感式传感器和MEMS加速度传感器的矿用随钻测斜仪。论述了系统总体结构,重点对测斜系统测量短节设计进行了研究,给出了利用磁感式传感器和MEMS加速度传感器融合的方法来测得随钻测量系统3个重要参数,即倾角、... 设计了一种基于PNI公司的磁感式传感器和MEMS加速度传感器的矿用随钻测斜仪。论述了系统总体结构,重点对测斜系统测量短节设计进行了研究,给出了利用磁感式传感器和MEMS加速度传感器融合的方法来测得随钻测量系统3个重要参数,即倾角、方位角和工具面向角。试验结果表明,该文设计的随钻测量系统具有体积小、功耗低、可靠性高、成本低、精度高等特点,完全满足随钻测斜仪测量要求。 展开更多
关键词 磁感式传感器 mems加速度传感器 随钻测量
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基于MEMS三维磁阻传感器的电子指南针的研究 被引量：10
8
作者 武建军 封维忠 于玮 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2011年第8期83-85,88,共4页
介绍了一种基于MEMS的三维磁阻传感器和加速度传感器的电子指南针系统。相对于由两轴磁阻传感器制造的电子指南针,该系统能够有效补偿倾斜角产生的误差。重点介绍了该系统的测量原理、硬件设计、软件流程。通过中位置均值滤波、限幅滤... 介绍了一种基于MEMS的三维磁阻传感器和加速度传感器的电子指南针系统。相对于由两轴磁阻传感器制造的电子指南针,该系统能够有效补偿倾斜角产生的误差。重点介绍了该系统的测量原理、硬件设计、软件流程。通过中位置均值滤波、限幅滤波、一阶滞后滤波,最大误差控制在1°以内。实验结果表明:本系统可以满足于一般导航领域的要求。 展开更多
关键词 微机电系统 电子指南针 磁阻传感器 加速度传感器 软件滤波
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不等高梳齿电容式三轴MEMS加速度传感器 被引量：9
9
作者 许高斌 朱华铭 陈兴 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2011年第8期704-710,共7页
利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式;对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设... 利用ICP体硅深加工,本文设计分析了一种三轴三质量块的电容式加速度传感器。水平方向采用定齿偏置配置梳齿式,垂直方向采用不等高对称梳齿式;对称的布局方式,解决了各个轴向的相互干扰问题。利用有限元分析工具对设计进行模拟,证实了设计的合理性和可行性。X、Y轴向和Z轴向的灵敏度分别为1.2 fF/g和1.0 fF/g,量程为±50 g。 展开更多
关键词 电容式加速度传感器 三轴 不等高梳齿 mems
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基于MEMS加速度传感器的步态识别 被引量：9
10
作者 涂斌斌 谷丽华 +1 位作者 揣荣岩 许会 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2017年第3期304-308,359,共6页
针对最小采集约束条件和经历长时间跨度下识别率低的问题,提出一种基于MEMS加速度传感器的步态识别算法。该算法以右髋部位置采集加速度信号构造多个高斯差分尺度空间,利用局部关键点生成稀疏表示的步态特征位置模板,并采用模板融合来... 针对最小采集约束条件和经历长时间跨度下识别率低的问题,提出一种基于MEMS加速度传感器的步态识别算法。该算法以右髋部位置采集加速度信号构造多个高斯差分尺度空间,利用局部关键点生成稀疏表示的步态特征位置模板,并采用模板融合来有效转换稀疏性步态周期特征,最后利用最近邻算法和投票机制对步态特征进行识别。在公开的含175名测试者的步态加速度数据集上进行测试,实验结果显示识别率为98.67%和认证率为99.89%,并进一步研究了测试集和训练集样本数目对识别效果的影响,验证了特征提取的有效性和稳定性。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 关键点 稀疏表示 模板融合
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MEMS加速度传感器的数据采集系统设计 被引量：7
11
作者 徐磊 房立清 +3 位作者 李旭 霍瑞坤 齐子元 郭德卿 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2019年第9期73-76,95,共5页
为了准确测量振动物体的振动加速度,为判断机械故障以及物体的工作状态提供可靠的参考指标,利用MEMS加速度传感器设计一款振动加速度测量采集系统,该系统主要包括加速度测量模块、加速度采集模块以及加速度读取模块,MEMS技术的运用大大... 为了准确测量振动物体的振动加速度,为判断机械故障以及物体的工作状态提供可靠的参考指标,利用MEMS加速度传感器设计一款振动加速度测量采集系统,该系统主要包括加速度测量模块、加速度采集模块以及加速度读取模块,MEMS技术的运用大大减小了测量采集系统的体积,数字式的输出提高了测量系统的精度。试验结果表明,该振动加速度测量采集系统可以较为准确地实现振动加速度的测量和采集,可以承受至少100 g的过载冲击。 展开更多
关键词 振动加速度 加速度测量采集 mems加速度传感器
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MEMS加速度传感器在强震观测中的应用 被引量：7
12
作者 刘钢锋 朱威 +1 位作者 邹彤 林强 《大地测量与地球动力学》 CSCD 北大核心 2011年第B06期168-170,共3页
提出基于MEMS加速度传感器的强震仪设计方案,并在强震观测中完成了地震加速度数据的采集、触发判断和存储。
关键词 mems加速度传感器 地震台站 触发判断 强震观测 地震仪器
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基于MEMS加速度传感器的步数检测算法研究综述 被引量：7
13
作者 谢光强 黄向龙 +1 位作者 李杨 徐峰 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2018年第12期3526-3532,共7页
随着智能移动终端、智能穿戴设备以及基于惯性传感器的行人定位导航系统的快速发展,针对这些设备和系统中的计步需求,大量有关基于MEMS加速度传感器的步数检测算法的研究工作已经开展并取得了优秀的成果。针对该领域中现有的技术方法,... 随着智能移动终端、智能穿戴设备以及基于惯性传感器的行人定位导航系统的快速发展,针对这些设备和系统中的计步需求,大量有关基于MEMS加速度传感器的步数检测算法的研究工作已经开展并取得了优秀的成果。针对该领域中现有的技术方法,首先阐述了该领域的发展情况,指出目前该领域的主要研究要点、方法种类以及应用情况;接着,综述了目前该领域的研究现状,从数据预处理方法和步数验证方法这两方面对多种步数检测算法进行了阐述以及优缺点的分析;然后,对该领域的研究要点进行了深入的探讨,分析总结步数检测算法中与研究要点相关的技术方法。最后,讨论并展望了该领域未来的发展方向,以期为后续的研究提供参考。 展开更多
关键词 步数检测 mems 加速度传感器
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MEMS差动电容加速度传感器 被引量：6
14
作者 唐晓刚 颜永安 +1 位作者 王建民 牛德芳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第12期8-9,15,共3页
介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,... 介绍了一种 MEMS 差动电容加速度传感器的设计及所达到的技术指标。对 MEMS Sensor 选择差动电容传感器的理论依据进行了分析,叙述了 MEMS 差动电容加速度传感器各项参数的设计依据,包括灵敏度、非线性、温度漂移、隔离度、频带宽度等,同时介绍了该传感器各项指标的测试数据。该传感器具有灵敏度高、参数设计合理,不用温度和线性补偿就达到了高线性和低漂移,结构合理,达到理想的横向隔离效果和宽的频率响应特性等特点。 展开更多
关键词 mems 石油勘探 差动电容加速度传感器 技术指标
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车祸自动定位报警系统的设计与实现 被引量：6
15
作者 顾陈耀 陆兴华 郭华锋 《电子设计工程》 2011年第9期141-143,共3页
设计了一种车祸自动定位报警系统,应用了MEMS、GPS和GSM等技术。由于车祸发生的瞬间,车体加速度非常大,远超过紧急刹车时的加速度,故可用加速度的大小作为车祸发生的判断依据。使用MEMS加速度传感器采集信号,经CPU处理后,如果加速度值... 设计了一种车祸自动定位报警系统,应用了MEMS、GPS和GSM等技术。由于车祸发生的瞬间,车体加速度非常大,远超过紧急刹车时的加速度,故可用加速度的大小作为车祸发生的判断依据。使用MEMS加速度传感器采集信号,经CPU处理后,如果加速度值超出保护值,立刻通过GSM平台将GPS检测到的经、纬度及相关信息发送到相关部门,救援人员能迅速赶到现场进行急救。此设计提供了一种在特殊情况下能更好更及时地保护人民生命财产的新途径。 展开更多
关键词 mems加速度传感器 GPS定位系统 GSM通信技术 报警
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石油勘探MEMS加速度传感器在煤田勘探的应用 被引量：6
16
作者 唐晓刚 颜永安 +2 位作者 赵冰 张栋 牛德芳 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2006年第6期50-51,57,共3页
介绍了一种石油勘探MEMS加速度传感器,该传感器是一种适应石油、煤田地震勘探设备向小型化、高分辨率、智能化方向发展的一种新产品。对石油勘探MEMS加速度传感器与传统检波器的特点进行了比较分析,介绍了该传感器已达到的技术指标和与... 介绍了一种石油勘探MEMS加速度传感器,该传感器是一种适应石油、煤田地震勘探设备向小型化、高分辨率、智能化方向发展的一种新产品。对石油勘探MEMS加速度传感器与传统检波器的特点进行了比较分析,介绍了该传感器已达到的技术指标和与国外同类产品的比较情况,同时介绍了数据采集及多传感器融合技术、地震勘探系统接口技术等应用方面的研究,最后介绍了该传感器在煤田勘探的实验情况。 展开更多
关键词 mems技术 加速度传感器 地震勘探
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新型MEMS地震检波器的研究 被引量：6
17
作者 谌贵辉 赵万明 +1 位作者 任诚 席建中 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第8期29-30,33,共3页
以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数,并通过微传感器结构的力学性能仿真,得出其具体的结构尺寸。经采用表面工艺和体工艺... 以MEMS加速度传感器为基础的新型地震检波器大幅度提高了地震检波器的各项性能指标。介绍了一种新型的石油勘探MEMS地震检波器的设计及其主要技术参数,并通过微传感器结构的力学性能仿真,得出其具体的结构尺寸。经采用表面工艺和体工艺相结合的方法,利用磁控溅射、光刻、化学蚀刻及等离子体蚀刻等工艺,在高阻硅上制备出检波器样品。 展开更多
关键词 微机电系统 加速度传感器 地震检波器 仿真
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基于物联网技术的特高压导线舞动检测仪设计 被引量：6
18
作者 蔡光柱 赵爽 +2 位作者 杨振 赵睿 魏雷 《山东电力技术》 2020年第9期34-38,共5页
为实现对输电线路导线运行状态的实时智能监测,结合物联网技术的低功耗特点,设计一种新型特高压导线舞动检测仪。首先对导线舞动检测仪的系统架构进行阐述,介绍超低功耗模式设计,其次对微机电系统(MEMS)加速度传感器、加密模块及远距离... 为实现对输电线路导线运行状态的实时智能监测,结合物联网技术的低功耗特点,设计一种新型特高压导线舞动检测仪。首先对导线舞动检测仪的系统架构进行阐述,介绍超低功耗模式设计,其次对微机电系统(MEMS)加速度传感器、加密模块及远距离无线电(LoRa)通信模块进行硬件设计和性能分析,简述其工作原理和设计特点。最后通过舞动模拟试验,结果表明:舞动检测仪系统稳定可靠,可有效对舞动现象进行监测预警。该装置目前已在浙江舟山电网实际现场运行1年多,运行状况良好。 展开更多
关键词 物联网技术 输电线路 超低功耗设计 微机电系统加速度传感器 加密模块
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基于MEMS技术的疲劳驾驶预警系统设计 被引量：5
19
作者 王贞 孙传辉 +1 位作者 曹阳 王立辉 《机电产品开发与创新》 2010年第1期125-126,共2页
因疲劳驾驶造成的交通事故逐渐增多,疲劳驾驶预警系统的研究有着重要的意义和应用价值。本文则是基于MEMS加速度传感器,通过采集驾驶员头部加速度数据,把得到的加速度数据送到处理器进行处理从而进行疲劳检测。若判定为疲劳驾驶,则通过... 因疲劳驾驶造成的交通事故逐渐增多,疲劳驾驶预警系统的研究有着重要的意义和应用价值。本文则是基于MEMS加速度传感器,通过采集驾驶员头部加速度数据,把得到的加速度数据送到处理器进行处理从而进行疲劳检测。若判定为疲劳驾驶,则通过处理器驱动语音系统发出报警信号,提示驾驶员保持清醒或休息,从而减低因疲劳驾驶造成的交通事故的发生机率。 展开更多
关键词 疲劳驾驶 mems 加速度传感器 预警系统
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几种柴油机转速测量方法对比与转速适配器的实现 被引量：1
20
作者 刘松良 《内燃机与配件》 2024年第3期81-83,共3页
柴油机转速是反应柴油机综合性能最重要的指标之一,转速的波动和平稳则直接反应柴油机的工作质量和状态。本文不仅阐述了五种柴油机转速测量方法:喷油管法、振动法、排烟管法、点烟器法、MEMS加速度传感器法,而且论述了MEMS加速度传感... 柴油机转速是反应柴油机综合性能最重要的指标之一,转速的波动和平稳则直接反应柴油机的工作质量和状态。本文不仅阐述了五种柴油机转速测量方法:喷油管法、振动法、排烟管法、点烟器法、MEMS加速度传感器法,而且论述了MEMS加速度传感器法的转速适配器的总体设计和软硬件实现。该研究设计的转速适配器试验结果表明:MEMS加速度传感器法能够准确的测量柴油机转速,与其他转速测量方法相比,测量精确度更高。 展开更多
关键词 柴油机转速 喷油管法 振动法 mems加速度传感器
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