用于先进的双嵌入和栓工艺的低缺陷钨CMP高性价比浆料(英文)

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作者 Tun-YanLo LIChung-Liu +3 位作者 CHINHung-Chang SimonJ.Kirk PhilippeChelle AraiPeng 《电子工业专用设备》 2004年第6期16-21,共6页

介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200TM氧化铝浆料,测试证明,这种浆料在110nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的效果。通过对氧化铝粒子制造工艺的有效控制,获得了可满足110nm技术节点双嵌入和栓层钨CMP工艺要求的低缺陷... 介绍了用于钨双嵌入和钨栓CMP工艺的新型CMP3200TM氧化铝浆料,测试证明,这种浆料在110nm技术节点的钨CMP工艺应用中取得了理想的效果。通过对氧化铝粒子制造工艺的有效控制,获得了可满足110nm技术节点双嵌入和栓层钨CMP工艺要求的低缺陷率,高性价比的氧化铝蛐硝酸铁浆料。从而在价格竞争激烈的半导体制造领域,特别是代工市场引起了业界越来越多的关注。 展开更多

关键词 钨双嵌入工艺 钨栓工艺 CHP浆料 高性价比 低缺陷率 110nm技术节点

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矩形连铸坯低倍缺陷的成因与控制 被引量：1

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作者 曹玉霞 《冶金标准化与质量》 2014年第6期23-25,28,共4页

分析了银前6号机矩形连铸坯低倍组织缺陷产生的原因及控制措施，认为二冷水的控制、设备工艺参数调整及钢水质量是保证矩形连铸坯质量的关键因素。针对二冷制度、钢水质量对连铸坯低倍组织的影响进行分析，并采取相应措施，取得较好效果。

关键词 低倍缺陷 原因 控制

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超临界混合流体辅助PtRuNi纳米粒子负载于低缺陷石墨烯的乙醇电催化氧化性能

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作者 王希玮 殷耀禹 +1 位作者 李洪起 赵健 《青岛科技大学学报（自然科学版）》 CAS 2017年第1期70-75,98,共7页

通过较低浓度酸在冷凝回流的条件下处理石墨烯片层,使得石墨烯片层上具有充足但不过量的含氧基团。这些含氧基团既可以调节石墨烯在溶剂中的溶解性,又可以作为金属纳米粒子沉积时的成核点。再以制备好的低缺陷石墨烯(LDG)为原料,利用超... 通过较低浓度酸在冷凝回流的条件下处理石墨烯片层,使得石墨烯片层上具有充足但不过量的含氧基团。这些含氧基团既可以调节石墨烯在溶剂中的溶解性,又可以作为金属纳米粒子沉积时的成核点。再以制备好的低缺陷石墨烯(LDG)为原料,利用超临界CO2和甲醇混合流体的黏度低、密度可控和表面张力为零等优点,将PtRuNi、PtRu、Pt等金属纳米粒子成功负载到石墨烯表面。通过X-射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)、能量色谱仪(EDS)、X-射线光电子能谱(XPS)、拉曼(Raman)等方法分析了PtRuNi/LDG复合物的结构特征。并用电化学的方法比较了PtRuNi/LDG,PtRu/LDG,Pt/LDG与PtRuNi/XC-72,PtRu/XC-72,Pt/XC-72对乙醇氧化的电催化活性,结果显示,所制备的PtRuNi/LDG具有更高的乙醇电催化效能。 展开更多

关键词 低缺陷石墨烯 乙醇 超临界流体 电催化 铂

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多士炉的吸铁架结构

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作者 蔡建平 《家电科技》 2015年第3期83-85,共3页

多士炉有三种吸铁架结构形式,侧挂式吸铁架结构、正挂式吸铁架结构、悬挂式吸铁架结构。这三种吸铁架结构中正挂式吸铁架结构使用效果最好,装配方便,吸力不良率低,目前得到推广应用。

关键词 吸铁架 正挂式吸铁架 吸力 装配方便 不良率低

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基于Faster R-CNN的圆柱形金属工件表面缺陷检测 被引量：12

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作者 徐秀 宣静怡 +1 位作者 曹桐滔 代作晓 《软件导刊》 2019年第5期130-133,共4页

为有效进行圆柱形金属工件表面缺陷检测,设计一套利用深度学习框架——Faster R-CNN的表面缺陷检测系统。该系统算法利用Resnet网络进行特征提取,采用RPN方法提取缺陷的候选目标矩形区域,再利用Fast R-CNN在候选区域基础上进行缺陷检测... 为有效进行圆柱形金属工件表面缺陷检测,设计一套利用深度学习框架——Faster R-CNN的表面缺陷检测系统。该系统算法利用Resnet网络进行特征提取,采用RPN方法提取缺陷的候选目标矩形区域,再利用Fast R-CNN在候选区域基础上进行缺陷检测。此外,为克服金属表面反光并获得高质量图片,设计一套合适的图像采集系统。实验表明,该检测系统能有效克服光滑金属表面的强反射,从而获取高质量图片;同时利用基于Faster R-CNN框架的方法进行缺陷检测,较好地解决了圆柱形金属表面缺陷检测能力弱的问题,在置信度阈值为0.9时,其查全率为95.0%,查准率为96.0%,检测速度为65ms/幅。 展开更多

关键词 圆柱形金属工件 表面缺陷检测 FASTER R-CNN 深度学习 低对比度缺陷 机器视觉

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1μm波段低量子亏损光纤激光研究进展(特邀)

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作者 许将明 张扬 +10 位作者 马小雅 叶俊 柯延钊 李思成 梁峻锐 何俊鸿 黄良金 潘志勇 姚天甫 冷进勇 周朴 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第6期237-249,共13页

量子亏损对高功率光纤激光器内的废热产生和光光转换效率具有重要影响,光纤激光器输出功率的提升过程可以视为不断与量子亏损作斗争的过程。文中梳理了近年来1μm波段低量子亏损光纤激光的重要进展,重点介绍了稀土掺杂增益和拉曼增益两... 量子亏损对高功率光纤激光器内的废热产生和光光转换效率具有重要影响,光纤激光器输出功率的提升过程可以视为不断与量子亏损作斗争的过程。文中梳理了近年来1μm波段低量子亏损光纤激光的重要进展,重点介绍了稀土掺杂增益和拉曼增益两种体制的光纤激光器在实现低量子亏损输出方面的相关工作。在稀土掺杂光纤激光器中,采用级联泵浦、多组分掺杂、强泵浦等技术可降低激光器的量子亏损,其中量子亏损≤1%的掺镱光纤激光器已实现400 mW功率输出。在拉曼光纤激光器中,通过采用特殊掺杂、泵浦光谱调控、增益竞争抑制等技术,量子亏损≤1%的拉曼光纤激光器已实现百瓦级功率输出,并成功验证包层泵浦方案的可行性,表明其在实现高功率低量子亏损输出方面具有重要潜力。 展开更多

关键词 光纤激光器 高功率 低量子亏损 掺镱光纤激光 拉曼光纤激光

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GCr15轴承钢小方坯连铸低倍缺陷分析与控制 被引量：4

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作者 刘宪民 成国光 郝增林 《河北冶金》 2006年第1期39-40,共2页

介绍了GCr15轴承钢150mm×150mm连铸坯低倍缩孔等缺陷的形成原因及控制措施,认为降低连铸拉速和浇铸温度能够有效改善GCr15铸坯缩孔等缺陷,改善钢水流动性有利于钢水的补缩,缩孔和疏松显著降低。

关键词 轴承钢 方坯 低倍缺陷

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GaSb衬底上分子束外延生长的低温GaSb薄膜的低缺陷表面（英文） 被引量：2

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作者 郝瑞亭 任洋 +4 位作者 刘思佳 郭杰 王国伟 徐应强 牛智川 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期135-138,共4页

系统地研究了随着GaSb薄膜生长温度的降低,Sb/Ga(V/III)比的变化对薄膜低缺陷表面质量的影响.为了获得良好表面形貌的GaSb外延层,生长温度与V/III比均需要同时降低.当Sb源裂解温度为900℃时,生长得到低缺陷表面的低温GaS b薄膜的最佳生... 系统地研究了随着GaSb薄膜生长温度的降低,Sb/Ga(V/III)比的变化对薄膜低缺陷表面质量的影响.为了获得良好表面形貌的GaSb外延层,生长温度与V/III比均需要同时降低.当Sb源裂解温度为900℃时,生长得到低缺陷表面的低温GaS b薄膜的最佳生长条件是生长温度为在再构温度的基础上加60℃且V/III比为7.1. 展开更多

关键词 低缺陷 锑化镓 原子力显微镜 V/III比

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楔横轧凸轮轴毛坯中心孔洞成因分析 被引量：2

9

作者 李汉生 高建华 《河北冶金》 2005年第5期65-67,共3页

对产生中心孔洞的20CrMnTi钢凸轮轴毛坯进行了剖面分析,从工艺因素、低倍组织、金相检验等方面进行系统研究,找出了该毛坯产生中心孔洞的主要原因并提出了改进建议。

关键词 楔横轧 凸轮轴 毛坯 中心孔洞 低倍缺陷 金相分析

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TC18钛合金低倍缺陷分析

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作者 和磊 《热处理技术与装备》 2022年第1期27-30,共4页

采用金相显微镜、扫描电镜、维氏硬度计对存在低倍条状缺陷的TC18钛合金锻件进行金相显微组织、显微硬度和微区域成分的分析。结果表明:β相稳定元素含量的波动是引起低倍条状缺陷组织的主要因素。缺陷区域中的V、Fe和Mo元素含量略微增... 采用金相显微镜、扫描电镜、维氏硬度计对存在低倍条状缺陷的TC18钛合金锻件进行金相显微组织、显微硬度和微区域成分的分析。结果表明:β相稳定元素含量的波动是引起低倍条状缺陷组织的主要因素。缺陷区域中的V、Fe和Mo元素含量略微增高,则会产生β斑,在加热过程中条带缺陷区域将会先到达单相区并更快地促使原始β晶粒的长大;在冷却过程中条带缺陷区域更晚结束单相区,造成条带缺陷区域的原始β晶粒不断长大,并且在变形过程中被拉长,最终呈现长条状缺陷。 展开更多

关键词 TC18钛合金 低倍条带缺陷 Β相

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中薄板坯表面裂纹及预防

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作者 赵建平 霍彦朋 +1 位作者 王硕明 朱立光 《河北联合大学学报（自然科学版）》 CAS 2013年第3期65-68,共4页

分析了中薄板坯表面裂纹产生原因,通过采取优化扇形段辊面设计、稳定钢水成分、优化结晶器振动、铜板镀层改进、稳定结晶器液面与拉速等相应措施,铸坯表面低倍缺陷得到了明显改善,取得较好效果。

关键词 中薄板 表面裂纹 低倍缺陷

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仪表金属功能材料低倍缺陷的检测

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作者 丁渝红 《理化检验（物理分册）》 CAS 2005年第11期573-574,584,共3页

分析了仪表金属功能材料在超声检测中出现的低倍缺陷,讨论了在既定的条件下,采用宽频带窄脉冲超声检测方法对仪表金属功能材料低倍缺陷的检测。实践表明,采用宽频带窄脉冲超声检测与金相检验相结合的方法可有效地检测仪表金属功能材料... 分析了仪表金属功能材料在超声检测中出现的低倍缺陷,讨论了在既定的条件下,采用宽频带窄脉冲超声检测方法对仪表金属功能材料低倍缺陷的检测。实践表明,采用宽频带窄脉冲超声检测与金相检验相结合的方法可有效地检测仪表金属功能材料的低倍缺陷。 展开更多

关键词 超声检测 低倍缺陷 脉冲反射法

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