基于像素结构空间光调制器的全息再现像问题研究 被引量：29

1

作者 沈川 张成 +3 位作者 刘凯峰 韦穗 程鸿 张庆 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第3期58-63,共6页

基于纯相位空间光调制器的全息显示系统在重构显示时,再现像的视觉效果受到空间光调制器像素结构引起的多级衍射光和多级再现像的干扰。在分析具有有限填充因子空间光调制器的像素结构对再现像影响的基础上,提出了一种提高全息再现像的... 基于纯相位空间光调制器的全息显示系统在重构显示时,再现像的视觉效果受到空间光调制器像素结构引起的多级衍射光和多级再现像的干扰。在分析具有有限填充因子空间光调制器的像素结构对再现像影响的基础上,提出了一种提高全息再现像的视觉效果并且再现像成像位置和大小可调节的方法。先加载闪耀光栅到纯相位全息图,其次通过叠加会聚球面波相位,分离再现像与空间光调制器像素结构引起的多级衍射光的聚焦平面的位置,再利用光阑和高通滤波器的共同作用,消除高级衍射光、多级再现像以及零级光干扰对重构视觉效果的影响,最后引入成像透镜,调节再现像的成像位置与大小。建立了一套基于硅基液晶的全息显示系统用于实验验证。实验结果表明,最终的单一再现像清晰且可以方便地调节成像位置和大小。该方法同样适用于各种基于像素结构空间光调制器的全息光学系统。 展开更多

关键词 全息 空间光调制器 纯相位全息图 硅基液晶

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液晶显示器新技术 被引量：7

2

作者 赵红平 雷威 +2 位作者 张晓兵 李晨 李晓华 《真空电子技术》 2004年第5期1-6,共6页

目前在平板显示器中占据统治地位的是液晶显示器(LCD),它的市场规模已经接近传统的CRT器件。本文回顾了现阶段液晶显示器的几个研究热点,包括透反射液晶显示器、多晶硅薄膜晶体管技术及硅基液晶。

关键词 液晶显示器 透反射液晶显示器 多晶硅 硅基液晶

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硅基液晶技术与可重构全光通信网络 被引量：9

3

作者 杨海宁 李昆 初大平 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期772-788,共17页

现代光纤通信网络使用波分复用技术极大地提升了网络传输容量。基于硅基液晶技术的波长选择开关使光纤网络运营商在网络节点处可以灵活地调度各个波长信道,让光纤通信网络在波长级具有可重构性,大幅降低了网络的传输和运营成本。因此,... 现代光纤通信网络使用波分复用技术极大地提升了网络传输容量。基于硅基液晶技术的波长选择开关使光纤网络运营商在网络节点处可以灵活地调度各个波长信道,让光纤通信网络在波长级具有可重构性,大幅降低了网络的传输和运营成本。因此,波长选择开关已经成为现代光纤通信网络的核心组件。本文回顾了波长选择开关的发展历程,重点介绍了其在光纤通信网络中扮演的角色,阐述了硅基液晶器件各项特性对波长选择开关关键技术指标的影响和改进方法。本文从器件、系统和网络等方面对硅基液晶技术在通信系统中的应用进行了系统的综述,旨在让广大读者对硅基液晶器件和可重构光纤通信网络有比较全面的了解,并从一定程度上对该领域的研究发展有所促进。 展开更多

关键词 硅基液晶 波长选择开关 全光通信 可重构全光分插复用器

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用于AR显示技术的亚波长Al光栅的ICP刻蚀工艺研究

4

作者 吴必昇 周燕萍 +2 位作者 上村隆一郎 左超 杨秉君 《微纳电子与智能制造》 2024年第1期59-64,共6页

铝材料因其良好的光反射率和低热线性膨胀系数,被广泛应用在增强现实设备的光栅光波导中。采用ULVAC公司生产的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备NE-550对Al材料进行了干法刻蚀工艺的研究。实验中采用SiO_(2)作为刻蚀掩膜,Cl_(2)/BCl_(3)... 铝材料因其良好的光反射率和低热线性膨胀系数,被广泛应用在增强现实设备的光栅光波导中。采用ULVAC公司生产的电感耦合等离子体(ICP)刻蚀设备NE-550对Al材料进行了干法刻蚀工艺的研究。实验中采用SiO_(2)作为刻蚀掩膜,Cl_(2)/BCl_(3)气体作为工艺气体,通过对实验工艺参数的调整,探究了ICP源功率、射频偏压功率、腔体压强以及气体流量对Al的刻蚀速率、与上层掩膜的选择比的影响。最后通过优化工艺参数,得到了底部平整、侧壁垂直的栅槽结构。此研究为亚波长尺度的光栅刻蚀工艺的优化和技术突破提供了参考。 展开更多

关键词 电感耦合等离子体刻蚀 亚波长光栅 金属铝 硅基液晶 增强现实

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硅基液晶激光投影中散射体散斑抑制作用的研究 被引量：4

5

作者 孙鸣捷 陆祖康 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期718-721,共4页

当相干光在粗糙表面散射时,会产生散斑现象。散斑严重影响了图像质量,必须加以抑制。通过散射体振动产生一系列的散斑图样,并在传感器积分时间内加以平均,可以达到抑制散斑的效果。将此方法应用于基于硅基液晶(LCoS)芯片的激光投影系统... 当相干光在粗糙表面散射时,会产生散斑现象。散斑严重影响了图像质量,必须加以抑制。通过散射体振动产生一系列的散斑图样,并在传感器积分时间内加以平均,可以达到抑制散斑的效果。将此方法应用于基于硅基液晶(LCoS)芯片的激光投影系统,并通过一系列实验研究了散斑对比度和散射体运动之间的关系。散斑抑制后,传感器上的散斑对比度从0.49降低到了0.065。实验表明散射体更快更大的振动和更小的单元尺寸都可以降低散斑对比度。 展开更多

关键词 散射 激光投影 散斑 散射体 硅基液晶

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天赐良机——LCoS与中国平板显示产业 被引量：4

6

作者 代永平 耿卫东 +1 位作者 孙钟林 王隆望 《光电子技术》 CAS 2002年第1期11-17,共7页

L Co S是一种反射式微型有源矩阵液晶显示器 ,其有源矩阵使用 CMOS技术制作在单晶硅衬底上 ,因而拥有了小尺寸和高显示分辨率的双重特性。本文介绍了 LCo S显示器的结构和用途 ,展示了 LCo S显示芯片的设计方法及其实际设计结果 ,最后综... L Co S是一种反射式微型有源矩阵液晶显示器 ,其有源矩阵使用 CMOS技术制作在单晶硅衬底上 ,因而拥有了小尺寸和高显示分辨率的双重特性。本文介绍了 LCo S显示器的结构和用途 ,展示了 LCo S显示芯片的设计方法及其实际设计结果 ,最后综述 LCo 展开更多

关键词 硅基液晶显示器 开口率 化学机械抛光 知识产权 平板显示产业

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基于亚波长光栅结构的硅基液晶器件模型研究 被引量：5

7

作者 沈川 韦穗 +1 位作者 虞海秀 陶波 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期14-21,共8页

金(Au)亚波长光栅被溅射到经典硅基液晶(LCoS)的ITO电极上,它与薄液晶盒和底层铝电极组成复合共振波导结构,简称GLCoS。与基于液晶传播效应的LCoS截然不同,在GLCoS中,上电极的表面等离激元与光栅槽中的TM-FP (TM-Fabry Pérot)共振... 金(Au)亚波长光栅被溅射到经典硅基液晶(LCoS)的ITO电极上,它与薄液晶盒和底层铝电极组成复合共振波导结构,简称GLCoS。与基于液晶传播效应的LCoS截然不同,在GLCoS中,上电极的表面等离激元与光栅槽中的TM-FP (TM-Fabry Pérot)共振耦合,诱导一个0阶反射的相位调制;铝(Al)电极既是反射背板又与Au光栅、薄液晶盒组成波导,使共振耦合得到增强。在操控光波阵面的同时,GLCoS也作为电控器件,施加电压改变液晶的折射率,进而控制开腔FP的边缘介质条件,达到有源0~2π相位调制。实验结果表明,本文结构可用于1μm量级像素的相位空间光调制器,在高空间带宽积的全息视频显示中具有广阔的应用前景。 展开更多

关键词 光栅 全息视频显示 亚波长金属光栅 法布里-珀罗共振 硅基液晶

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适用于背投高清晰度电视的卷进式彩色LCoS 被引量：5

8

作者 JeffreyA.Shimizu 刘树杞 《现代显示》 2001年第4期27-32,共6页

我们就单片式硅上液晶(LiquidCrystalonSilicon,简作LCoS)的改进提出报告。该系统基于菲力浦卷进式彩色(Scollingcolor)体系结构,性能和成本优势使其用于高清晰度电视(HDTV)十分理想。我们将讨论一个显示1280×720象素的64in背投显... 我们就单片式硅上液晶(LiquidCrystalonSilicon,简作LCoS)的改进提出报告。该系统基于菲力浦卷进式彩色(Scollingcolor)体系结构,性能和成本优势使其用于高清晰度电视(HDTV)十分理想。我们将讨论一个显示1280×720象素的64in背投显示器的情况。 展开更多

关键词 硅上液晶 高清晰度电视 背投电视 液晶显示器

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高时空分辨率动态星模拟器设计 被引量：5

9

作者 李成浩 何煦 +2 位作者 姬琪 张晓辉 李宁 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期515-525,共11页

针对大口径空间天文望远镜稳像精度测试的难题,提出了一种高时空分辨率运动导星模拟方案。利用硅基液晶作为运动导星模拟源,结合光束准直系统为空间天文望远镜提供无穷远运动导星,并且通过在光路中加入物镜来提高模拟导星的运动分辨率... 针对大口径空间天文望远镜稳像精度测试的难题,提出了一种高时空分辨率运动导星模拟方案。利用硅基液晶作为运动导星模拟源,结合光束准直系统为空间天文望远镜提供无穷远运动导星,并且通过在光路中加入物镜来提高模拟导星的运动分辨率。针对望远镜像面结构的特殊分布,提出利用多路模拟的方法,分别为望远镜两侧精密导星仪以及巡天像面提供实时运动导星。最后,对影响运动导星模拟精度的各项误差进行分析,进而建立了误差模型。仿真结果表明:在运动导星模拟精度优于0.5″的概率为95%,时间分辨率为3 ms的前提下,动态星图星间角距误差小于0.04″,单星张角小于0.02″。通过实验验证了导星模拟模型的正确性,该模型基本满足空间天文望远镜稳像精度测试所需运动导星目标高时空分辨率的要求。 展开更多

关键词 空间望远镜 运动导星 稳像精度 硅基液晶 物镜 误差模型

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LCoS显示芯片设计与应用 被引量：2

10

作者 代永平 孙钟林 王隆望 《现代显示》 2002年第1期19-24,共6页

LCoS显示芯片是一种反射式液晶显示器,其周边驱动器和有源象素矩阵使用CMOS技术制作在单晶硅衬底上,并以该晶片为基底封装液晶盒,因而拥有了小尺寸和高显示分辨率的双重特性。本文详细讨论了LCoS显示芯片的结构和用途,展示了LCoS显示芯... LCoS显示芯片是一种反射式液晶显示器,其周边驱动器和有源象素矩阵使用CMOS技术制作在单晶硅衬底上,并以该晶片为基底封装液晶盒,因而拥有了小尺寸和高显示分辨率的双重特性。本文详细讨论了LCoS显示芯片的结构和用途,展示了LCoS显示芯片的设计方法及其实际设计结果。 展开更多

关键词 硅基液晶 片上系统 集成电路 显示芯片

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一种新型硅基液晶微显示器件像素电路的研究 被引量：3

11

作者 宋玉龙 刘绍锦 +3 位作者 崔宏青 张俊瑞 冯亚云 凌志华 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期328-332,共5页

设计了一种新型硅基微显示器件场缓存像素电路结构,并通过SPICE模拟与其他像素电路做比较,分析了其电路特点。新型像素结构可使在电压保持期间影响液晶电容电压的晶体管数量降到最低,从而提高了像素电容的电压保持率,降低了闪烁,并减小... 设计了一种新型硅基微显示器件场缓存像素电路结构,并通过SPICE模拟与其他像素电路做比较,分析了其电路特点。新型像素结构可使在电压保持期间影响液晶电容电压的晶体管数量降到最低,从而提高了像素电容的电压保持率,降低了闪烁,并减小了电磁干扰对像素电压的影响,提高了器件可靠性,同时提高了对光照的承受能力及对温度变化的适应能力,改善了显示品质,适用于高亮度显示器件。 展开更多

关键词 硅基液晶微显示 场序显示彩色 场缓存 像素电路 微显示器件 电路结构 硅基液晶 像素 SPICE模拟 电容电压

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基于硅基液晶变焦透镜的相位恢复方法 被引量：4

12

作者 程鸿 吕倩倩 +2 位作者 张文君 邓会龙 高要利 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期176-182,共7页

针对传统的基于光强传输方程(TIE)相位恢复方法中需要通过移动待测物体或者CCD以实现光强图像采集所造成的速度慢、精确度低等问题,提出了一种新的基于硅基液晶(LCOS)变焦透镜的相位恢复方法。首先,在LCOS上加载具有不同焦距的透镜相位... 针对传统的基于光强传输方程(TIE)相位恢复方法中需要通过移动待测物体或者CCD以实现光强图像采集所造成的速度慢、精确度低等问题,提出了一种新的基于硅基液晶(LCOS)变焦透镜的相位恢复方法。首先,在LCOS上加载具有不同焦距的透镜相位分布图,使其实现变焦透镜的功能;然后通过本研究所设计的系统在同一成像平面上采集不同散焦距离的光强图像;最后求解TIE从而得到相位信息。该方法只需要改变LCOS上所加载的相位分布图即可形成不同的散焦图像,避免了传统方法中机械移动所造成的误差。模拟与实验结果均验证了所提方法的正确性和有效性。 展开更多

关键词 测量 相位恢复 光强传输方程 硅基液晶 变焦透镜

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硅基微显示芯片综述 被引量：2

13

作者 陈弈星 夏军 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第20期74-83,共10页

增强现实技术是元宇宙重要的人机交互平台,其中光学成像部件和微显示屏是成像质量的关键。目前有5种微显示器件:硅基液晶、硅基OLED、硅基micro LED、digital light processing(DLP)、激光扫描振镜。将着重介绍不同微显示屏的组成结构... 增强现实技术是元宇宙重要的人机交互平台,其中光学成像部件和微显示屏是成像质量的关键。目前有5种微显示器件:硅基液晶、硅基OLED、硅基micro LED、digital light processing(DLP)、激光扫描振镜。将着重介绍不同微显示屏的组成结构、工艺流程、硅基驱动方式、发展现状及面临的挑战。在硅基驱动部分,将从像素驱动的不同电路和不同驱动电路的优缺点入手,分析不同显示技术在硅基部分的设计和指标挑战。对目前不同技术所能达到的指标进行汇总比较。讨论硅基背板的设计关注点和发展趋势。最后,对不同微显示芯片的应用场景和发展进行讨论。 展开更多

关键词 微显示 硅基液晶 硅基OLED 硅基micro LED

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纯相位硅基液晶器件的芯片级封装技术 被引量：3

14

作者 张紫辰 尤政 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期2322-2330,共9页

本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取... 本文讨论了纯相位硅基液晶器件(liquid crystal on silicon device,LCOS)的芯片级封装技术.包括具体基础工艺介绍、关键工艺分析及封装检测、质量控制方法等.其中详细介绍了工艺步骤中的玻璃基板和硅基板的光学预先检测、基板清洗、取向层处理、胶水涂覆、组装封装及灌注液晶工艺.同时在密封胶水涂覆、灌注液晶及如何控制器件厚度的原则问题上做出了重点阐述,最后定义了优质封装质量的纯相位硅基液晶器件应该具备的基本要素. 展开更多

关键词 硅基液晶器件 封装工艺 光学检测 液晶灌注 取向层处理

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LCOS人眼像差校正仪的系统控制实现 被引量：3

15

作者 李鹏飞 许金凯 +2 位作者 程少园 胡立发 宣丽 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期525-529,共5页

建立了一套基于LCOS校正器的人眼像差自适应校正系统,并为该系统编写了一套完整的控制软件。该系统采用哈特曼波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过PC计算处理后转化为灰度图,再通过PC把灰度图发送给LCOS上进行波面校正,通过... 建立了一套基于LCOS校正器的人眼像差自适应校正系统,并为该系统编写了一套完整的控制软件。该系统采用哈特曼波前探测器进行波面探测,将探测所得波前畸变经过PC计算处理后转化为灰度图,再通过PC把灰度图发送给LCOS上进行波面校正,通过校正人眼像差的方式来提高系统成像质量。经过实测,系统波前误差得到大幅度降低。实测表明,该系统的控制软件算法可以实现低阶大像差情况下人眼视网膜高分辨率成像。 展开更多

关键词 视网膜细胞 自适应光学 控制算法 硅基板液晶显示器

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液晶显示器件的最新发展 被引量：1

16

作者 朱昌昌 《真空电子技术》 2002年第6期25-27,共3页

简要介绍液晶显示器件其市场现状和未来发展方向 ,主要叙述TFT LCD、LCOS等技术的特点、最新发展及运用前景。

关键词 液晶显示器 薄膜晶体管 硅基液晶显示

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基于硅基液晶显示技术的可见光光学目标模拟器的研制 被引量：3

17

作者 鲁法珂 李海峰 +1 位作者 顾培夫 刘旭 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期736-739,共4页

为了产生制导武器仿真系统中所需的逼真的目标背景图像,建立了基于硅基液晶显示技术的可见光光学目标模拟器。给出了模拟器图像输出的实际效果图以及光学参量的测试方法和数据。测试表明,该装置有较好的亮度、对比度和均匀性,与传统的... 为了产生制导武器仿真系统中所需的逼真的目标背景图像,建立了基于硅基液晶显示技术的可见光光学目标模拟器。给出了模拟器图像输出的实际效果图以及光学参量的测试方法和数据。测试表明,该装置有较好的亮度、对比度和均匀性,与传统的阴极射线管显示技术相比有效减轻了图像闪烁问题,能够提供稳定的视频输出,更有利于仿真系统中对动态目标的识别,是一种较为理想的图像模拟装置。同时给出了双复眼光学系统初始结构的计算方法并推导出简单的计算公式,该算法可以应用于其他双复眼照明系统中。 展开更多

关键词 应用光学 光学目标模拟器 复眼透镜 硅基液晶

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EDA在新型硅基平板显示设计中的应用 被引量：3

18

作者 代永平 孙钟林 +1 位作者 陆铁军 王隆望 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期351-354,共4页

介绍了一种具有复杂数模混合电路结构的高集成度 LCo S显示芯片的设计 ,详细阐述了采用电子设计自动化 ( EDA)技术设计全定制 IC芯片的流程。文章运用了“自上而下”的现代 EDA设计思想。

关键词 电子设计自动化 硅基液晶显示器 数模混合电路

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一种新型LCoS低功耗帧存储像素电路设计 被引量：2

19

作者 宋玉龙 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2010年第3期401-406,共6页

开发了一种新型的帧存储像素电路结构,实现了像素内低功耗。通过SPICE仿真对新型像素结构的工作时序和功耗进行了验证。本像素结构通过像素内嵌电压比较器对相邻两场数据电压进行比较来实现帧存储像素电路放电操作的智能控制,这种智能... 开发了一种新型的帧存储像素电路结构,实现了像素内低功耗。通过SPICE仿真对新型像素结构的工作时序和功耗进行了验证。本像素结构通过像素内嵌电压比较器对相邻两场数据电压进行比较来实现帧存储像素电路放电操作的智能控制,这种智能放电操作降低了LCoS的功耗。 展开更多

关键词 硅基液晶微显示 帧存储像素电路 低功耗

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基于LCoS拼接技术的动态星模拟器光学引擎的优化设计 被引量：2

20

作者 孟遥 张国玉 +2 位作者 孙高飞 刘石 赵云率 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第3期185-195,共11页

为了降低基于硅基液晶拼接的动态星模拟器背景杂散光,对传统的光学引擎进行优化,提出一种多偏振分光棱镜组合方式,并对其光机结构进行设计.阐述了光学引擎照明系统的设计方案,讨论了降低视场角、增强均匀性的方法.通过Tracepro对照明光... 为了降低基于硅基液晶拼接的动态星模拟器背景杂散光,对传统的光学引擎进行优化,提出一种多偏振分光棱镜组合方式,并对其光机结构进行设计.阐述了光学引擎照明系统的设计方案,讨论了降低视场角、增强均匀性的方法.通过Tracepro对照明光学系统进行仿真,对照明光源设计方案的可行性进行了验证.实验结果表明:优化后的动态星模拟器杂散光辐照度降低了2.93倍.优化后的光学引擎有效地抑制了背景杂散光,并且增强了两片反射式硅基液晶对比度的一致性. 展开更多

关键词 反射式硅基液晶 拼接技术 光学引擎 偏振分光棱镜 照明光学系统 光学设计

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