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基于全耗尽技术的SOI CMOS集成电路研究 被引量:2
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作者 张新 刘梦新 +3 位作者 高勇 洪德杰 王彩琳 邢昆山 《电子器件》 EI CAS 2006年第2期325-329,共5页
介绍了电路的工作原理,对主要的延迟和选通控制单元及整体电路进行了模拟仿真,证明电路逻辑功能达到设计要求。根据电路的性能特点,采用绝缘体上硅结构,选用薄膜全耗尽SOICMOS工艺进行试制。测试结果表明:与同类体硅电路相比,工作频率... 介绍了电路的工作原理,对主要的延迟和选通控制单元及整体电路进行了模拟仿真,证明电路逻辑功能达到设计要求。根据电路的性能特点,采用绝缘体上硅结构,选用薄膜全耗尽SOICMOS工艺进行试制。测试结果表明:与同类体硅电路相比,工作频率提高三倍,静态功耗仅为体硅电路的10%,且电路的101级环振总延迟时间也仅为体硅电路的20%,实现了电路对高速低功耗的要求。 展开更多
关键词 全耗尽 SOI CMOS LDD结构 LDS结构 脉冲测定
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