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二氧化钛纳米微粒的制备与光催化活性 被引量:34
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作者 余锡宾 王桂华 +1 位作者 罗衍庆 李和兴 《化学研究与应用》 CAS CSCD 2000年第1期14-19,共6页
本文采用溶胶 凝胶法制备了粒径为 1 0 2 0nm左右的二氧化钛纳米微粒。用XRD研究了二氧化钛溶胶的热处理过程。研究表明温度在 4 73K 673K左右TiO2 微粒呈不规整锐钛矿结构 ,粒径约为 1 0 2 0nm。在873K左右TiO2 微粒出现锐钛矿与金... 本文采用溶胶 凝胶法制备了粒径为 1 0 2 0nm左右的二氧化钛纳米微粒。用XRD研究了二氧化钛溶胶的热处理过程。研究表明温度在 4 73K 673K左右TiO2 微粒呈不规整锐钛矿结构 ,粒径约为 1 0 2 0nm。在873K左右TiO2 微粒出现锐钛矿与金红石型混晶结构。且随温度的升高 ,微粒出现团聚并使粒径增大。用UV vis分光光度计研究了二氧化钛纳米微粒的光吸收特性与光催化活性。结果表明 :二氧化钛纳米微粒的光吸收特性和光催化活性与胶粒制备条件、热处理温度密切相关。所制备的纳米微粒在紫外光区有较宽的光响应范围。不规整锐钛矿型二氧化钛纳米微粒对苯酚的光催化活性高于商品锐钛矿型TiO2 及混晶结构的TiO2 。 展开更多
关键词 二氧化钛 纳米微粒 光吸收 光催化降解 光催化剂
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TiO_2超微粒子的量子尺寸效应与光吸收特性 被引量:30
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作者 余锡宾 王桂华 +1 位作者 罗衍庆 李和兴 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 1999年第6期613-618,共6页
利用Raman 激光光谱,XRD, TEM,SEM 和UVVis 等手段研究了TiO2 超微粒子的量子尺寸效应与光吸收特性. 结果发现: 由Ti(OBu)4 在较低pH 值的水解条件下制得的TiO2 溶胶粒径为5 ~10 nm ;... 利用Raman 激光光谱,XRD, TEM,SEM 和UVVis 等手段研究了TiO2 超微粒子的量子尺寸效应与光吸收特性. 结果发现: 由Ti(OBu)4 在较低pH 值的水解条件下制得的TiO2 溶胶粒径为5 ~10 nm ; 随着热处理温度的升高,TiO2 微粒的粒径增大,经473 ~673 K 热处理得到的TiO2 超微粒子粒径为10 ~20 nm , 呈不规整的锐钛矿型结构.TiO2 的拉曼峰随热处理温度升高而发生红移,表现出量子尺寸效应. 热处理温度升高到873 K 时,粒径增大到30 nm 左右,呈锐钛矿型与金红石型混晶结构. 温度进一步升高时,金红石相增多. 由于金红石型TiO2 微粒带隙减小,也使拉曼峰出现红移. 当TiO2 微粒的尺寸明显增大,超出量子尺寸效应范围(20 nm)时,其拉曼峰不发生位移. 锐钛矿型TiO2 超微粒子在紫外光区有较好的光吸收性能,并有较高的光催化活性.在较高pH 值的水解条件下得到的多孔大颗粒TiO2 ,对紫外光有散射作用,有效光吸收及光催化降解活性均降低. 展开更多
关键词 二氧化钛 超微粒 量子尺寸效应 光吸收 光催化剂
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超短激光脉冲对硅表面微构造的研究 被引量:38
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作者 李平 王煜 +3 位作者 冯国进 郑春弟 赵利 朱京涛 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期1688-1691,共4页
在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具... 在特定的气体氛围下,用一定能量密度的超短脉冲激光连续照射单晶硅片表面,制备出表面具有准规则排列的微米量级锥形尖峰结构的“黑硅”新材料。不同背景气体下的实验表明,激光脉宽和背景气体对表面微构造的形成起着决定性的作用。具体分析了SF6气体氛围中,皮秒和飞秒激光脉冲作用下硅表面微结构的演化过程。虽然两者均可造成硅表面的准规则排列微米量级尖峰结构,但不同脉冲宽度的激光与硅表面相互作用的物理机制并不相同。在皮秒激光脉冲作用下,尖峰结构形成之前硅片表面先熔化;而飞秒激光脉冲作用下尖峰的演化过程中始终没有出现液相。对材料的光辐射吸收的初步研究表明,该材料对1.5~16μm的红外光辐射吸收率不低于80%。 展开更多
关键词 激光技术 表面微构造 超短激光脉冲 光辐射吸收
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靛酚蓝反应测定发酵液中的氨态氮 被引量:29
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作者 谢志鹏 徐志南 +1 位作者 郑建明 岑沛霖 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期437-439,444,共4页
针对发酵工业中氮源消耗的检测问题,提出了基于靛酚蓝反应的氨态氮定量测定方法.通过优化显色反应时间、颜色稳定性和试剂添加顺序等条件,考察了氨态氮质量浓度与吸光度值之间的关系.采用日内、日间重复实验和回收率实验进行方法学验证... 针对发酵工业中氮源消耗的检测问题,提出了基于靛酚蓝反应的氨态氮定量测定方法.通过优化显色反应时间、颜色稳定性和试剂添加顺序等条件,考察了氨态氮质量浓度与吸光度值之间的关系.采用日内、日间重复实验和回收率实验进行方法学验证.将该法应用于氨基霉素和S-腺苷蛋氨酸发酵生产过程氨态氮的定量测定.结果表明,当氨态氮在0~7mg/L时,质量浓度与显色反应溶液在625nm处的吸光度值具有显著的相关性,相关系数为0.9986,该测定方法具有较高的精确度、精密度和灵敏度,可检测出发酵后期氮源的微量变化,有利于发酵控制策略的调整,提高了产品的产率. 展开更多
关键词 靛酚蓝反应 发酵液 氨态氮 微生物 显色反应 稳定性
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用光腔衰荡测定腔镜及镜片的反射率 被引量:25
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作者 赵宏太 柳晓军 +3 位作者 王谨 曹俊文 赵志 詹明生 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第1期71-73,共3页
光腔衰荡是新的光谱技术。本文利用腔衰荡测定了一组腔镜的反射率 ,测出的误差达到 10 - 5 量级 ;同时利用这一衰荡腔对全反镜的反射率进行了测定。该方法适用于不同环境下的镜片反射率的精确测定。
关键词 光腔衰荡 反射率 镜片 腔镜 光谱
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Preparation of Nano-TiO_2 Doped with Cerium and Its Photocatalytic Activity 被引量:23
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作者 樊彩梅 薛鹏 孙彦平 《Journal of Rare Earths》 SCIE EI CAS CSCD 2006年第3期309-313,共5页
Cerium-doped titanium dioxide nano-powders were prepared through the sol-gel method and the compound sampies were characterized by X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), and UV/Vis diffus... Cerium-doped titanium dioxide nano-powders were prepared through the sol-gel method and the compound sampies were characterized by X-ray diffraction (XRD), transmission electron microscopy (TEM), and UV/Vis diffuse reflectance spectra (DRS). The photocatalytic activity was evaluated by photocatalytic degradation of phenol in water. The results of XRD, TEM, and DRS show that pure TiO2 and Ce-doped TiO2 powder crystallines are a mixture of anatase and rutile ; the doping can retard the development of the grain size of TiO2 and decrease the diameter of TiO2 from more than 20 nm of pure TiO2 to about 10 nm; the doped TiO2 can improve the light absorption of TiO2 and suitable doping content tends to move the DRS spectrum of TiO2 towards visible light, but too much doping is not good for the light absorption ability. The results of the photocatalytic experiments show that doping with Ce content of 0.08% -0.4% can increase the photocatalytic activity of TiO2; however, doping with Ce content of 0.5% -2.5% can significantly decrease the photocatalytic activity of TiO2. The favorite doping content is 0.4% in the range of our experiments. 展开更多
关键词 TiO2 doped with cerium light absorption photocatalytic activity PHENOL rare earths
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光催化制氢研究进展 被引量:25
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作者 潘金波 申升 +6 位作者 周威 唐杰 丁洪志 王进博 陈浪 区泽堂 尹双凤 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2020年第3期40-56,共17页
光催化制氢作为一种具有前景的能源转化方式,受到了广泛关注。但是光催化过程中的三个步骤(光吸收、载流子分离、表面反应)效率较低,目前难以实现工业应用。研究者们对光催化的机理进行了深入研究,并提出了多种策略来调节半导体光催化... 光催化制氢作为一种具有前景的能源转化方式,受到了广泛关注。但是光催化过程中的三个步骤(光吸收、载流子分离、表面反应)效率较低,目前难以实现工业应用。研究者们对光催化的机理进行了深入研究,并提出了多种策略来调节半导体光催化剂的物理化学性质,以期有效提高光催化剂对可见光的吸收,降低光生载流子的复合,加速表面反应。上述策略包括:制造缺陷、局域表面等离子体共振、元素掺杂、异质结构建、助催化剂负载等。深入研究上述改性策略能够为设计制备高效稳定的光催化剂提供指导。因此,本综述聚焦于优化光吸收、载流子分离、表面反应的机理和改性光催化剂的制氢应用,并对构建高效制氢光催化剂的趋势做出了展望。 展开更多
关键词 光催化 制氢 光吸收 载流子分离 表面反应
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直接沉淀法制备纳米ZnO 被引量:5
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作者 李栋梁 董峰亮 邹炳锁 《化工新型材料》 CAS CSCD 2002年第6期47-49,46,共4页
以ZnCl2 为原料 ,直接沉淀法制备ZnO纳米粒子 ;研究了制备过程中Zn2 + 浓度、焙烧温度等条件对ZnO纳米晶体粒径的影响 ,并对其机理进行了分析。实验结果表明 ,较小的反应浓度可以获得较小的晶体粒径 ;在其它反应条件相同的情况下 ,制备... 以ZnCl2 为原料 ,直接沉淀法制备ZnO纳米粒子 ;研究了制备过程中Zn2 + 浓度、焙烧温度等条件对ZnO纳米晶体粒径的影响 ,并对其机理进行了分析。实验结果表明 ,较小的反应浓度可以获得较小的晶体粒径 ;在其它反应条件相同的情况下 ,制备的纳米ZnO粒子 ,其晶粒尺寸随着焙烧温度的增加 ,晶粒逐渐增大 ,与体相ZnO粒子相比 ,纳米ZnO粒子在紫外区光吸收能力显著增强 ,为ZnO的应用开辟了更为广阔的前景。 展开更多
关键词 直接沉淀法 制备 纳米ZNO 纳米粒子 紫外区 光吸收 氧化锌 氯化锌
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过渡金属离子掺杂纳米TiO_2的机理和光吸收特性 被引量:15
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作者 王卫伟 张志焜 《青岛科技大学学报(自然科学版)》 CAS 2003年第2期102-104,共3页
综述了过渡金属离子掺杂改性 Ti O2 的光催化性能及掺杂离子的原子摩尔分数、半径、化合价等因素对 Ti O2 光催化性能的影响。同时结合具体实验结果 ,分析了掺 Fe3+ Ti O2 的光吸收特性。结果表明 ,Ti O2 的吸收阀值随掺 Fe3+量的增加... 综述了过渡金属离子掺杂改性 Ti O2 的光催化性能及掺杂离子的原子摩尔分数、半径、化合价等因素对 Ti O2 光催化性能的影响。同时结合具体实验结果 ,分析了掺 Fe3+ Ti O2 的光吸收特性。结果表明 ,Ti O2 的吸收阀值随掺 Fe3+量的增加而增大 ,拓宽了光响应范围 。 展开更多
关键词 过渡金属离子 掺杂 纳米TIO2 二氧化钛 机理 光吸收特性
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纳米TiO_2和紫外线吸收剂对丙烯酸酯涂层抗光氧化性能的影响 被引量:14
10
作者 刘付胜聪 肖汉宁 +2 位作者 李玉平 胡智荣 刘华斌 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期495-497,500,共4页
 讨论了锐钛矿型和金红石型纳米TiO2以及2,4 二羟基二苯甲酮和2 (2 二羟基 5 苯甲基)苯并三唑等有机紫外线吸收剂的光活性,并借助失重分析和SEM分析探讨它们对丙烯酸复合涂层抗光氧化性能的影响。UV分析表明:2,4 二羟基二苯甲酮、2 (2...  讨论了锐钛矿型和金红石型纳米TiO2以及2,4 二羟基二苯甲酮和2 (2 二羟基 5 苯甲基)苯并三唑等有机紫外线吸收剂的光活性,并借助失重分析和SEM分析探讨它们对丙烯酸复合涂层抗光氧化性能的影响。UV分析表明:2,4 二羟基二苯甲酮、2 (2 二羟基 5 苯甲基)苯并三唑等有机紫外线吸收剂对400nm以下的紫外线有强烈的吸收作用;金红石和锐钛矿型纳米TiO2对紫外线也有较强烈的吸收和散射作用,紫外光透过率低。且有机紫外线吸收剂随着辐射时间的延长会分解失效,而纳米TiO2较稳定。失重分析和SEM分析结果显示:锐钛矿型纳米TiO2具有光催化性,加速丙烯酸酯聚合物的光降解,而金红石型纳米TiO2则是一种有效的遮光剂。同时添加金红石型纳米TiO2和有机紫外线吸收剂能更有效提高丙烯酸酯复合涂层的抗光氧化性能。 展开更多
关键词 二氧化钛 紫外线吸收剂 丙烯酸醋 涂层 抗光氧化
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用支持向量机识别毒品的太赫兹吸收光谱 被引量:19
11
作者 赵树森 陈思嘉 沈京玲 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期752-757,共6页
在采用太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术对9种常见毒品纯品和3种混合物进行实验研究,并得到它们在0.2~2 THz频率范围的特征吸收光谱的基础上,用支持向量机(SVM)对毒品纯品和混合物的太赫兹吸收光谱进行了识别分类。用归一化预处理后的9种... 在采用太赫兹时域光谱(THz-TDS)技术对9种常见毒品纯品和3种混合物进行实验研究,并得到它们在0.2~2 THz频率范围的特征吸收光谱的基础上,用支持向量机(SVM)对毒品纯品和混合物的太赫兹吸收光谱进行了识别分类。用归一化预处理后的9种毒品和面粉的太赫兹吸收光谱训练libsvm模型。选用与训练光谱不同时间测得的毒品和混合物的太赫兹吸收光谱作为检测光谱,经过归一化预处理之后分别输入到训练好的libsvm模型中进行识别,识别率达100%。识别结果充分表明,用支持向量机可以实现对不同种类毒品的识别和鉴定,为太赫兹光谱技术用于毒品的检测和识别提供了另一种有效的方法。 展开更多
关键词 光谱学 毒品识别 太赫兹吸收光谱 支持向量机
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GaN基发光二极管芯片光提取效率的研究 被引量:20
12
作者 申屠伟进 胡飞 +3 位作者 韩彦军 薛松 罗毅 钱可元 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期385-389,共5页
基于蒙特卡罗方法模拟分析了限制GaN基发光二极管(LEDs)芯片光提取效率的主要因素。结果表明,GaN与蓝宝石之间的较大折射率差别严重限制了芯片光提取效率的提高,通过蓝宝石背面出光比通过p型GaN层的正面出光的芯片光提取效率至少高20%;... 基于蒙特卡罗方法模拟分析了限制GaN基发光二极管(LEDs)芯片光提取效率的主要因素。结果表明,GaN与蓝宝石之间的较大折射率差别严重限制了芯片光提取效率的提高,通过蓝宝石背面出光比通过p型GaN层的正面出光的芯片光提取效率至少高20%;同时,低GaN光吸收系数、高电极反射率以及环氧树脂封装可以有效的增加芯片光提取效率,并且LEDs芯片尺寸在400μm以下时光提取效率较高。 展开更多
关键词 提取效率 发光二极管 GaN 蒙特卡罗方法 光吸收系数 模拟分析 环氧树脂 芯片尺寸 LEDS 蓝宝石 折射率 反射率 限制 P型 封装
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光学薄膜塔姆态诱导石墨烯近红外光吸收增强 被引量:18
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作者 黎志文 陆华 +2 位作者 李扬武 焦晗 赵建林 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第1期477-484,共8页
提出了一种增强石墨烯光吸收率的布拉格光栅/石墨烯/金属薄膜光学结构。运用传输矩阵和时域有限差分法研究了其光传输特性,发现布拉格光栅与金属薄膜之间形成的塔姆等离激元局域场可有效增强光与石墨烯的相互作用,单层石墨烯的近红外光... 提出了一种增强石墨烯光吸收率的布拉格光栅/石墨烯/金属薄膜光学结构。运用传输矩阵和时域有限差分法研究了其光传输特性,发现布拉格光栅与金属薄膜之间形成的塔姆等离激元局域场可有效增强光与石墨烯的相互作用,单层石墨烯的近红外光吸收率约增大了36倍。探讨了布拉格光栅的周期、石墨烯位置、入射角度、布拉格光栅层厚度及石墨烯化学势与石墨烯光吸收的关系。研究结果表明,上述物理参数的变化可有效调控石墨烯的光吸收波长及效率。研究结果为高性能石墨烯探测器等新型光电子器件的实现提供了新的途径。 展开更多
关键词 薄膜 光学薄膜 石墨烯 塔姆等离激元 光吸收
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Ag-MgF_2复合纳米金属陶瓷薄膜的微结构及吸收光谱特性研究 被引量:12
14
作者 史守华 孙兆奇 孙大明 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期622-626,共5页
对用真空蒸发技术制备的Ag MgF2 复合纳米金属陶瓷薄膜 (Ag的质量分数为 0 15、0 2 0、0 30 )的微结构及吸收光谱特性进行了研究。微结构分析表明薄膜由平均粒径约 18nm的fcc Ag纳米晶粒嵌埋于主要呈非晶态的MgF2 基体中所组成。对... 对用真空蒸发技术制备的Ag MgF2 复合纳米金属陶瓷薄膜 (Ag的质量分数为 0 15、0 2 0、0 30 )的微结构及吸收光谱特性进行了研究。微结构分析表明薄膜由平均粒径约 18nm的fcc Ag纳米晶粒嵌埋于主要呈非晶态的MgF2 基体中所组成。对吸收光谱的研究表明 ,Ag纳米微粒的表面等离子共振吸收峰出现在λ =412nm~417nm波段范围内。随着Ag组分增加 ,吸收峰强度下降 ,呈现轻微红移并且逐渐宽化。 展开更多
关键词 Ag-MgE2复合纳米金属陶瓷薄膜 微结构 吸收光谱 氟化镁
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探测器响应特性对光腔衰荡法测量结果的影响 被引量:13
15
作者 易亨瑜 吕百达 +1 位作者 张凯 胡晓阳 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第7期997-1000,共4页
探测器响应特性对衰荡信号的测量有很大影响。根据光束传输变换规律和信号叠加方式,只利用数据拟合,建立了探测器响应特性对衰荡信号和反射率测量结果的影响模型。通过数值运算,模拟了不同情况下衰荡信号波形的变化,进而分析了探测器响... 探测器响应特性对衰荡信号的测量有很大影响。根据光束传输变换规律和信号叠加方式,只利用数据拟合,建立了探测器响应特性对衰荡信号和反射率测量结果的影响模型。通过数值运算,模拟了不同情况下衰荡信号波形的变化,进而分析了探测器响应特性对衰荡法测量结果的影响。研究表明,对于现有的数据处理方法,选择合适的探测器,能够提高测量结果的可重复测量精度;但其测量值0.990045与腔镜的真实值0.999存在差异。由此研究了测量结果随腔镜反射率的变化和数据预处理方式,提出了测量结果的两种标校途径:1)利用模拟测量结果与腔镜真实值之间的差异,从理论上对实验测试结果进行标校;2)先对衰荡波形进行梳状滤波等预处理,再用拟合法计算反射率。 展开更多
关键词 测量 反射率 光腔衰荡 探测器 拟合法
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Comparison of different side-pumping configurations for high power laser diode pumped solid-state laser 被引量:12
16
作者 孟俊清 陈卫标 +1 位作者 侯霞 胡企铨 《Chinese Optics Letters》 SCIE EI CAS CSCD 2003年第9期538-540,共3页
Ray-tracing method is used to simulate the distribution of absorption in crystal rod for different side-pumping configuration. The distribution of pumping power and absorption efficiency is compared, and the numerical... Ray-tracing method is used to simulate the distribution of absorption in crystal rod for different side-pumping configuration. The distribution of pumping power and absorption efficiency is compared, and the numerical results are presented. The results show that the more uniform pumping and the higher absorption coefficient are obtained with a diffuse cavity. And the method of the slow axis of laser diode stack perpendicular to the axis of lasing gives the higher central pumping density. 展开更多
关键词 light absorption Optical pumping Ray tracing
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粉煤灰对印染废水脱色处理的研究 被引量:7
17
作者 郭清萍 窦涛 《粉煤灰综合利用》 CAS 2003年第1期20-21,共2页
对粉煤灰分别进行加热活化、干法酸活化、干法碱活化、沸石化和成型化处理后 ,用于处理印染废水 ,并检测废水的吸光率 。
关键词 脱色 印染废水 粉煤灰 活化 吸光率
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高效光催化材料的设计与制备 被引量:15
18
作者 王泽岩 黄柏标 戴瑛 《中国材料进展》 CAS CSCD 北大核心 2017年第1期7-16,共10页
光催化技术是解决能源短缺和环境污染问题的最有效解决途径之一,近期引起了世界各国科学家们的广泛关注。然而,目前光催化材料较低的转化效率,严重制约了光催化技术的进一步发展和实际应用。因此,设计和制备新型高效光催化材料具有重要... 光催化技术是解决能源短缺和环境污染问题的最有效解决途径之一,近期引起了世界各国科学家们的广泛关注。然而,目前光催化材料较低的转化效率,严重制约了光催化技术的进一步发展和实际应用。因此,设计和制备新型高效光催化材料具有重要意义。我们基于材料晶体结构设计,并结合材料微结构调控和制备技术,从拓展光催化材料的光吸收范围和提高光生载流子分离效率两个制约光催化效率的最主要问题入手,提出了一些新型高效光催化材料的设计理论和制备方法。主要围绕表面等离子体光催化材料、红外光催化材料、极性光催化材料等几种新型光催化材料,对材料设计理论、制备方法、结构与性能之间的关系及光催化微观机理几个方面进行了详细讨论。 展开更多
关键词 光催化 光吸收 载流子分离 材料设计与制备
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非晶ZrO_2SiO_2系薄膜及微细图形的制备 被引量:12
19
作者 赵桂荣 赵高扬 《材料研究学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第2期168-171,共4页
采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2-SiO2系薄膜、研究了这种凝胶薄膜的 FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化,发现在 1600-1400cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰,这些峰值随紫外线照射... 采用溶胶-凝胶与化学修饰相结合的方法制备了ZrO2-SiO2系薄膜、研究了这种凝胶薄膜的 FT-IR光谱特性及随紫外线照射时的变化,发现在 1600-1400cm-1之间有一些与含锆螯合物相关的峰,这些峰值随紫外线照射而减弱.表明这些螯合物发生分解,伴随着螯合物的分解,薄膜在乙醇中的溶解能力也发生变化,利用这种特性、紫外光通过掩膜照射凝胶薄膜.用有机溶剂溶洗后,获得凝胶薄膜的微细图形, 再进行热处理,消除薄膜中的有机物就可得到非晶质ZrO2-SiO2系薄膜的微细图形。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 氧化锆 氧化硅 化学修饰 光吸收 微细图形 非晶薄膜
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不同衬底上低温生长的ZnO晶体薄膜的结构及光学性质比较 被引量:8
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作者 邱东江 吴惠桢 +1 位作者 金进生 徐晓玲 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期5-8,共4页
采用电子束反应蒸发方法 ,在单晶Si(0 0 1)及玻璃衬底上低温外延生长了沿c轴高度取向的单晶ZnO薄膜 ,并对沉积的ZnO晶体薄膜的结构和光学性质进行了分析比较。通过对ZnO薄膜的X射线衍射 (XRD)分析及光致荧光激发谱(PLE)测量 ,研究了衬... 采用电子束反应蒸发方法 ,在单晶Si(0 0 1)及玻璃衬底上低温外延生长了沿c轴高度取向的单晶ZnO薄膜 ,并对沉积的ZnO晶体薄膜的结构和光学性质进行了分析比较。通过对ZnO薄膜的X射线衍射 (XRD)分析及光致荧光激发谱(PLE)测量 ,研究了衬底材料结构特性、生长温度及反应气氛中充O2 对ZnO薄膜的晶体结构和晶体光学吸收特性的影响。结果表明 :①衬底温度对沉积的ZnO薄膜的晶体结构影响显著 ,玻璃衬底上生长ZnO薄膜的最佳温度比Si(0 0 1)衬底上生长的最佳温度要高 70℃ ;②虽在最佳生长条件下获得的ZnO薄膜的XRD结果 (半高宽和衍射强度 )相近 ,但光学吸收特性有较大差异 ,Si(0 0 1)衬底上生长的ZnO薄膜优于玻璃衬底上生长的ZnO薄膜 ;③反应气氛中的O2 分压对XRD结构影响不大 ,但对PLE谱影响显著 ,充O2 展开更多
关键词 电子束反应蒸发 结构 光学特性 氧化锌晶体薄膜 低温生长
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