激光微加工技术在集成电路制造中的应用 被引量：12

1

作者 曹宇 李祥友 +1 位作者 蔡志祥 曾晓雁 《光学与光电技术》 2006年第4期25-28,共4页

激光微加工技术以非接触加工方式,高效率、无污染、高精度、热影响区小的优点在微电子集成电路制造中得到了广泛应用。介绍了在集成电路制造封装中采用的激光微调、激光打孔、激光清洗、激光柔性布线和激光微焊技术。

关键词 激光微加工 集成电路制造 激光微调 激光清洗 激光打孔 激光柔性布线 激光微焊

下载PDF 职称材料

厚膜微调技术及发展趋势 被引量：9

2

作者 李文娟 田兴志 《光机电信息》 2004年第6期29-34,共6页

介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类。与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展... 介绍了厚膜电阻常用的喷砂微调和脉冲电压微调、激光微调三种微调技术及其发展趋势,重点介绍了激光微调机理、调阻方式以及微调图形分类。与喷砂和脉冲电压微调技术相比,激光微调具有精度高、速度快、效率高的特点,因而具有广阔的发展前景。 展开更多

关键词 厚膜电阻 厚膜微调 喷砂微调 脉冲电压微调 激光微调 集成电路

下载PDF 职称材料

一种高精度快速激光修调方案设计

3

作者 贾晨强 李文昌 +2 位作者 阮为 刘剑 张天一 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期171-177,共7页

在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和... 在激光修调过程中,激光的修调路径和控制策略是影响修调精度和修调速度的关键因素,而常规激光修调方案难以同时满足高精度和快速修调。因此,提出了一种高精度快速激光修调方案,使用“离散+连续”结构的金属薄膜电阻图形提高修调效率和可靠性;利用阶梯形的激光修调路径提升修调精度;采用动态测试步长的控制策略提高修调速度。采用上述方案对60个金属薄膜电阻样品进行激光修调,结果表明:修调精度可达0.004%,平均测试步长为2.53,验证了所提出的修调方案可有效提升修调精度和修调速度。进一步将该方案应用在200个温度传感器芯片的校准中,结果表明200个温度传感器芯片的测温误差均校准至±0.2℃以内,平均测试步长为6.29。 展开更多

关键词 激光修调 修调精度 修调速度 金属薄膜电阻 阶梯形修调路径 动态测试步长

下载PDF 职称材料

微机械振动陀螺模态耦合误差分析与激光修形方法研究 被引量：8

4

作者 贺琨 崔红娟 +3 位作者 侯占强 刘学 肖定邦 吴学忠 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2013年第3期21-24,共4页

较大的模态耦合误差严重影响陀螺仪的零偏稳定性。研究了一种微机械振动陀螺仪的模态耦合误差形成机理,仿真分析了结构加工误差对模态耦合误差的影响规律。仿真结果表明:振动结构支撑梁上的加工误差是引起结构刚度不对称并产生模态耦合... 较大的模态耦合误差严重影响陀螺仪的零偏稳定性。研究了一种微机械振动陀螺仪的模态耦合误差形成机理,仿真分析了结构加工误差对模态耦合误差的影响规律。仿真结果表明:振动结构支撑梁上的加工误差是引起结构刚度不对称并产生模态耦合误差的主要因素,在与该加工误差对称的位置去除相应的材料可以减小甚至消除模态耦合误差。采用紫外激光微细加工技术,对微陀螺样机进行了结构平衡实验,激光修形后在没有输入角速度时,微陀螺样机模态耦合误差信号的峰峰值从2.88 V降低到0.24 V,取得了明显的修形效果。 展开更多

关键词 微机械振动陀螺 模态耦合 激光修形 加工误差

下载PDF 职称材料

一种超低失调集成运算放大器的设计与实现 被引量：1

5

作者 刘传兴 何贵昆 +1 位作者 马奎 杨发顺 《半导体技术》 北大核心 2024年第2期143-150,共8页

基于双极型工艺设计了一种超低失调集成运算放大器。通过在差分输入级的有源负载处设计电阻修调网络来调整失调电压,并针对基极电流补偿不可控的问题设计了可修调的基极电流补偿结构来降低偏置电流,利用激光修调技术减小基极补偿结构引... 基于双极型工艺设计了一种超低失调集成运算放大器。通过在差分输入级的有源负载处设计电阻修调网络来调整失调电压,并针对基极电流补偿不可控的问题设计了可修调的基极电流补偿结构来降低偏置电流,利用激光修调技术减小基极补偿结构引入的随机失调,有效改善了输入级失调。增益级采用结型场效应晶体管(JFET)差分对管以获得高增益,输出级采用全npn晶体管的乙类输出结构可满足大功率输出需求。芯片实测数据表明:在全温度范围内,失调电压最大为-25.3μV,失调电压温漂为0.025μV/℃,输入偏置电流为-3.535 nA,输入失调电流为-0.825 nA。实现了超低的失调电压、电流和温漂。 展开更多

关键词 低失调 低温漂 基极电流补偿 激光修调 双极型工艺

下载PDF 职称材料

基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究 被引量：7

6

作者 王姜伙 王志勤 《电子与封装》 2012年第11期34-36,共3页

激光调阻具有高精度、高效率等特点,是目前厚膜混合集成电路最为常用的电阻修调方法。为了实现厚膜混合集成电路中精度电阻的制作,文章对激光调阻工艺进行了系统研究,内容包括探针卡焊接组装、调阻程序编制以及工艺试验研究。通过进行... 激光调阻具有高精度、高效率等特点,是目前厚膜混合集成电路最为常用的电阻修调方法。为了实现厚膜混合集成电路中精度电阻的制作,文章对激光调阻工艺进行了系统研究,内容包括探针卡焊接组装、调阻程序编制以及工艺试验研究。通过进行试验验证,选用L型调阻路径,调阻精度已达到±0.5%,满足设计要求。 展开更多

关键词 激光调阻 探针卡焊接 调阻程序编制 工艺试验研究

下载PDF 职称材料

基于ATE的运放失调电压测试技术研究

7

作者 刘继光 顾玉娣 +1 位作者 王征宇 王建超 《中国集成电路》 2024年第9期67-70,共4页

输入失调电压是运算放大器电路最关键的参数之一,随着集成电路的发展,高精度运放成为趋势,输入失调电压越来越小,目前绝大部分满足是通过晶圆测试时对其进行激光修调以达到使用要求,因此对芯片测试提出了更高的要求。典型的运放输入失... 输入失调电压是运算放大器电路最关键的参数之一,随着集成电路的发展,高精度运放成为趋势,输入失调电压越来越小,目前绝大部分满足是通过晶圆测试时对其进行激光修调以达到使用要求,因此对芯片测试提出了更高的要求。典型的运放输入失调电压测试采用“被测器件-辅助运放”测试[1],该方法的必要条件是被测运放的正、负输入端及输出端接入辅助环路才能测试;随着集成电路的发展,电流放大电路,其内部放大器的输出接入后级放大器电路,无管脚引出,典型的“被测器件-辅助运放”测试方法无法测试,本文设计了一套信号放大环路方案,基于T861型ATE搭建一套测试系统,解决了只有输入端引出的运放失调电压测试,测试精度可达到0.5uV。 展开更多

关键词 失调电压 高精度 激光修调 差分放大

下载PDF 职称材料

一种采用激光修调的高精度带隙基准电压源

8

作者 韩前磊 王成皓 +1 位作者 钟道鸿 杨伟伟 《半导体技术》 CAS 北大核心 2024年第10期906-911,共6页

基于Brokaw带隙基准模型设计了一种高精度、低温漂的基准电压源。采用金属薄膜电阻的低温漂特性降低基准电压的温漂系数,并通过后期的激光修调实现基准电压的高精度输出;采用p型基区电阻的正温漂特性,引入一个正温度系数的二阶电压分量... 基于Brokaw带隙基准模型设计了一种高精度、低温漂的基准电压源。采用金属薄膜电阻的低温漂特性降低基准电压的温漂系数,并通过后期的激光修调实现基准电压的高精度输出;采用p型基区电阻的正温漂特性,引入一个正温度系数的二阶电压分量,实现带隙基准电压的二阶曲率补偿,进一步减小输出基准电压的温漂系数。采用双极型工艺完成设计,对电路进行测试。测试结果表明,5~36 V的电源电压范围内可稳定输出2.5 V、3 V的基准电压,输出电压温漂为2.17×10^(-6)/℃,输出电压误差绝对值为0.15 mV,线性调整率为2.85μV/V,输出短路电流为44.35 mA,静态电流为0.68 mA。 展开更多

关键词 带隙基准 高精度 低温漂 激光修调 曲率补偿

下载PDF 职称材料

一种低失调运算放大器的设计 被引量：4

9

作者 韩前磊 孔祥艺 施建磊 《电子器件》 CAS 北大核心 2022年第6期1312-1316,共5页

基于Bipolar工艺设计,结合激光修调技术,实现了一种四通道、低失调、低功耗、高增益的运算放大器。电路整体结构包含基准偏置电路、差分输入及偏置补偿电路、中间级电路、输出及过流保护电路。输入级选择差分输入结构,采用输入偏置补偿... 基于Bipolar工艺设计,结合激光修调技术,实现了一种四通道、低失调、低功耗、高增益的运算放大器。电路整体结构包含基准偏置电路、差分输入及偏置补偿电路、中间级电路、输出及过流保护电路。输入级选择差分输入结构,采用输入偏置补偿设计,降低了输入失调电压和偏置电流;中间级采用射随器结构,结合密勒补偿电容及零点电阻,提高电路的稳定性;输出级采用B类的输出结构,结合过流保护设计,增加电路的安全性。电路封装后测试显示:输入失调电压为10μV,输入偏置电流为0.5 nA,大信号电压增益为130 dB,电源电流为2.4 mA,增益带宽积为1.5 MHz,电压噪声密度为7.34 nV/√Hz。 展开更多

关键词 双极型 激光修调 差分输入 低功耗 低失调

下载PDF 职称材料

激光横向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究 被引量：4

10

作者 王志娟 汤建华 于前洋 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2005年第1期35-36,共2页

激光在片式电阻上的横向切割长度对阻值影响较大 ,合理设计其长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。通过实验数据分析得出激光横向切割的长度变化率与阻值变化率之间的定量结论 ,并拟合了有效横向切割长度的阻值变化率与切割... 激光在片式电阻上的横向切割长度对阻值影响较大 ,合理设计其长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。通过实验数据分析得出激光横向切割的长度变化率与阻值变化率之间的定量结论 ,并拟合了有效横向切割长度的阻值变化率与切割长度变化率之间的关系函数 ,二者能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据。 展开更多

关键词 激光调阻 横向切割 长度变化率 阻值变化率

下载PDF 职称材料

集成式石英微机械陀螺质量块制作工艺研究

11

作者 白顺风 李贵龙 +7 位作者 张挺 谢佳维 董宏奎 王枥 胡爽 曾庆海 李睿杰 简小娟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2023年第5期731-735,共5页

为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整... 为了满足集成式陀螺芯片对高精度质量块的要求,该文采用电子束镀膜(EBPVD)工艺代替传统的电镀工艺,在石英微机械陀螺芯片音叉端部制作了厚约2μm的质量块,并对质量块厚度均匀性、对准精度一致性及膜层附着力进行了研究。首先,通过调整镀膜高度和角度以满足厚度精度要求;其次,为了保证对准精度,设计了掩膜夹具和位置调整夹具;最后,通过实验确定了最佳镀膜参数。此外,对制作的质量块进行了激光修调实验,经过修调后,陀螺机械耦合误差信号的幅值从初始的301.0 mV降至17.6 mV。 展开更多

关键词 陀螺芯片 机械耦合误差 电子束镀膜 激光修调

下载PDF 职称材料

基于有限元法的片式电阻阻值与激光刻蚀路径关系的研究

12

作者 王志娟 郑玉彤 汤建华 《中央民族大学学报（自然科学版）》 2007年第4期318-324,共7页

激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物... 激光对片式电阻的刻蚀路径直接影响片式电阻的阻值精度,掌握激光刻蚀路径对片阻阻值的影响可为精调片阻阻值提供理论依据.掌握激光刻蚀路径与片阻阻值关系的前提是确定准确、有效的研究方法,首先,应确定片阻阻值与激光刻蚀路径关系的物理模型,然后应用有限元法计算该物理模型的数值解,分析、处理这些数据可得到不同型号片阻阻值与不同刻蚀路径之间的定量关系;经实验验证表明,利用有限元法得到的片阻阻值与刻蚀路径的关系函数的计算偏差不大于2%,可以应用有限元法研究激光刻蚀路径对片阻阻值的影响,进而为精调片阻阻值提供了控制依据. 展开更多

关键词 激光调阻 调阻精度 激光刻蚀路径 有限元

下载PDF 职称材料

基于电阻细分的激光纵向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究 被引量：1

13

作者 王志娟 汤建华 于前洋 《电子器件》 CAS 2004年第3期448-452,共5页

激光在片式电阻上的纵向切割对阻值变化影响较小 ,合理设计其长度可以提高激光调阻精度及保证阻值稳定性。通过电阻细分和实验数据分析得到激光纵向切割长度对阻值影响的定量公式。经实验验证 :该公式的估算偏差不大于 1 % ,能够准确预... 激光在片式电阻上的纵向切割对阻值变化影响较小 ,合理设计其长度可以提高激光调阻精度及保证阻值稳定性。通过电阻细分和实验数据分析得到激光纵向切割长度对阻值影响的定量公式。经实验验证 :该公式的估算偏差不大于 1 % ,能够准确预测经激光纵向切割的电阻阻值的变化趋势和速度 。 展开更多

关键词 激光调阻 纵向切割 电阻细分 估算偏差

下载PDF 职称材料

激光调阻机光学系统设计 被引量：3

14

作者 宋云夺 田兴志 刘轩 《微计算机信息》 北大核心 2005年第12S期44-46,共3页

激光调阻机是用于片式电阻阻值微调的一种关键设备,由光学系统、阻值实时测量系统、精密机械系统、自动上下料系统、计算机控制系统等构成。调阻精度可达1%。在激光调阻机中,光学系统是非常重要的组成部分,它影响着激光光束质量、调阻... 激光调阻机是用于片式电阻阻值微调的一种关键设备,由光学系统、阻值实时测量系统、精密机械系统、自动上下料系统、计算机控制系统等构成。调阻精度可达1%。在激光调阻机中,光学系统是非常重要的组成部分,它影响着激光光束质量、调阻的速度和精度。本位介绍了一种光学系统设计方案,论述了各个组成部分的构成和设计要求。通过实际的工作验证,此设计方案合理、实用。 展开更多

关键词 光学系统 激光调阻

下载PDF 职称材料

高精度绿激光显微精密修调机的研制

15

作者 闵大勇 陈泽民 +1 位作者 卢飞星 游立德 《光学与光电技术》 2009年第1期44-46,共3页

介绍了自行研制的绿激光显微精密修调机,分析了其系统组成结构。该系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成。采用的半导体端面泵浦Nd:YVO_4电光调Q倍频532 nm激光器,保证了较高的峰值功率密... 介绍了自行研制的绿激光显微精密修调机,分析了其系统组成结构。该系统主要由激光器系统、激光聚焦及定位光学系统、精密数控系统及自动化测试系统组成。采用的半导体端面泵浦Nd:YVO_4电光调Q倍频532 nm激光器,保证了较高的峰值功率密度和光束质量,激光聚焦及定位光学系统保证了更小的聚焦光斑。经测试表明绿激光显微精密修调机的生产效率比国外同类设备提高了近50%,其技术指标达到了预期要求。 展开更多

关键词 激光技术 绿激光 激光修调 厚膜调阻

下载PDF 职称材料

基于自适应测量步长的激光调阻控制策略 被引量：2

16

作者 封芸 金越越 梁进智 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期1325-1328,共4页

针对0603型片式电阻在不同位置的阻值变化率不同,提出了基于自适应测量步长的激光调阻控制策略。这种调阻控制策略可根据当前阻值与目标值的偏差百分比自适应选择测量步长。经过实验分析,与固定测量步长的控制策略相比,这种控制策略不... 针对0603型片式电阻在不同位置的阻值变化率不同,提出了基于自适应测量步长的激光调阻控制策略。这种调阻控制策略可根据当前阻值与目标值的偏差百分比自适应选择测量步长。经过实验分析,与固定测量步长的控制策略相比,这种控制策略不仅能够保证激光修调精度也能提高激光修调效率。为了使这种控制策略能够广泛应用于不同电阻型号的激光修调,介绍了自适应测量步长控制策略的建模过程,在不了解刻蚀路径对阻值变化率的影响时可建模之后再应用这种控制策略。 展开更多

关键词 激光修调 自适应测量步长 控制策略 刻蚀路径

下载PDF 职称材料

LTCC高精密封装基板工艺技术研究 被引量：1

17

作者 岳帅旗 杨宇 +3 位作者 刘港 周义 王春富 王贵华 《电子与封装》 2022年第1期13-17,共5页

将激光修调、化学镀、光刻等技术与常规低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-Fired Ceramic,LTCC)基板工艺技术相结合,对LTCC高精密封装基板的制作工艺进行开发和优化,并利用9K7材料进行了基板试制。结果显示,基板表面线条细度达到(50±... 将激光修调、化学镀、光刻等技术与常规低温共烧陶瓷(Low Temperature Co-Fired Ceramic,LTCC)基板工艺技术相结合,对LTCC高精密封装基板的制作工艺进行开发和优化,并利用9K7材料进行了基板试制。结果显示,基板表面线条细度达到(50±5)μm,表面导体图形位置精度优于±10μm。基板表面Ni/Pd/Au镀层可焊性/耐焊性优良,2 mm×2 mm焊盘的锡铅焊接拉力强度达到2.8 kg以上,25μm金丝的键合强度达到10 g以上。基板表面阻焊开口尺寸达到(80±10)μm,具有良好的阻焊性能。对试制的LTCC高精密封装基板进行了装配和测试,在12 mm×13 mm的尺寸上实现4颗射频芯片的倒扣装配,功能模块在W波段具有良好的射频性能。LTCC高精密封装基板显现出高密度、高性能封装能力。 展开更多

关键词 低温共烧陶瓷 激光修调 化学镀 精密阻焊 芯片倒装

下载PDF 职称材料

芯片测试的修调与优化 被引量：1

18

作者 董泽芳 朱刚俊 《集成电路应用》 2022年第8期30-31,共2页

阐述集成电路制造中芯片测试技术,四种trim的分类和修调与优化,基于案例分析,探讨trim的方法,提供trim的具体修调方法。

关键词 集成电路测试 激光修调 EEPROM trim

下载PDF 职称材料

激光调阻L型切割的仿真分析 被引量：2

19

作者 刘建军 王运龙 《电子与封装》 2016年第2期37-39,48,共4页

激光调阻具有高效率、高精度,是目前制备高精度印刷电阻的通用方法,广泛应用于厚膜集成电路、厚膜传感器等。L型切割精度高,阻值稳定性好,是最常用的调阻切割路径。对不同L型切割尺寸切割后的电阻进行仿真,分析电阻上的电流密度和发热... 激光调阻具有高效率、高精度,是目前制备高精度印刷电阻的通用方法,广泛应用于厚膜集成电路、厚膜传感器等。L型切割精度高,阻值稳定性好,是最常用的调阻切割路径。对不同L型切割尺寸切割后的电阻进行仿真,分析电阻上的电流密度和发热功率分布,得到的结果与实际经验吻合很好,对L型切割路径参数设置具有指导意义。 展开更多

关键词 激光调阻 L切割 电流分布 仿真

下载PDF 职称材料

激光微调在光通讯波导器件研制中的应用

20

作者 梁迪 陆璇辉 薛大建 《应用激光》 CSCD 北大核心 2002年第5期497-501,508,共6页

目前激光微调在光通讯波导器件的研制方面已得到了应用。本文运用激光微调在波导器件上进行了实验,其中以波导环形器和马赫—曾德尔干涉仪为例,具体讨论了激光微调技术在控制波导双折射方面所表现出的高效,简易,实用等优点。

关键词 波导器 激光微调 波导双折射 光通讯

原文传递